Reflective photomask blank and reflective photomask
Номер патента: EP4293421A1
Опубликовано: 20-12-2023
Автор(ы): Ayumi Goda, Ryohei Gorai
Принадлежит: Toppan Photomasks Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-12-2023
Автор(ы): Ayumi Goda, Ryohei Gorai
Принадлежит: Toppan Photomasks Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reflective photomask blank and reflective photomask
Номер патента: US20240118604A1. Автор: Ayumi Goda,Ryohei Gorai. Владелец: Toppan Photomasks Inc. Дата публикации: 2024-04-11.