Top anti-reflective coating polymer, its preparation method and top anti-reflective coating composition comprising the same
Номер патента: KR100676885B1
Опубликовано: 23-02-2007
Автор(ы): 문승찬, 복철규, 임창문, 정재창
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-02-2007
Автор(ы): 문승찬, 복철규, 임창문, 정재창
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Top anti-reflective coating polymer, its preparation method and top anti-reflective coating composition comprising the same
Номер патента: TW200619231A. Автор: Jae-Chang Jung,Cheol-Kyu Bok,Chang-Moon Lim,Seung-Chan Moon. Владелец: Hynix Semiconductor Inc. Дата публикации: 2006-06-16.