结晶锗的等离子体增强化学气相沉积
Номер патента: CN102959680A
Опубликовано: 06-03-2013
Автор(ы): D·R·威蒂, M·巴尔塞努, V·T·恩古耶, 夏立群
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 06-03-2013
Автор(ы): D·R·威蒂, M·巴尔塞努, V·T·恩古耶, 夏立群
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for enhancing growth of semipolar (Al,In,Ga,B)N via metalorganic chemical vapor deposition
Номер патента: US8405128B2. Автор: Hitoshi Sato,Shuji Nakamura,Steven P. DenBaars,Benjamin A. Haskell,John F. Kaeding,Michael Iza,Troy J. Baker. Владелец: UNIVERSITY OF CALIFORNIA. Дата публикации: 2013-03-26.