Fin field-effect transistor device having contact plugs with re-entrant profile
Номер патента: US11916147B2
Опубликовано: 27-02-2024
Автор(ы): Ching-Feng Fu, Guan-Ren Wang, Yu-Lien Huang, Yun-Min Chang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-02-2024
Автор(ы): Ching-Feng Fu, Guan-Ren Wang, Yu-Lien Huang, Yun-Min Chang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Fin field effect transistor device structure
Номер патента: US11791215B2. Автор: Yi-Hsun CHIU,Yi-Hsiung Lin,Shang-Wen Chang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-10-17.