Powder atomic layer deposition equipment with quick release function
Номер патента: US20230120393A1
Опубликовано: 20-04-2023
Автор(ы): Chia-Cheng Ku, Jing-Cheng Lin, Jung-Hua Chang
Принадлежит: Sky Tech Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-04-2023
Автор(ы): Chia-Cheng Ku, Jing-Cheng Lin, Jung-Hua Chang
Принадлежит: Sky Tech Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Powder atomic layer deposition equipment with quick release function
Номер патента: US11952662B2. Автор: Jing-Cheng Lin,Jung-Hua Chang,Chia-Cheng Ku. Владелец: Sky Tech Inc. Дата публикации: 2024-04-09.