Mechanical wafer alignment detection for bonding process
Номер патента: US20230282612A1
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): Ching I Li, Ching-Hung Wang, Chung-Yi Yu, Tzu-Wei Yu, Yeong-Jyh Lin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): Ching I Li, Ching-Hung Wang, Chung-Yi Yu, Tzu-Wei Yu, Yeong-Jyh Lin
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System and Method for Bonding Semiconductor Devices
Номер патента: US20230387071A1. Автор: Tung Ying Lee,Kai-Tai Chang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.