Process and mask projection system for laser crystallization processing of semiconductor film regions on a substrate
Номер патента: KR100873927B1
Опубликовано: 12-12-2008
Автор(ы): 임제임스에스.
Принадлежит: 더 트러스티스 오브 콜롬비아 유니버시티 인 더 시티 오브 뉴욕
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-12-2008
Автор(ы): 임제임스에스.
Принадлежит: 더 트러스티스 오브 콜롬비아 유니버시티 인 더 시티 오브 뉴욕
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for laser drilling blind vias
Номер патента: EP4183233A1. Автор: Steven Verhaverbeke,Roman Gouk,Wei-Sheng Lei,Kurtis LESCHKIES,Visweswaren Sivaramakrishnan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-05-24.