Optical Mode Optimization for Wafer Inspection
Номер патента: US20230367951A1
Опубликовано: 16-11-2023
Автор(ы): Bing-Siang Chao
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-11-2023
Автор(ы): Bing-Siang Chao
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Optical mode optimization for wafer inspection
Номер патента: US11748551B2. Автор: Bing-Siang Chao. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.