Method of Manufacturing a Silicon Carbide Semiconductor Device by Removing Amorphized Portions
Номер патента: US20180204725A1
Опубликовано: 19-07-2018
Автор(ы): Daniel Kueck, Dethard Peters, Gerald Reinwald, Gerald Unegg, Roland Rupp, Romain Esteve, Thomas Aichinger, Victorina Poenariu, Wolfgang Bergner
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-07-2018
Автор(ы): Daniel Kueck, Dethard Peters, Gerald Reinwald, Gerald Unegg, Roland Rupp, Romain Esteve, Thomas Aichinger, Victorina Poenariu, Wolfgang Bergner
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of Manufacturing a Silicon Carbide Semiconductor Device by Removing Amorphized Portions
Номер патента: US20170103894A1. Автор: Roland Rupp,Wolfgang Bergner,Romain Esteve,Dethard Peters,Thomas Aichinger,Daniel Kueck,Gerald Unegg,Victorina Poenariu,Gerald Reinwald. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2017-04-13.