Transfer circuit, connection sheet, probe sheet, probe card, semiconductor inspection apparatus, and method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: KR100938038B1
Опубликовано: 21-01-2010
Автор(ы): 노리오 쥬조, 데루따까 모리, 스스무 가스까베, 야스노리 나리즈까
Принадлежит: 가부시끼가이샤 르네사스 테크놀로지
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-01-2010
Автор(ы): 노리오 쥬조, 데루따까 모리, 스스무 가스까베, 야스노리 나리즈까
Принадлежит: 가부시끼가이샤 르네사스 테크놀로지
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Apparatus and method for measuring local surface temperature of semiconductor device
Номер патента: US20100322285A1. Автор: Rolf-Peter Vollertsen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-12-23.