TITANIUM-SAPPHIRE LASER APPARATUS, LASER APPARATUS USED FOR EXPOSURE APPARATUS, AND TITANIUM-SAPPHIRE AMPLIFIER
Номер патента: US20170244215A1
Опубликовано: 24-08-2017
Автор(ы): NAKAZATO Tomoharu, Onose Takashi, WATANABE Shuntaro
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-08-2017
Автор(ы): NAKAZATO Tomoharu, Onose Takashi, WATANABE Shuntaro
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Titanium-sapphire laser apparatus, laser apparatus for exposure apparatus, and titanium-sapphire amplifier
Номер патента: WO2016103483A1. Автор: 貴士 小野瀬,俊太郎 渡部,智治 中里. Владелец: 学校法人東京理科大学. Дата публикации: 2016-06-30.