A multiple working distance height sensor using multiple wavelengths
Номер патента: WO2020046488A2
Опубликовано: 05-03-2020
Автор(ы): Donald Pettibone
Принадлежит: KLA-TENCOR CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-03-2020
Автор(ы): Donald Pettibone
Принадлежит: KLA-TENCOR CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Testing assembly including a multiple degree of freedom stage
Номер патента: EP2761357A1. Автор: Ryan Major,Syed Amanulla Syed Asif,Edward Cyrankowski,Derek Rasugu,Yuxin Feng. Владелец: Hysitron Inc. Дата публикации: 2014-08-06.