Deep generative model-based alignment for semiconductor applications
Номер патента: US11983865B2
Опубликовано: 14-05-2024
Автор(ы): Bjorn BRAUER, Richard Wallingford
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-05-2024
Автор(ы): Bjorn BRAUER, Richard Wallingford
Принадлежит: KLA Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
DEEP GENERATIVE MODEL-BASED ALIGNMENT FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS
Номер патента: US20220375051A1. Автор: Brauer Bjorn,Wallingford Richard. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-24.