Heat flow control in a processing tool
Номер патента: WO2024091389A1
Опубликовано: 02-05-2024
Автор(ы): Aaron Blake MILLER, Ashish Saurabh, Christopher Gage, Harish Kumar, Naveen Kumar NAGAMALLAPPA, Nitin Kadam, Noah Elliot BAKER, Patrick G. Breiling, Ramesh Chandrasekharan, Sairam Sundaram, Sudhir Srivastava, Timothy Scott Thomas
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-05-2024
Автор(ы): Aaron Blake MILLER, Ashish Saurabh, Christopher Gage, Harish Kumar, Naveen Kumar NAGAMALLAPPA, Nitin Kadam, Noah Elliot BAKER, Patrick G. Breiling, Ramesh Chandrasekharan, Sairam Sundaram, Sudhir Srivastava, Timothy Scott Thomas
Принадлежит: LAM RESEARCH CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Modular multi-chamber processing tool having link chamber for ultra high vacuum processes
Номер патента: WO2023172283A1. Автор: Robert Irwin Decottignies,Marek W. Radko. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-09-14.