改善されたスピンボウル適合性を有する反射防止コーティング組成物
Номер патента: JP2004533637A
Опубликовано: 04-11-2004
Автор(ы): ケリー エー. ノワック, シエ シャオ, ジム ディー. メアドル, シュリーラム ヴィー. デシュパンデ, バンダナ クリシュナマーシー, マンダル ブハーベ, ミッシェル フォウラー
Принадлежит: ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー.
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Опубликовано: 04-11-2004
Автор(ы): ケリー エー. ノワック, シエ シャオ, ジム ディー. メアドル, シュリーラム ヴィー. デシュパンデ, バンダナ クリシュナマーシー, マンダル ブハーベ, ミッシェル フォウラー
Принадлежит: ブルーワー サイエンス アイ エヌ シー.
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Anti-reflective coating composition with improved spin bowl compatibility
Номер патента: EP1392508B1. Автор: Xie Shao,Shreeram V. Deshpande,Jim D. Meador,Vandana Krishnamurthy,Mandar Bhave,Kelly A. Nowak,Michelle Fowler. Владелец: Brewer Science Inc. Дата публикации: 2018-10-10.