Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and program
Номер патента: SG11202107574SA
Опубликовано: 30-08-2021
Автор(ы): Hiroki HATTA, Ryota HORIIKE, Shin SONE
Принадлежит: Kokusai Electric Corp
Опубликовано: 30-08-2021
Автор(ы): Hiroki HATTA, Ryota HORIIKE, Shin SONE
Принадлежит: Kokusai Electric Corp
Semiconductor device manufacturing method, substrate processing method, substrate processing apparatus, and program
Номер патента: JP7198939B2. Автор: 由悟 渡橋,靖浩 女川,孝太郎 村上,健佑 芳賀. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-01-04.