Process monitoring structures for via etch processes for semiconductor devices
Номер патента: US20240162097A1
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Deo Brat Singh, Poh Cheng Tan, René Wientjes, Sudeep Gudla, YAN Luo
Принадлежит: NXP Semiconductors NV, Systems on Silicon Manufacturing Co Pte Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-05-2024
Автор(ы): Deo Brat Singh, Poh Cheng Tan, René Wientjes, Sudeep Gudla, YAN Luo
Принадлежит: NXP Semiconductors NV, Systems on Silicon Manufacturing Co Pte Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reverse contact and silicide process for three-dimensional semiconductor devices
Номер патента: US20210098294A1. Автор: Subhadeep Kal,Jeffrey Smith,Kandabara Tapily,Daniel Chanemougame,Anton Devilliers,Lars Liebmann,Jodi Grzeskowiak,Hiroki Niimi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-04-01.