Method of manufacturing a semiconductor device involving the etching of a polycrystalline silicon layer
Номер патента: EP0171186A1
Опубликовано: 12-02-1986
Автор(ы): Yutaka Tomita
Принадлежит: NEC Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-02-1986
Автор(ы): Yutaka Tomita
Принадлежит: NEC Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US20050215062A1. Автор: Osamu Miyagawa,Masaki Narita,Tokuhisa Ohiwa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-09-29.