Россия, г. Королев.

eburdiyg@gmail.com

8 (903) 781-84-63

Substrate support with feedthrough structure

Номер патента: US09706605B2
Опубликовано: 11-07-2017
Автор(ы): Leon Volfovski, Mayur G. Kulkarni
Принадлежит: Applied Materials Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Substrate support with feedthrough structure

Номер патента: CN104247001A. Автор: 利昂·沃尔福夫斯基,马尤尔·G·库尔卡尼. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-12-24.

Substrate support for substrate backside contamination control

Номер патента: US09490150B2. Автор: YU Chang,Gwo-Chuan Tzu,Xiaoxiong Yuan,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-11-08.

Substrate support device

Номер патента: US20130134147A1. Автор: Daisuke Hashimoto,Junichi Miyahara,Jun Futakuchiya. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2013-05-30.

Substrate support with switchable multizone heater

Номер патента: US09538583B2. Автор: Michael R. Rice,Leon Volfovski,Mayur G. Kulkarni,Alex Minkovich. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Substrate support with multiple heating zones

Номер патента: US09888528B2. Автор: Jallepally Ravi,Cheng-Hsiung Tsai,Tomoharu Matsushita,Xiaoxiong Yuan,Manjunatha KOPPA,Aravind KAMATH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-02-06.

Substrate support with wire mesh plasma containment

Номер патента: US09478447B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Substrate support with heater

Номер патента: KR102026727B1. Автор: 마유르 지. 쿨카니,레온 볼포브스키. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2019-09-30.

Substrate support device, thermal processing apparatus, substrate support method, and thermal processing method

Номер патента: US20230253237A1. Автор: Scott PRENGLE. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

Semiconductor substrate support with internal channels

Номер патента: US20210320023A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-10-14.

Semiconductor substrate support with internal channels

Номер патента: US20230005780A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-01-05.

Semiconductor substrate support with internal channels

Номер патента: WO2021206939A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-10-14.

Tunable temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US20240321620A1. Автор: Vijay D. Parkhe,Phillip R. Sommer,Konstantin Makhratchev,Steven E. Babayan,Zhiqiang Guo,Dan A. Marohl. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-26.

Tunable temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US09472435B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Phillip R. Sommer,Konstantin Makhratchev,Steven E. Babayan,Zhiqiang Guo,Dan A. Marohl. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220254671A1. Автор: Shinya Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US11961755B2. Автор: Shinya Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-16.

Substrate supports and transfer apparatus for substrate deformation

Номер патента: WO2024136950A1. Автор: Xinning Luan,Zhepeng Cong. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate supports and transfer apparatus for substrate deformation

Номер патента: US20240213078A1. Автор: Xinning Luan,Zhepeng Cong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-27.

Semitransparent substrate support for microwave degas chamber

Номер патента: WO2022266358A1. Автор: Prashant Agarwal,Ananthkrishna Jupudi,Tuck Foong Koh. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-12-22.

Tunable temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US12009244B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Phillip R. Sommer,Konstantin Makhratchev,Steven E. Babayan,Zhiqiang Guo,Dan A. Marohl. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-11.

High-temperature substrate support assembly with failure protection

Номер патента: US20230377930A1. Автор: Ashish Goel,Martin Perez-Guzman,Suresh Gupta,Denis Martin Koosau. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-23.

High-temperature substrate support assembly with failure protection

Номер патента: WO2023224994A1. Автор: Ashish Goel,Martin Perez-Guzman,Suresh Gupta,Denis Martin Koosau. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-11-23.

High-temperature substrate support assembly with failure protection

Номер патента: US20230380016A1. Автор: Ashish Goel,Martin Perez-Guzman,Suresh Gupta,Denis Martin Koosau. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-23.

Substrate support with multiple heating zones

Номер патента: CN107112262A. Автор: 蔡振雄,枭雄·袁,贾勒帕里·拉维,松下智治,阿拉维德·卡马斯,曼朱纳塔·科普帕. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-08-29.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US11798791B2. Автор: Yasuharu Sasaki,Shingo Koiwa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.

Substrate support and substrate processing device

Номер патента: US20240162075A1. Автор: Masato Takayama,Atsushi Kawabata,Akira Nagayama,Takeshi Akao,Koji Kawanishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate support with quadrants

Номер патента: US09677177B2. Автор: Soo Young Choi,Shinichi Kurita,Beom Soo Park,Robin L. Tiner,Gaku Furuta,Bora OH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Heated substrate support with temperature profile control

Номер патента: US09698074B2. Автор: Nir Merry,Leon Volfovski. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate support assembly having rapid temperature control

Номер патента: US09883549B2. Автор: Michael D. Willwerth,Dan Katz,Theodoros Panagopoulos,John Holland,Alexander Matyushkin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements

Номер патента: WO2020061019A1. Автор: Siyuan Tian. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2020-03-26.

Low temperature biasable substrate support

Номер патента: WO2020222939A1. Автор: Brian T. West,Soundarrajan JEMBULINGAM,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-11-05.

Low temperature biasable substrate support

Номер патента: US20200350195A1. Автор: Brian T. West,Soundarrajan JEMBULINGAM,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-11-05.

Substrate supports, semiconductor processing systems having substrate supports, and methods of making substrate supports for semiconductor processing systems

Номер патента: US20230212752A1. Автор: Hong Gao,Zhengyan Zhou. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-07-06.

Substrate support carrier having multiple ceramic discs

Номер патента: US20240249965A1. Автор: Glen T. Mori,Stephen Donald PROUTY,Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY,Jonathan Simmons,Anand Durairajan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate support carrier having multiple ceramic discs

Номер патента: WO2024155491A1. Автор: Glen T. Mori,Stephen Donald PROUTY,Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY,Jonathan Simmons,Anand Durairajan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-07-25.

Heat source device, substrate support device and substrate processing facility

Номер патента: KR102335630B1. Автор: 송대석,남원식,연강흠. Владелец: (주)앤피에스. Дата публикации: 2021-12-08.

Heated substrate support

Номер патента: EP1476896A1. Автор: Emanuel Beer,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-11-17.

Substrate support chuck cooling for deposition chamber

Номер патента: US09865489B2. Автор: Brian West,Vijay Parkhe,Robert Hirahara,Dan Deyo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-09.

Substrate support chuck cooling for deposition chamber

Номер патента: US09668373B2. Автор: Brian West,Vijay Parkhe,Robert Hirahara,Dan Deyo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-05-30.

Substrate support apparatus and method

Номер патента: US12027407B2. Автор: Chi-Hung Liao,Fei-Gwo Tsai,Yueh Lin YANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Methods and apparatus for cooling a substrate support

Номер патента: US20240130082A1. Автор: Robert Irwin Decottignies,Roger Bradford Fish,Steven SZUDARSKI,Shane Lawrence KINTNER. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-18.

Methods and apparatus for cooling a substrate support

Номер патента: WO2024081210A1. Автор: Robert Irwin Decottignies,Roger Bradford Fish,Steven SZUDARSKI,Shane Lawrence KINTNER. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-04-18.

Electrical connector for a substrate support assembly

Номер патента: WO2024151413A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-07-18.

Plasma processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20240087857A1. Автор: Makoto Kato,Shoichiro Matsuyama,Chishio Koshimizu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240194514A1. Автор: Makoto Kato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Spring-loaded seal cover band for protecting a substrate support

Номер патента: WO2024059276A1. Автор: Feng Wang,Slobodan Mitrovic,Darrell EHRLICH,Eric SAMULON,Yixuan Yu,Khoa Dang TRUONG,Behnam BEHZIZ,Roger LIE,Andra Yuting CHEN. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-03-21.

Device for thermal treatment of a substrate, and support rack and substrate support element for the device

Номер патента: TW201803003A. Автор: 托瑪士 培拉,雷偉爾 拉力撒 凡恩. Владелец: 賀利氏諾伯燈具公司. Дата публикации: 2018-01-16.

Method and apparatus for substrate support with multi-zone heating

Номер патента: TWI654712B. Автор: 楊燿宏,吳正勳,扈胥達蘭法蘭克Ｆ,邱湯姆Ｋ,侯濤. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-03-21.

Method and apparatus for substrate support with multi-zone heating

Номер патента: KR102113454B1. Автор: 정훈 오,야오-헝 양,프랭크 에프. 후쉬다란,톰 케이. 초,타오 호우. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2020-05-21.

Apparatus for thermal treatment of a substrate, carrier and substrate support element

Номер патента: US20180247842A1. Автор: Thomas Piela,Larisa von Riewel. Владелец: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH. Дата публикации: 2018-08-30.

Substrate support with multi-piece sealing surface

Номер патента: US09916994B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Xiaoxiong Yuan,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Substrate support with improved process uniformity

Номер патента: US20240282551A1. Автор: Fangli Hao,Zhigang Chen,Yuehong Fu. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate support bushing

Номер патента: US09991153B2. Автор: Tao HOU. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-06-05.

Substrate support for use with multi-zonal heating sources

Номер патента: US09570328B2. Автор: Kailash Patalay,Errol Sanchez. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-14.

Substrate supporting apparatus and method of controlling substrate supporting apparatus

Номер патента: US12094754B2. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-09-17.

Substrate supporting apparatus, substrate processing apparatus, substrate supporting method, control program of substrate supporting apparatus, and recording medium

Номер патента: US8340811B2. Автор: Majima Kazuyuki,Goshokubo Gen. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2012-12-25.

Substrate support, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US11929240B2. Автор: Takehiro Ueda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-12.

Substrate support system for reduced autodoping and backside deposition

Номер патента: US7648579B2. Автор: Tony Keeton,Mike Halpin,Mark Hawkins,Robert Vyne,Paul Brabant,Matt G. Goodman,Jereon Stoutyesdijk,Ravinder Aggarwal,Lee Haen,Armand Ferro,Gregory M. Bartlett,Joseph P. Italiano,Bob Haro. Владелец: ASM America Inc. Дата публикации: 2010-01-19.

Counter-balanced substrate support

Номер патента: WO2009061737A1. Автор: Dmitry Lubomirsky,Ellie Y. Yieh,Toan Q. Tran,Lun Tsuei,Manuel A. Hernandez,Kirby H. Floyd. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2009-05-14.

Substrate support with improved process uniformity

Номер патента: US11984296B2. Автор: Fangli Hao,Zhigang Chen,Yuehong Fu. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-05-14.

Detection and analysis of substrate support and pre-heat ring in a process chamber via imaging

Номер патента: US20240145281A1. Автор: Hui Chen,Ashur J. Atanos,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Martin Jeffrey Salinas. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Detection and analysis of substrate support and pre-heat ring in a process chamber via imaging

Номер патента: WO2024091304A1. Автор: Hui Chen,Ashur J. Atanos,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Martin Jeffrey Salinas. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate supporting edge ring with coating for improved soak performance

Номер патента: US20150187631A1. Автор: Joseph M. Ranish,Aaron Muir Hunter. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-07-02.

Substrate support ring for more uniform layer thickness

Номер патента: WO2015009447A1. Автор: Lara Hawrylchak,Christopher S. Olsen,Heng Pan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2015-01-22.

Substrate Support and Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20180374740A1. Автор: Takayuki Sato,Naoya Matsuura. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2018-12-27.

Substrate support gap pumping to prevent glow discharge and light-up

Номер патента: WO2023114410A1. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Kenneth S. Collins,Michael R. Rice,James David Carducci,Silverst Antony RODRIGUES. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-06-22.

Substrate support for reduced damage substrate backside

Номер патента: US11955362B2. Автор: Cheng-Hsiung Tsai,Gwo-Chuan Tzu,Joel M Huston. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-09.

Substrate support

Номер патента: US11791139B2. Автор: Yasuharu Sasaki,Shin Yamaguchi,Koei ITO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-17.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: US20240105496A1. Автор: Yang Liu,Feng Liu,HUI Wang,Fuping CHEN,Xiaofeng Tao,Shena JIA,Haibo Hu. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2024-03-28.

Substrate supporting apparatus and substrate treating apparatus including the same

Номер патента: US20240038508A1. Автор: Hyung Joon Kim,Jong Gun Lee,So Hyung Jiong. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-01.

Tab arrangement for retaining support elements of substrate support

Номер патента: US20230402311A1. Автор: Yao-Hung Yang,Gaurav Shrivastava,Pavankumar Ramanand HARAPANHALLI,Fred Eric Ruhland. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

Tab arrangement for retaining support elements of substrate support

Номер патента: WO2023244497A1. Автор: Yao-Hung Yang,Gaurav Shrivastava,Pavankumar Ramanand HARAPANHALLI,Fred Eric Ruhland. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-12-21.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: US20190311938A1. Автор: HUI Wang,Jun Wu,Fuping CHEN,Wenjun Wang,Fufa Chen,Zhiyou Fang. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2019-10-10.

Substrate support device

Номер патента: US20220246459A1. Автор: Atsushi Kobayashi,Wataru Omuro. Владелец: Kelk Ltd. Дата публикации: 2022-08-04.

Slip ring for use in rotatable substrate support

Номер патента: US20180358768A1. Автор: YU Chang,Muhannad MUSTAFA,Muhammad M. Rasheed,William Kuang,Xiping Huo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-12-13.

Substrate support unit and plasma processing apparatus

Номер патента: US20230215708A1. Автор: Dongchan Lee,Jaekyung LEE,Jiseok Kim,Jehee Lee,Kiryong Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-06.

Substrate support with edge seal

Номер патента: US20190326152A1. Автор: CHANG Ke,LEI Zhou,Cheng-Hsiung Tsai,David Langtry,Song-Moon Suh,Yuanhong Guo,Bonnie Chia. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-10-24.

Substrate support with controlled sealing gap

Номер патента: US09543186B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci,Joel M. Huston. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Substrate supports with mesochannel assemblies

Номер патента: US20240213081A1. Автор: Kevin Flynn,Spoorthi SUBRAMANYA,Shivakumara REVANNA,Chandrashekara Kuashik GANDUR BALAGANGADHARA,Muskaan JAIN,Santosh Kumar KRISHNA MURTHY. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate supporting member, substrate treating apparatus including the same and substrate treating method thereof

Номер патента: US12040216B2. Автор: Kang Suk Lee,Hyeon Jun Lee,Yong Hoon HONG,So Young Jang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Substrate support apparatus and method for manufacturing substrate using the same

Номер патента: US20240258143A1. Автор: Dongwook Kim,Jewook KIM,Indeock HONG,Chansuk PARK,JaeKwang RYU. Владелец: Sunic System Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Low mass substrate support

Номер патента: EP4338199A1. Автор: Hui Chen,Zhiyuan Ye,Shu-Kwan LAU,Lori D. Washington,John Newman,Xinning Luan,Kirk Allen Fisher,James M. AMOS,Shawn Joseph Bonham,Philip Michael Amos,Aimee S. Erhardt. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-20.

Substrate support including multiple radio frequency (rf) electrodes

Номер патента: US20240321560A1. Автор: Yulin Peng,Jinrong ZHAO. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Method of processing a substrate support assembly

Номер патента: US09580806B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Wendell Glen BOYD, JR.,Sehn THACH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240212996A1. Автор: Naoyuki Satoh,Shu KUSANO,Toshiyuki ARAKANE,Hikaru KIKUCHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: US20210233790A1. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-07-29.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: WO2019213109A1. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-11-07.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: US11784075B2. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-10.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: US20190341286A1. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-11-07.

Rotating substrate support

Номер патента: US12106944B2. Автор: Yukihiro Mori. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-01.

Substrate support structure, vacuum drying device and vacuum drying method

Номер патента: US09903650B2. Автор: Dejiang Zhao. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-27.

Systems and methods for substrate support temperature control

Номер патента: US12062567B2. Автор: Satish Radhakrishnan,Rui CHENG,Karthik Janakiraman,Diwakar Kedlaya,Zubin HUANG,Badri N. RAMAMURTHI,Paul L. Brillhart,Venkatanarayana SHANKARAMURTHY,Anton V. Baryshnikov. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-13.

Overlapping substrate supports and pre-heat rings, and related process kits, processing chambers, methods, and components

Номер патента: WO2024167634A1. Автор: TAO Sheng,Hui Chen,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Chen-ying WU,NIMROD SMITH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-08-15.

Overlapping substrate supports and pre-heat rings, and related process kits, processing chambers, methods, and components

Номер патента: US20240274463A1. Автор: TAO Sheng,Hui Chen,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Chen-ying WU,NIMROD SMITH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate supporter

Номер патента: US20240321619A1. Автор: Minsung Kim,Jun Hyung Kim,Sangyeon OH,Yunjae Lee,Youngil KANG,Inhwan Park,Jihyeong LEE,Yonjoo Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate support with pressure zones having reduced contact area and temperature feedback

Номер патента: US5761023A. Автор: Shijian Li,Fred C. Redeker,Tetsuya Ishikawa,Brian Lue,Manus Wong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1998-06-02.

Plasma processing apparatus and substrate support of plasma processing apparatus

Номер патента: US11972933B2. Автор: Masahiro DOGOME. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Substrate supports including bonding layers with stud arrays for substrate processing systems

Номер патента: WO2021183279A1. Автор: Ann Erickson,Siyuan Tian. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-09-16.

Substrate support assembly and substrate processing device including the same

Номер патента: US12107000B2. Автор: Jaemin Roh,JuIll Lee,GunYong Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-01.

Coated substrate support assembly for substrate processing

Номер патента: EP4367715A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-15.

Locally heated multi-zone substrate support

Номер патента: US09472434B2. Автор: Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Plasma processing apparatus and substrate support body

Номер патента: US20240266154A1. Автор: Shinya Ishikawa,Daiki HARIU,Haruka ENDO,Miyuki AOYAMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Substrate supporting unit, and apparatus and method for polishing substrate using the same

Номер патента: US20100130105A1. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2010-05-27.

A programmable substrate support for a substrate system

Номер патента: WO1999050891A1. Автор: Richard E. Shultz. Владелец: Progressive System Technologies, Inc.. Дата публикации: 1999-10-07.

Substrate support assembly having metal bonded protective layer

Номер патента: US09685356B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Kadthala Ramaya Narendrnath. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Substrate supporting device, a substrate processing apparatus including the same, and a substrate processing method using the same

Номер патента: US20240162017A1. Автор: Heewon MIN,Dongyun Yeo,Juho Kim,Songyun Kang,Kuihyun YOON,Seungbin LIM,Youngrok KWON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-16.

System and method to detect substrate and/or substrate support misalignment using imaging

Номер патента: US09959610B2. Автор: Schubert S. Chu,Leonid M. Tertitski,Zhepeng Cong,Shay Assaf,Kim R. Vellore. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-01.

Substrate support in a millisecond anneal system

Номер патента: US10734262B2. Автор: Joseph Cibere. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-04.

Substrate support in a millisecond anneal system

Номер патента: US11810802B2. Автор: Joseph Cibere. Владелец: Mattison Technology Inc. Дата публикации: 2023-11-07.

Substrate support including multiple radio frequency (rf) electrodes

Номер патента: WO2024040522A1. Автор: Yulin Peng,Jinrong ZHAO. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.. Дата публикации: 2024-02-29.

Apparatus, system, and method for non-contact temperature monitoring of substrate supports

Номер патента: US20230282500A1. Автор: Thomas Brezoczky,Kirankumar Neelasandra Savandaiah,Bhaskar PRASAD,Srinivasa Rao Yedla. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-09-07.

Cover ring, substrate support and lithographic apparatus

Номер патента: WO2024208491A1. Автор: Adrianus Johannes Petrus Maria Vermeer,Dirk-Jan Bijvoet,Erik Willem BOGAART,Gijs Kramer,Roland Petrus Hendrikus HANEGRAAF,Godefridus Walterus Henrica VAN DER VORST,Freek Hendricus Gerardus FENNIS. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate support mechanism, substrate cleaning device and substrate processing method

Номер патента: US11948827B2. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue,Hisajiro NAKANO. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-04-02.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20230268216A1. Автор: Takahiko Sato,Tsutomu Nagai,Shinya Ishikawa,Keigo TOYODA,Daiki HARIU,Takafumi TSUDA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-24.

Substrate support apparatus and substrate cleaning apparatus

Номер патента: US11766756B2. Автор: Mitsuru Miyazaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-09-26.

Locally heated multi-zone substrate support

Номер патента: US09735037B2. Автор: Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate support assembly and substrate processing device including the same

Номер патента: US20230253238A1. Автор: Jaemin Roh,JuIll Lee,GunYong Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate support assembly for substrate treatment apparatus

Номер патента: US20230060570A1. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Ltd Deviceeng C. Дата публикации: 2023-03-02.

Coated substrate support assembly for substrate processing in processing chambers

Номер патента: US20240141488A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate supporting member and substrate processing apparatus including same

Номер патента: US20220406577A1. Автор: Sang Kee LEE. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-22.

Coated substrate support assembly for substrate processing in processing chambers

Номер патента: WO2024091303A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate supporting member and substrate processing apparatus including same

Номер патента: US20190115194A1. Автор: Sang Kee LEE. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2019-04-18.

Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support

Номер патента: US11810800B2. Автор: Hiroyuki Nakayama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-07.

Plasma processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20220415627A1. Автор: Akira Ishikawa,Ryota Nishi,Genki HIRATA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-29.

Substrate support assembly for substrate treatment apparatus

Номер патента: US20230062042A1. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Deviceeng Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-02.

Coated substrate support assembly for substrate processing

Номер патента: WO2023282982A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-01-12.

Substrate support device and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20230377932A1. Автор: Dongchan Lee,Su Hyung Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Substrate support unit, and apparatus and method for depositing a layer using the same

Номер патента: US20240063051A1. Автор: Klaus MÜNDLE,Andreas Mark,Florian HAGMANN. Владелец: EVATEC AG. Дата публикации: 2024-02-22.

Adjustable thermal break in a substrate support

Номер патента: US11764041B2. Автор: Andreas Schmid,Stephen Donald PROUTY,Alvaro Garcia de Gorordo,Andrew Antoine NOUJAIM,Daniel Sang BYUN. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-09-19.

Substrate supports including metal-ceramic interfaces

Номер патента: US20200173017A1. Автор: JIAN Li,Juan Carlos Rocha,Chidambara A. Ramalingam,Katty Marie Lydia Gamon GUYOMARD,Joseph M. POLESE. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-06-04.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US11935729B2. Автор: Yasuharu Sasaki,Hajime Tamura,Shin Yamaguchi,Katsuyuki Koizumi,Tsuguto SUGAWARA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-19.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240194457A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Hajime Tamura,Shin Yamaguchi,Katsuyuki Koizumi,Tsuguto SUGAWARA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240194458A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Hajime Tamura,Shin Yamaguchi,Katsuyuki Koizumi,Tsuguto SUGAWARA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate support assemblies having internal shaft areas with isolated environments that mitigate oxidation

Номер патента: WO2023064299A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-04-20.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH TEMPERATURE PROFILE CONTROL

Номер патента: US20150076135A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,MERRY NIR. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-19.

Semiconductor substrate supports with built-in RF shields

Номер патента: KR20210044906A. Автор: 재용 조,수남 박,드미트리 루보미르스키,데이비드 벤자민슨,마이클 그레이스,니콜라이 칼닌,돈 찬나 케이 칼루아라치치. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2021-04-23.

Substrate treating apparaus and substrate supporting unit

Номер патента: KR102037168B1. Автор: 장용수,양정윤,최현규. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2019-10-28.

Substrate support device for a substrate housing

Номер патента: DE19781572T1. Автор: Daniel A Babbs. Владелец: PROGRESSIVE SYS TECH Inc. Дата публикации: 1999-03-25.

Substrate processing apparatus, transfer method of substrate support, recording medium, and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: US20240249963A1. Автор: Naofumi Ohashi,Yukinori Aburatani. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate supporting units and substrate treating apparatuses including the same

Номер патента: US20130001213A1. Автор: Seungbae Lee,Wonhaeng Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-03.

Integrated electrode and ground plane for a substrate support

Номер патента: US12020912B2. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-25.

Substrate supporting apparatus, substrate processing system including the same, and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240038492A1. Автор: Youngkwon KIM,Jaehyun Kim,Jonghyun Lee,Kiyong Kim,Hyungjoon Kim,Iljun Jeon,Hee Jong Jeong,Yoodong YANG,Minsuck Yoo. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-02-01.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: US12112971B2. Автор: Ian BENSCO. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-08.

Substrate supports with multilayer structure including coupled heater zones with local thermal control

Номер патента: WO2022035629A1. Автор: Slobodan Mitrovic,Harmeet Singh,Darrell EHRLICH,Benny Wu. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2022-02-17.

Substrate support with heater and rapid temperature change

Номер патента: US20120196242A1. Автор: Leon Volfovski,Mayur G. Kulkarni,Alex Minkovich. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-08-02.

Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements

Номер патента: US20200098551A1. Автор: Siyuan Tian. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-03-26.

SUBSTRATE SUPPORT WITH QUADRANTS

Номер патента: US20150114948A1. Автор: CHOI Soo Young,PARK Beom Soo,KURITA Shinichi,FURUTA Gaku,TINER Robin L.,OH Bora. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-30.

SUBSTRATE SUPPORT WITH QUADRANTS

Номер патента: US20170231033A1. Автор: CHOI Soo Young,PARK Beom Soo,KURITA Shinichi,FURUTA Gaku,TINER Robin L.,OH Bora. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-10.

Substrate support with improved rf return

Номер патента: US20160240426A1. Автор: YU Chang,Jallepally Ravi,Cheng-Hsiung Tsai,Tomoharu Matsushita,Aravind Miyar Kamath. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-08-18.

Substrate support with electrically floating power supply

Номер патента: WO2019060031A1. Автор: HAITAO Wang,Robert Casanova,Vijay D. Parkhe,Christopher A. Rowland,Philip Allan Kraus,Travis Lee Koh,Daniel Distaso,Mark MARKOVSKY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-03-28.

Substrate support with improved RF return

Номер патента: TW201703182A. Автор: 蔡振雄,松下智治,卡曼司亞拉文德密亞,拉菲傑立巴利,張鈾. Владелец: 應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2017-01-16.

Substrate support with electrically floating power supply

Номер патента: TW201923948A. Автор: 維傑Ｄ 帕克,特拉維斯李 高,王海濤,菲利浦亞倫 克勞司,丹尼爾 迪斯塔索,克里斯托弗Ａ 羅蘭德,馬克 馬可夫斯基,羅伯特 卡莎諾瓦. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-06-16.

Heated type substrate support with Temperature Distribution control

Номер патента: CN105556656B. Автор: 利昂·沃尔福夫斯基,尼尔·玛利. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-11-02.

Substrate support with heater and rapid temperature change

Номер патента: TWI610396B. Автор: 沃福斯基里昂,古卡霖梅尤Ｇ,明柯維奇艾力克斯. Владелец: 應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2018-01-01.

Substrate support with improved RF return

Номер патента: KR102537310B1. Автор: 잘레팔리 라비,유 창,아라빈드 미야르 카마스,쳉-싱 차이,토모하루 마쓰시타. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2023-05-25.

Substrate support with heater and rapid temperature change

Номер патента: KR101933560B1. Автор: 레온 볼포브스키,마유르 쥐. 쿨카르니,알렉스 민코비치. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2018-12-28.

Heated substrate support with temperature profile control device

Номер патента: JP6404355B2. Автор: ニール メリー，,レオン ヴォルフォフスキ，. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-10.

Substrate Processing Apparatus, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Method of Processing Substrate Support

Номер патента: US20220005712A1. Автор: ICHIMURA Keita,Aburatani Yukinori. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-06.

Substrate Support and Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20180374740A1. Автор: Sato Takayuki,MATSUURA Naoya. Владелец: . Дата публикации: 2018-12-27.

Substrate supporting units and substrate treating apparatuses including the same

Номер патента: TWI469250B. Автор: Seungbae Lee,Wonhaeng Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2015-01-11.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: WO2022192041A1. Автор: Ian BENSCO. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-09-15.

Substrate support with gas introduction openings

Номер патента: WO2010083271A2. Автор: Soo Young Choi,John M. White,Sam H. Kim,Beom Soo Park,Robin L. Tiner,Carl A. Sorensen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-07-22.

Method and tool for restricting substrate a support bead inside an opening formed in a substrate support

Номер патента: US20240297066A1. Автор: Songjae Lee,Liurui Li. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Substrate support

Номер патента: EP1485946A1. Автор: Wendell T. Blonigan,Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Hung T. Nguyen,Toshio Kiyotake. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-12-15.

Substrate Support with Gas Introduction Openings

Номер патента: US20120149194A1. Автор: Soo Young Choi,John M. White,Sam H. Kim,Beom Soo Park,Robin L. Tiner,Carl A. Sorensen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-06-14.

Substrate support and semiconductor manufacturing apparatus

Номер патента: US20130327274A1. Автор: Zempei Kawazu,Akihito Ohno. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-12-12.

Substrate support and semiconductor manufacturing apparatus

Номер патента: US09824911B2. Автор: Zempei Kawazu,Akihito Ohno. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Substrate support apparatus

Номер патента: US20240222177A1. Автор: Yong Park. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Substrate support assembly having a plasma resistant protective layer

Номер патента: US09916998B2. Автор: Jennifer Y. Sun,Senh Thach,Biraja P. Kanungo,Vahid Firouzdor. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Process kit for a substrate support

Номер патента: US20190229007A1. Автор: Yu Lei,Avgerinos V. Gelatos,Vikash Banthia,Muhannad MUSTAFA,Muhammad M. Rasheed,Victor H. Calderon,Shi Wei Toh,Yung-Hsin Lee,Anindita Sen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-07-25.

A system, a lithographic apparatus, and a method for reducing oxidation or removing oxide on a substrate support

Номер патента: US20200150549A1. Автор: Nina Vladimirovna DZIOMKINA,Lucas Henricus Johannes Stevens,Johannes Adrianus Cornelis Maria Pijnenburg,Laura Maria FERNANDEZ DIAZ. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-05-14.

Substrate support temperature control

Номер патента: US8596336B2. Автор: Paul Brillhart,Richard Fovell,Jivko Dinev,Sang In Yi,Anisul H. Khan,Shane Nevil. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-12-03.

Substrate support assembly

Номер патента: SG145633A1. Автор: Abhijit Desai,Christopher Richard Mahon,Robert T Hirahira. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2008-09-29.

Substrate support assembly, plasma processing apparatus, and plasma processing method

Номер патента: US20230298865A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Masashi Ikegami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

Substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230030470A1. Автор: Ryo SHINOZAKI. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-02-02.

Substrate support assembly having a plasma resistant protective layer

Номер патента: WO2014089244A1. Автор: Jennifer Y. Sun,Senh Thach,Biraja P. Kanungo,Vahid Firouzdor. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-06-12.

Substrate support with radio frequency (RF) return path

Номер патента: US09340866B2. Автор: Thanh X. Nguyen,Ananthkrishna Jupudi,Alan Ritchie,Kirankumar Savandaiah,Donny Young,Wei W. Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-05-17.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and substrate support

Номер патента: US20230304149A1. Автор: Kenichi Suzaki,Yuma IKEDA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate support, lithographic apparatus and loading method

Номер патента: US12032301B2. Автор: Johannes Onvlee,David Ferdinand VLES,Wim Symens,Antonius Franciscus Johannes De Groot. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-09.

Substrate support, lithographic apparatus and loading method

Номер патента: US20190113853A1. Автор: Johannes Onvlee,David Ferdinand VLES,Wim Symens,Antonius Franciscus Johannes De Groot. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2019-04-18.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240339305A1. Автор: Hajime Tamura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate support plate, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method

Номер патента: US20240363331A1. Автор: Seunghwan Lee,DaeYoun Kim,Jaehyun Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-31.

Substrate support with substrate heater and symmetric rf return

Номер патента: US20130001215A1. Автор: YU Chang,Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci,Anqing Cui,William W. Kuang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-01-03.

Substrate support apparatus and vacuum processing apparatus

Номер патента: US20110286826A1. Автор: Tadashi Ikeda,Hiroshi Sone,Gen Goshokubo. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2011-11-24.

Method of assembling substrate supporting apparatus

Номер патента: US20240261882A1. Автор: Kyu Tae Cho. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Method for transporting a substrate with a substrate support

Номер патента: US20130064637A1. Автор: Martin Hosek. Владелец: Persimmon Technologies Corp. Дата публикации: 2013-03-14.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20200365380A1. Автор: Takehiro Ueda,Jun Hirose. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-11-19.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240339303A1. Автор: Makoto Kato,Takashi Kanazawa,Shin Yamaguchi,Daiki Satoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Semiconductor substrate support leveling apparatus

Номер патента: US12131934B2. Автор: JIAN Li,David W. Groechel,Juan Carlos Rocha-Alvarez,Paul L. Brillhart,Paul E. Fisher,Chidambara A. Ramalingam,Katherine Woo,Dorothea Buechel-Rimmel,Shinnosuke KAWAGUCHI,Joseph J. Farah. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-29.

Esc substrate support with chucking force control

Номер патента: US20190067070A1. Автор: Wendell Glenn Boyd, JR.,Zhenwen Ding,Jim Zhongyi He. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-02-28.

Esc substrate support with chucking force control

Номер патента: WO2019046054A1. Автор: Zhenwen Ding,Jim Zhongyi He,Jr. Wendell Glenn Boyd. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-03-07.

Substrate support system and method

Номер патента: EP1769102A2. Автор: Sidlgata V. Sreenivasan,Pawan K. Nimmakayala. Владелец: University of Texas System. Дата публикации: 2007-04-04.

Gas flow substrate supports, processing chambers, and related methods and apparatus, for semiconductor manufacturing

Номер патента: US20240363390A1. Автор: Hui Chen,Shawn Thomas,Xinning Luan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-31.

Gas flow substrate supports, processing chambers, and related methods and apparatus, for semiconductor manufacturing

Номер патента: WO2024226125A1. Автор: Hui Chen,Shawn Thomas,Xinning Luan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-10-31.

Procede de transfert d’une couche utile sur une face avant d’un substrat support

Номер патента: FR3126809B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-10-25.

Procede de transfert d'une couche utile sur une face avant d'un substrat support

Номер патента: EP4399738A1. Автор: Nadia Ben Mohamed,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-07-17.

Substrate support

Номер патента: US12148636B2. Автор: Masanori Takahashi,Shota Ezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-11-19.

Substrate Support Structure and Method for maintaining a substrate clamped to a substrate support Structure

Номер патента: GB2469113A. Автор: Hendrik Jan De Jong. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2010-10-06.

Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support location, lithographic apparatus and device manufacturing method

Номер патента: US20170192359A1. Автор: Mircea Dusa,Martinus Hendrikus Antonius Leenders,Martijn Houben,Thomas Poiesz,Abraham Alexander SOETHOUDT,Justin Johannes Hermanus Gerritzen,Johannes Gerardus Maria Mulder,Paul VAN DONGEN,Marco Adrianus Peter Van Den Heuvel,Niek Elout De Kruijf,Antonie Hendrik VER WEIJ. Владелец: Asml Holding Nv. Дата публикации: 2017-07-06.

Substrate support with varying depths of areas between mesas and corresponding temperature dependent method of fabricating

Номер патента: US20220380894A1. Автор: Ann Erickson,Keith Gaff,Devin Ramdutt. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2022-12-01.

High flow vacuum chamber including equipment modules such as a plasma generating source, vacuum pumping arrangement and/or cantilevered substrate support

Номер патента: US5948704A. Автор: Neil Benjamin,Jon Hylbert,Stefano Mangano. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 1999-09-07.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US11929272B2. Автор: Kenichi Suzaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-03-12.

Substrate support assembly, substrate support, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20230352280A1. Автор: Yuki AHIKO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-02.

A component of a substrate support assembly producing localized magnetic fields

Номер патента: WO2013039718A1. Автор: Sung Lee,Harmeet Singh,Brett Richardson,Keith Gaff. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2013-03-21.

Substrate support designs for a deposition chamber

Номер патента: US20210375658A1. Автор: Govinda Raj,Kaushik RAO,Anubhav Srivastava,Santhosh Kumar PILLAPPA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-12-02.

Reducing temperature transition in a substrate support

Номер патента: US20180174879A1. Автор: Tao Zhang,Eric A. Pape,Ole Waldmann. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-06-21.

Substrate support for processing a substrate, vacuum processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: WO2019096425A1. Автор: Reiner Hinterschuster,Anke Hellmich,Simon Lau. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-05-23.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: US20240079264A1. Автор: Jeonggil KIM,Jonggu LEE,Hyeonjin Kim,Kyoungwhan OH. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-07.

Gas cooled substrate support for stabilized high temperature deposition

Номер патента: US09790589B2. Автор: Brian West,Jeonghoon Oh,Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-17.

Substrate support device

Номер патента: US09551071B2. Автор: Toshihiko Hanamachi,Daisuke Hashimoto,Yasuaki Ishioka. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Substrate supporting table, substrate processing apparatus, and manufacture method for semiconductor device

Номер патента: US9786528B2. Автор: Masakazu Sakata. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-10-10.

Method of mounting substrate support in chamber, method of dismounting substrate support and auxiliary transport tool

Номер патента: US10010987B2. Автор: Taku Hitomi,Miho MAJIMA. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-07-03.

Substrate supporting plate, thin film deposition apparatus including the same, and thin film deposition method

Номер патента: US11965262B2. Автор: Yong Min Yoo,Seung Woo Choi,Dong Seok Kang,Jong Won SHON. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-04-23.

Substrate supporting plate, apparatus including the substrate supporting plate, and method of using same

Номер патента: US20230392278A1. Автор: Seungwoo Choi,YongMin Yoo,Sungbae Kim,Dongseok Kang,JongWon Shon. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-12-07.

Substrate supporting plate, thin film deposition apparatus including the same, and thin film deposition method

Номер патента: US20240158942A1. Автор: Yong Min Yoo,Seung Woo Choi,Dong Seok Kang,Jong Won SHON. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-05-16.

Semiconductor substrate support leveling apparatus

Номер патента: US20220108907A1. Автор: JIAN Li,David W. Groechel,Juan Carlos Rocha-Alvarez,Paul L. Brillhart,Paul E. Fisher,Chidambara A. Ramalingam,Katherine Woo,Dorothea Buechel-Rimmel,Shinnosuke KAWAGUCHI,Joseph J. Farah. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-04-07.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: WO2014082196A1. Автор: HUI Wang,Fuping CHEN,Wenjun Wang,Huaidong ZHANG. Владелец: ACM Research (Shanghai) Inc.. Дата публикации: 2014-06-05.

Systems for controlling plasma density distribution profiles including multi-rf zoned substrate supports

Номер патента: US20230352272A1. Автор: Alexander Miller PATERSON,Juline Shoeb. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-11-02.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240038507A1. Автор: Satoshi Taga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-01.

Laminate body, method, and materials for temporary substrate support and support separation

Номер патента: EP2828883A1. Автор: Eric G. Larson,Wayne S. Mahoney,Blake R. Dronen. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-01-28.

Electrical connector for a substrate support assembly

Номер патента: US20240235097A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Monolithic anisotropic substrate supports

Номер патента: US20240128062A1. Автор: Karl Leeser,Noah Elliot BAKER,Joel Hollingsworth,Stephen TOPPING,Ramkishan LINGAMPALLI. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-04-18.

Substrate supporting and transferring apparatus, method of supporting and transferring substrate, and manufacturing method of display apparatus using the same

Номер патента: US20190139809A1. Автор: Sang-hyun Park,Sang-Joon HONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-05-09.

Shadow ring alignment for substrate support

Номер патента: US20240203703A1. Автор: Vinayakaraddy GULABAL,Ravi Vellanki,Gary B. Lind,Andrew Paul EIB. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate support designs for a deposition chamber

Номер патента: WO2020086122A1. Автор: Govinda Raj,Kaushik RAO,Anubhav Srivastava,Santhosh Kumar PILLAPPA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-04-30.

Substrate support device

Номер патента: US20150376783A1. Автор: Toshihiko Hanamachi,Daisuke Hashimoto,Yasuaki Ishioka. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-31.

Edge ring assembly for a substrate support in a plasma processing chamber

Номер патента: US20200066495A1. Автор: Hamid Noorbakhsh,Anwar Husain,Reyn Wakabayashi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-02-27.

Heated substrate support

Номер патента: TW200302913A. Автор: Emanuel Beer,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-08-16.

Heated substrate support

Номер патента: TWI276771B. Автор: Emanuel Beer,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-03-21.

Substrate supporting unit and Substrate processing apparatus having the same

Номер патента: KR102098556B1. Автор: 김진영,안명헌,김찬유. Владелец: 주식회사 테스. Дата публикации: 2020-04-17.

Substrate support, substrate processing apparatus, substrate processing system, and method of detecting erosion of adhesive in substrate support

Номер патента: US20200185204A1. Автор: Takehiro Ueda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-06-11.

Substrate support having customizable and replaceable features for enhanced backside contamination performance

Номер патента: US20200066570A1. Автор: John Baggett,Dave Shaner. Владелец: Axcelis Technologies Inc. Дата публикации: 2020-02-27.

Substrate supporter, substrate processing apparatus, method of measuring temperature, method of manufacturing semiconductor device and recording medium

Номер патента: US20240234187A1. Автор: Hitoshi Murata,Masaaki Ueno,Takayuki Nakada. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate support device, display panel manufacturing apparatus and substrate support method

Номер патента: EP3489992A1. Автор: Gu Yao,Yu Wang,Qinghua Zou,Ruhui Zhu,Shupeng GUO,Tingyuan DUAN. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-29.

Substrate support with adjustable lift and rotation mount

Номер патента: TWI372442B. Автор: Jeffrey Campbell,Brian H Burrows. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-09-11.

Substrate support with adjustable lift and rotation mount

Номер патента: TW200822278A. Автор: Jeffrey Campbell,Brian H Burrows. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2008-05-16.

SUBSTRATE INVERTING DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE, AND SUBSTRATE INVERTING METHOD, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND SUBSTRATE SUPPORTING METHOD

Номер патента: US20190067077A1. Автор: MURAMOTO Ryo. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

Ring assembly, substrate support apparatus and plasma processing apparatus including the same

Номер патента: US12068141B2. Автор: Sungki Lee,Jonggun YOON,Sungkyu CHOI. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-20.

Substrate inverting device, substrate processing apparatus, and substrate supporting device, and substrate inverting method, substrate processing method, and substrate supporting method

Номер патента: TW201921577A. Автор: 村元僚. Владелец: 日商斯庫林集團股份有限公司. Дата публикации: 2019-06-01.

Substrate support and apparatus for treating substrate having thereof substrate support

Номер патента: KR101432157B1. Автор: 지상현,권창민,문용수,최승애. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2014-08-20.

Boat for supporting substrate, supporting unit including the boat and apparatus for processing substrate using the supporting unit

Номер патента: KR101243309B1. Автор: 박주영,조병호,강호영. Владелец: 주식회사 테라세미콘. Дата публикации: 2013-03-13.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE, THERMAL PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORT METHOD, AND THERMAL PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210159111A1. Автор: PRENGLE Scott. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-27.

Substrate supporting apparatus and method of controlling substrate supporting apparatus

Номер патента: US20200321237A1. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-10-08.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE, SUBSTRATE SUPPORT METHOD AND VACUUM DRYING EQUIPMENT

Номер патента: US20160372343A1. Автор: Wang Man,ZHAI Yuman. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-22.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND FILM FORMING DEVICE HAVING THE SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20190385827A1. Автор: Hanamachi Toshihiko,TATSUMI Arata,TAKAHARA Go. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-19.

Substrate holder, substrate supporting apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing method using the same

Номер патента: US20110049100A1. Автор: Sang Hoon Lee,Young Ki Han,Young Soo Seo,Hyoung Won Kim,Chi Kug Yoon. Владелец: Charm Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2011-03-03.

Substrate Supporting Member, Substrate Baking Furnace, Substrate Transporting Unit and Substrate Processing Method

Номер патента: KR100961021B1. Автор: 야스시 나가시마,유스케 무라오카,야스요시 미야지. Владелец: 가부시끼가이샤 퓨처 비전. Дата публикации: 2010-06-01.

Substrate holder, substrate supporting apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing method using the same

Номер патента: WO2009091189A2. Автор: Sang Hoon Lee,Young Ki Han,Young Soo Seo,Hyoung Won Kim,Chi Kug Yoon. Владелец: Sosul Co., Ltd.. Дата публикации: 2009-07-23.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: US11915950B2. Автор: Dmitry Lubomirsky,Peter Hillman,Soonam Park,Mehmet Tugrul Samir,Dongqing Yang,Martin Yue Choy,Lala Zhu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-02-27.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: US20180337074A1. Автор: Dmitry Lubomirsky,Peter Hillman,Soonam Park,Mehmet Tugrul Samir,Dongqing Yang,Martin Yue Choy,Lala Zhu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-11-22.

SUBSTRATE HOLDER AND SUBSTRATE SUPPORT DEVICE INCLUDING THE SUBSTRATE HOLDER

Номер патента: US20200391259A1. Автор: SHIN In Chul,KIM Hyun O. Владелец: KCTECH CO., LTD.. Дата публикации: 2020-12-17.

Substrate processing apparatus, method for manufacturing semiconductor device, method for processing substrate and substrate supporting part

Номер патента: KR101474339B1. Автор: 타카유키 사토,타츠시 우에다,코이치로 하라다,노리아키 미치타. Владелец: 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키. Дата публикации: 2014-12-18.

SUBSTRATE SUPPORT WITH IN SITU WAFER ROTATION

Номер патента: US20180033673A1. Автор: Nemani Srinivas D.,BABAYAN Viachslav,Roy Shambhu N.,Malik Sultan. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

SUBSTRATE SUPPORT WITH IMPROVED PROCESS UNIFORMITY

Номер патента: US20210166914A1. Автор: Chen Zhigang,Fu Yuehong,HAO Fangli. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-03.

Substrate support with electrostatic chuck having dual temperature zones

Номер патента: CN101093811A. Автор: 亚历山大·马蒂亚申,丹尼斯·库斯,桑托斯·帕纳格保罗斯,约翰·霍兰德. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-12-26.

Substrate support with electrostatic chuck having dual temperature zones

Номер патента: KR101387598B1. Автор: 존 홀랜드,알렉산더 매튜시킨,데니즈 쿠사우,테오도로스 파나고플로스. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2014-04-23.

Substrate support with improved process uniformity

Номер патента: TWI783960B. Автор: 芳莉 郝,越虹 付,陳志剛. Владелец: 美商蘭姆研究公司. Дата публикации: 2022-11-21.

Lcd substrate support apparatus

Номер патента: TW200536392A. Автор: Ching-Lung Wang,Wen-Cheng Hsu,Yu-Ying Chan,Shao-Ming Hsu,He-Li Hsieh,Chen Kun Teng. Владелец: Innolux Display Corp. Дата публикации: 2005-11-01.

EDGE RING, SUBSTRATE SUPPORT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20210035783A1. Автор: KIKUCHI Takaaki,TAIRA Takashi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-02-04.

Lift Pin Assembly, Substrate Support Apparatus and Substrate Processing Apparatus Having the Same

Номер патента: US20190080955A1. Автор: LEE Su-ho,Lee Ja-Woo,Shin Seung-Won. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

Substrate support device, substrate conveyance robot, and aligner device

Номер патента: US20200176299A1. Автор: Katsuhiko Shimada,Joseph Chang,Nobuyuki Furukawa,Yong-Gu Kang. Владелец: Yaskawa Electric Corp. Дата публикации: 2020-06-04.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME

Номер патента: US20190311923A1. Автор: KIM Hyun-su. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-10.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS HAVING THE SAME

Номер патента: US20200402836A1. Автор: Oh Seung Hoon,PARK Inhwang,PARK Gui Su,LEE Young Hun,CHOI Youngseop,WOO Jonghyeon,JAE Jin Mo. Владелец: SEMES CO., LTD.. Дата публикации: 2020-12-24.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20220415693A1. Автор: KATO Makoto,Yamaguchi Shin,SAITO Hideto,KANAZAWA Takashi,MUTO Ryoma. Владелец: . Дата публикации: 2022-12-29.

Substrate support unit, and apparatus and method for treating substrate with the same

Номер патента: KR100885180B1. Автор: 김봉주,이택엽. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2009-02-23.

Substrate processing apparatus comprising substrate supporting means

Номер патента: KR101248929B1. Автор: 전대식. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2013-03-29.

Substrate supporting device for vacuum processing apparatus, vacuum processing apparatus having same, and method for examining breakage of substrate

Номер патента: KR101418989B1. Автор: 최일권,김완승. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2014-07-11.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: JP5689483B2. Автор: 英博 野内,坂田　雅和,雅和 坂田,野内　英博. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2015-03-25.

Substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus having the same

Номер патента: KR101421644B1. Автор: 김형원,한영기,서영수. Владелец: 참엔지니어링(주). Дата публикации: 2014-07-24.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method for manufacturing semiconductor device

Номер патента: JPWO2012099064A1. Автор: 英博 野内,坂田　雅和,雅和 坂田,野内　英博. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2014-06-30.

Substrate supporting device and substrate treating apparatus comprising the same

Номер патента: KR102322187B1. Автор: 조준영,강정석. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2021-11-04.

Substrate support unit, and substrate treating apparatus and method using the same

Номер патента: US20090095327A1. Автор: Dong-Soon Hwang,Tae-in Kim,Sung-Jin Hong. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2009-04-16.

Substrate supporting member, apparatus for treating substrate with it

Номер патента: KR101455736B1. Автор: 정경화. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2014-11-04.

Substrate support unit, and substrate treating apparatus and method using the same

Номер патента: US8297293B2. Автор: Dong-Soon Hwang,Tae-in Kim,Sung-Jin Hong. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-30.

Substrate support device, substrate transfer robot, and aligner device

Номер патента: JP2020088259A. Автор: Katsuhiko Shimada,Joseph Chang,伸征 古川,克彦 島田,Yong-Gu Kang,ジョセフ チャン,Nobumasa Furukawa,ヨング カン. Владелец: Yaskawa Electric Corp. Дата публикации: 2020-06-04.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230163012A1. Автор: Shingo Koiwa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-05-25.

Substrate supporting assembly and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: KR102336497B1. Автор: 이인환,조병철,진광선,전진성. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2021-12-08.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: KR20220051815A. Автор: 신 마츠우라,노부타카 사사키,경 민 박,도시키 아카마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-04-26.

Substrate supporter, substrate processing apparatus and electrostatic attraction method

Номер патента: KR20230045545A. Автор: 신스케 오카. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-04-04.

Adjustable substrate support and adjustment method

Номер патента: US20210066114A1. Автор: Ching-Hua Chen,Kai-Fa Ho. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Electrostatic chuck, substrate support, plasma processing apparatus, and method of manufacturing electrostatic chuck

Номер патента: US20230064309A1. Автор: Atsushi Kawabata,Masanori Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-02.

Substrate support structure, heat treatment apparatus using same, first sheet-like object for use in the substrate support structure, method of manufacturing the substrate support structure, heat treatment apparatus, and substrate sucking method

Номер патента: TW200802680A. Автор: Hiroshi Miyauchi,Masao Tsuji,Hideyuki Taniguchi,Yasuhiro Fukumoto. Владелец: Dainippon Screen Mfg. Дата публикации: 2008-01-01.

Susceptor, Substrate Support Member, Apparatus for Processing Substrate Including Susceptor and Substrate Support Member, Method of Manufacturing Susceptor, and Method of Manufacturing Substrate Support Member

Номер патента: KR20220025800A. Автор: 권수영,박상화. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2022-03-03.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20160049317A1. Автор: Yang Il-Kwang,Je Sung-Tae,LEE Dong-Keun,CHU Kyung-Jin. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20170110347A1. Автор: Yang Il-Kwang,Je Sung-Tae,LEE Dong-Keun,CHU Kyung-Jin. Владелец: EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2017-04-20.

BATCH SUBSTRATE SUPPORT WITH WARPED SUBSTRATE CAPABILITY

Номер патента: US20210233790A1. Автор: Jupudi Ananthkrishna,GAUTAM RIBHU,Patel Shashidhara. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-29.

BATCH SUBSTRATE SUPPORT WITH WARPED SUBSTRATE CAPABILITY

Номер патента: US20190341286A1. Автор: Jupudi Ananthkrishna,GAUTAM RIBHU,Patel Shashidhara. Владелец: . Дата публикации: 2019-11-07.

Substrate supporting unit and the substrate board treatment comprising the substrate supporting unit

Номер патента: CN104681387B. Автор: 卢载旻,金炯俊. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-20.

Substrate support with uniform temperature across the substrate

Номер патента: KR20230104069A. Автор: 에릭 새뮬런,제레미 조지 스미스,알렉산더 매튜스킨,키이스 코멘던트,이쉬안 유. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2023-07-07.

Substrate supporting apparatus, substrate supporting member, substrate transfer apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: TW201135372A. Автор: Kiyoshi Kogure,Muneyasu Yokota,Tadashi Seki,Kunihiro Kawae. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-10-16.

Apparatus, hybrid laminated body, method, and materials for temporary substrate support

Номер патента: EP2810300A1. Автор: Eric G. Larson,Blake R. Dronen. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2014-12-10.

Substrate support device and substrate support method

Номер патента: KR101534357B1. Автор: 나루아키 이이다,스구루 에노키다,세이지 나카노,미치아키 마츠시타,가츠히로 모리카와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-07-06.

Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support

Номер патента: KR102524161B1. Автор: 히로유키 나카야마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-04-20.

Substrate supporting unit and film forming device having substrate supporting unit

Номер патента: EP3591690A1. Автор: Toshihiko Hanamachi,Go Takahara,Arata Tatsumi. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-08.

Substrate supporting unit and film forming device having the substrate supporting unit

Номер патента: US11201040B2. Автор: Toshihiko Hanamachi,Go Takahara,Arata Tatsumi. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-14.

Substrate support unit, substrate transffering unit, substrate treating apparatus and substrate treating method

Номер патента: KR101536718B1. Автор: 최중봉,주윤종. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2015-07-15.

Substrate processing apparatus, substrate support apparatus, substrate processing method, and substrate manufacturing method

Номер патента: KR100408606B1. Автор: 요네하라타카오,다카사와토오루,야마가타켄지. Владелец: 캐논 가부시끼가이샤. Дата публикации: 2003-12-03.

Substrate processing apparatus substrate support apparatus substrate processing method and substrate manufacturing method

Номер патента: SG71182A1. Автор: Takao Yonehara,Kenji Yamagata,Toru Takisawa. Владелец: Canon Kk. Дата публикации: 2000-03-21.

Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support

Номер патента: EP3882644B1. Автор: Hiroyuki Nakayama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-17.

SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20220044956A1. Автор: CHOI Seung Woo,LEE Seung Hwan,Park Ju Hyuk. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-10.

Substrate supporting member, substrate treating apparatus including the same and substrate treating method thereof

Номер патента: US20220044959A1. Автор: Kang Suk Lee,Hyeon Jun Lee,Yong Hoon HONG,So Young Jang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-02-10.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS, SUBSTRATE TREATING SYSTEM INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер патента: US20180122660A1. Автор: KIM Jae-Youl,Kim Seongsu,SEO Jong Seok. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-03.

Substrate support member, substrate treatment apparatus, and substrate transfer apparatus

Номер патента: US20210173306A1. Автор: Hitoshi Hashima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-06-10.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210358725A1. Автор: OSHIMA Kazuki. Владелец: . Дата публикации: 2021-11-18.

SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20190311940A1. Автор: CHOI Seung Woo,LEE Seung Hwan,Park Ju Hyuk. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-10.

Substrate support, apparatus for processing substrate, and method of adjusting temperature of substrate

Номер патента: KR20220007518A. Автор: 도시키 고바야시,에이노스케 츠다. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2022-01-18.

Substrate Position Correction for Substrate Supports in Substrate Processing Systems

Номер патента: KR102462261B1. Автор: 잘레팔리 라비,토모하루 마츠시타,아라빈드 카마트,청-흥 차,히로유키 타카하마. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2022-11-01.

Substrate supporting module, substrate processing apparatus, and substrate processing system

Номер патента: KR20210055360A. Автор: 유성진. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2021-05-17.

Substrate position calibration for substrate supports in substrate processing systems

Номер патента: JP7161497B2. Автор: 宏行 高浜,智治 松下,アラヴィンド カマス,ジャレパリー ラヴィ,チェン－ション ツァイ. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-10-26.

Substrate support mechanism, substrate cleaning apparatus, and substrate processing method

Номер патента: JP2022191540A. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue,拓也 井上,充 宮▲崎▼,Hisajiro NAKANO,央二郎 中野. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2022-12-28.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: US20120097332A1. Автор: Xing Lin,Xiaoping Zhou,Andrew Nguyen,Douglas A. Buchberger, Jr.,Anchel Sheyner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-04-26.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: US20190051551A1. Автор: Xing Lin,Xiaoping Zhou,Andrew Nguyen,Douglas A. Buchberger, Jr.,Anchel Sheyner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-02-14.

ESC SUBSTRATE SUPPORT WITH CHUCKING FORCE CONTROL

Номер патента: US20190067070A1. Автор: Boyd,JR. Wendell Glenn,Ding Zhenwen,HE Jim Zhongyi. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

Substrate support with dual embedded electrodes

Номер патента: US20190088519A1. Автор: Philip Allan Kraus,Jaeyong Cho. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-21.

SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORTS WITH EMBEDDED RF SHIELD

Номер патента: US20200090972A1. Автор: LUBOMIRSKY DMITRY,Cho Jaeyong,Benjaminson David,Park Soonam,GRACE Michael,Kalnin Nikolai,Kaluarachchi Don Channa K.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-03-19.

SUBSTRATE SUPPORT WITH THERMAL ZONES FOR SEMICONDUCTOR PROCESSING

Номер патента: US20160300741A1. Автор: Comendant Keith,Benjamin Neil,Singh Harmeet,Gaff Keith. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2016-10-13.

SUBSTRATE SUPPORT WITH EDGE SEAL

Номер патента: US20190326152A1. Автор: Zhou Lei,SUH SONG-MOON,Tsai Cheng-Hsiung,Langtry David,Guo Yuanhong,KE CHANG,CHIA BONNIE. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-24.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: KR102069550B1. Автор: 싱 린,앤드류 뉴옌,더글라스 에이. 주니어. 버크버거,샤오핑 저우,안첼 쉐이너. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2020-02-11.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: TWI538093B. Автор: 林欣,布希博格二世道格拉斯Ａ,周逍平,蓋葉安德魯恩,喜納安克. Владелец: 應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2016-06-11.

Substrate support with controlled sealing gap

Номер патента: TWI614837B. Автор: 古法西歐肯,休斯頓約耳Ｍ,祖國權. Владелец: 應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2018-02-11.

Substrate support with a protective layer for plasma resistance

Номер патента: CN101118865A. Автор: 珍妮弗·Y·孙,周爱琳. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2008-02-06.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: US10096494B2. Автор: Xing Lin,Xiaoping Zhou,Andrew Nguyen,Douglas A. Buchberger,Anchel Sheyner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-09.

Substrate support with more uniform edge purge

Номер патента: TW202029296A. Автор: 蔡振雄,松下智治,傑立巴利 拉菲,小雄 袁,曼裘那薩 高帕,亞拉文德密亞 卡曼司. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2020-08-01.

Substrate support and inspection apparatus

Номер патента: EP3929603B1. Автор: Hiroyuki Nakayama,Masahito Kobayashi,Dai Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Substrate support device

Номер патента: TWI621204B. Автор: Toshihiko Hanamachi,Daisuke Hashimoto,Junichi Miyahara,Kazuhiro Yonekura,Jun Futakuchiya,Toshihiro Tachikawa,Go Takahara. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-11.

Locally heated multi-zone substrate support

Номер патента: US09984912B2. Автор: Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-29.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20210005495A1. Автор: Sasaki Yasuharu,KISHI Hiroki,TOMIOKA Taketoshi,SUH Jisoo. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-01-07.

Substrate support assembly and substrate processing device including the same

Номер патента: US20210013085A1. Автор: Jaemin Roh,JuIll Lee,GunYong Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2021-01-14.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20210057187A1. Автор: KIM Dae Hyun,Na Sae Won. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

SUBSTRATE SUPPORT FOR REDUCED DAMAGE SUBSTRATE BACKSIDE

Номер патента: US20190080951A1. Автор: TZU GWO-CHUAN,HUSTON Joel M.,Tsai Cheng-Hsiung. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

SUBSTRATE SUPPORTING MEMBER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME

Номер патента: US20220406577A1. Автор: LEE Sang Kee. Владелец: SEMES CO., LTD.. Дата публикации: 2022-12-22.

Substrate supporting assembly and substrate processing device comprising same

Номер патента: CN112216646A. Автор: 李主日,卢载旻,朴健溶. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2021-01-12.

Substrate supporting device and substrate treating apparatus including the same

Номер патента: KR102200315B1. Автор: 김형준,정소형. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2021-01-08.

Substrate supporting unit, and apparatus and method for polishing substrate using the same

Номер патента: US8382555B2. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2013-02-26.

Substrate support unit and substrate polishing apparatus and method using the same

Номер патента: JP5174791B2. Автор: ユーブ イ，テク. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-03.

Substrate supporting device and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: CN112309816A. Автор: 郑韶滢,金炯俊. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2021-02-02.

Substrate transport apparutus having four substrate support

Номер патента: KR101338857B1. Автор: 김재영,김원경,오영일,이성직. Владелец: 주식회사 나온테크. Дата публикации: 2013-12-16.

Substrate support unit and apparatus for treating substrate using the same

Номер патента: KR101015229B1. Автор: 송길훈,노환익. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2011-02-18.

Substrate support and substrate table

Номер патента: CN115176203A. Автор: N·坦凯特,G·克拉默,C·H·M·伯尔蒂斯,M·M·P·A·沃姆伦,S·A·特姆普,F·P·A·范德别尔克莫特尔,N·J·J·罗塞,N·P·M·布兰吉斯,M·T·J·芳廷. Владелец: Asml Holding Nv. Дата публикации: 2022-10-11.

Substrate supporting unit, heat treatment unit and substrate treating apparatus including the same

Номер патента: KR20180061683A. Автор: 박상욱,최철민,조민우,강만규. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2018-06-08.

Substrate support system, lithographic apparatus and substrate exposure method

Номер патента: KR20230010648A. Автор: 로져 세바스티안 길리잼스,요한 게르트루디스 코르넬리스 쿤넨,덴 흐벨 마르코 아드리아누스 피터 반,부경 주. Владелец: 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이.. Дата публикации: 2023-01-19.

Substrate support unit and device for processing substrate by the same

Номер патента: CN101409247A. Автор: 郑惠善,李昇浩. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2009-04-15.

Temperature-Tuned Substrate Supports for Substrate Processing Systems

Номер патента: KR20190141260A. Автор: 노만 머크,히만수 초시. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2019-12-23.

Methods for controlling clamping of insulator-type substrate on electrostatic-type substrate support structure

Номер патента: US10923379B2. Автор: Daniel Lai,Padma Gopalakrishnan,Chin-Yi LIU,Rajitha Vemuri. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2021-02-16.

Substrate support unit and apparatus to treat substrate including same

Номер патента: KR101884853B1. Автор: 이은탁,신경식. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2018-08-02.

Substrate support assembly and substrate processing apparatus

Номер патента: CN114207804A. Автор: 李相敦,金龙基,申良湜,金哉佑,孙成均. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-03-18.

Methods for controlling clamping of insulator-type substrate on electrostatic-type substrate support structure

Номер патента: KR102500927B1. Автор: 친-이 리우,다니엘 라이,라지타 베무리,파드마 고팔라크리쉬난. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2023-02-16.

Substrate supporting unit and substrate processing apparatus having the same

Номер патента: CN112117232A. Автор: 吴承勋,崔永燮,李暎熏,诸振模,禹钟贤,朴仁煌,朴贵秀. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2020-12-22.

Substrate support and thermal-conductivity substrate

Номер патента: CN107527842A. Автор: H·诺巴卡施,V·D·帕科,K·马赫拉切夫,J·德拉罗萨,B·L·梅斯,小道格拉斯·A·布齐伯格. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-12-29.

Substrate supporting unit, heat treatment unit and substrate treating apparatus including the same

Номер патента: KR102000021B1. Автор: 박상욱,최철민,조민우,강만규. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2019-07-17.

Substrate treatment device, method for manufacturing semiconductor device, and substrate supporting tool and method for treating same

Номер патента: WO2020196025A1. Автор: 油谷　幸則,圭太 市村. Владелец: 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ. Дата публикации: 2020-10-01.

Substrate support unit and substrate processing device comprising the same

Номер патента: CN104681387A. Автор: 卢载旻,金炯俊. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2015-06-03.

Substrate support unit and cmp system comprising the same, substrate cmp method

Номер патента: KR102389438B1. Автор: 박성현,이근우. Владелец: 주식회사 케이씨텍. Дата публикации: 2022-04-25.

Substrate supporting device and Substrate treating apparatus having the same

Номер патента: KR101736363B1. Автор: 김미선,고성근. Владелец: (주)티티에스. Дата публикации: 2017-05-18.

Substrate supports including bonding layers with stud arrays for substrate processing systems

Номер патента: KR20220154736A. Автор: 시유안 티안,앤 에릭슨. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2022-11-22.

Substrate support part and substrate processing apparatus

Номер патента: JP2023003003A. Автор: Makoto Kato,Takashi Kanazawa,Shin Yamaguchi,伸 山口,秀翔 斉藤,誠人 加藤,Hideto Saito,和志 金澤,亮磨 武藤,Ryoma Muto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-01-11.

Substrate support and substrate table

Номер патента: US20230075771A1. Автор: Coen Hubertus Matheus Baltis,Nicolaas Ten Kate,Niek Jacobus Johannes Roset,Siegfried Alexander Tromp,Gijs Kramer,Marcus Martinus Petrus Adrianus Petrus Adrianus VERMEULEN,Frank Pieter Albert VAN DEN BERKMORTEL,Nicolaas Petrus Marcus BRANTJES,Michiel Theodorus Jacobus FONTEYN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-03-09.

Substrate support system, lithographic apparatus and method of exposing a substrate

Номер патента: US20230176487A1. Автор: Johan Gertrudis Cornelis Kunnen,Rogier Sebastiaan GILIJAMSE,Marco Adrianus Peter Van Den Heuvel,Boogyeong Zoo. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2023-06-08.

Substrate supporting assmbly for substrate treating apparatus

Номер патента: KR20230029171A. Автор: 이택엽. Владелец: (주) 디바이스이엔지. Дата публикации: 2023-03-03.

Substrate support assembly and support method

Номер патента: JP2004505446A. Автор: ビョルクマン　クレス,ドアン　ケニー,プ　ブライヤン,ノールバクシュ　ハミド. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-02-19.

Substrate supporting units and substrate treating apparatuses including the same

Номер патента: US8901459B2. Автор: Seungbae Lee,Wonhaeng Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-02.

Substrate support element for a support rack

Номер патента: EP3472859A1. Автор: Thomas Piela,Larissa Von Riewel. Владелец: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH. Дата публикации: 2019-04-24.

Substrate support element for a support rack

Номер патента: WO2017220272A1. Автор: Thomas Piela,Larissa Von Riewel. Владелец: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH. Дата публикации: 2017-12-28.

Plasma processing method and plasma processing apparatus including applying a voltage to a lower electrode in a substrate support with a gas supplied into a chamber

Номер патента: US20240222085A1. Автор: Koichiro Nakamura,Norihisa Kiyofuji. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Substrate supporting unit and a substrate processing device including the same

Номер патента: US11866823B2. Автор: Seunghwan Lee,HakYong Kwon,Sungbae Kim,Jongsu Kim,JuHyuk Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-01-09.

Substrate support, load-lock chamber for transferring substrates and methods for aligning a substrate on a substrate support

Номер патента: TWI279876B. Автор: Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Wendell T Blonigan,Toshio Kiyotake,Hung T Nguyen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-04-21.

Substrate support assembly

Номер патента: US20240332058A1. Автор: Sathiyamurthi GOVINDASAMY,Suresh PALANISAMY,Harish Penmethsa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-03.

Substrate support assembly

Номер патента: WO2024205755A1. Автор: Sathiyamurthi GOVINDASAMY,Suresh PALANISAMY,Harish V. PENMETHSA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-10-03.

SUBSTRATE SUPPORTING PIN, SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE AND SUBSTRATE ACCESS SYSTEM

Номер патента: US20180158715A1. Автор: Wang Xiaojun,SHI Xu,Li DongQing,XU Zhilong,LIU Dagang,XU Jianfan. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-07.

Mask for a substrate, substrate support, substrate processing apparatus, method for layer deposition on a substrate and method of manufacturing one or more devices

Номер патента: WO2024074202A1. Автор: Wolfgang Klein,Markus Hanika,Simon Lau,Avinash JAGADISH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-04-11.

Connector for substrate support with embedded temperature sensors

Номер патента: US12077862B2. Автор: Donald J. Miller,Siyuan Tian. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-09-03.

Substrate supporting unit and temperature control method thereof

Номер патента: US20230376055A1. Автор: Kyung-Tae LIM. Владелец: Tes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Lift pin actuator,substrate support assembly, and method for utilizing substrate support assembly

Номер патента: TWI674168B. Автор: 威沃斯麥克Ｄ,寇雷亞羅伯托西薩. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-10-11.

Substrate supporting unit and Substrate supporting apparatus having the same

Номер патента: KR101477142B1. Автор: 김현정,고성근,경재진. Владелец: (주)티티에스. Дата публикации: 2014-12-29.

Substrate support pin, baseplate support device and substrate clamping and placing system

Номер патента: CN104658959B. Автор: 李冬青,王小军,徐志龙,刘大刚,石旭,许建凡. Владелец: Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate support frame, and substrate processing apparatus comprising the same, and method of loading and unloading substrate using the same

Номер патента: KR101397124B1. Автор: 이용현. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2014-05-19.

GLASS SUBSTRATE WITH HOLDER, METHOD FOR HEAT TREATMENT OF GLASS SUBSTRATE, AND GLASS SUBSTRATE SUPPORT UNIT

Номер патента: JP6065722B2. Автор: 妥夫 寺西,尚利 稲山,博通 梅村. Владелец: Nippon Electric Glass Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-25.

Glass substrate with holding part, method for heat treating glass substrate, and glass substrate supporting unit

Номер патента: KR102160928B1. Автор: 야스오 테라니시,나오토시 이나야마,히로미치 우메무라. Владелец: 니폰 덴키 가라스 가부시키가이샤. Дата публикации: 2020-09-29.

Apparatus and method for etching a thin film layer on a substrate, and apparatus and method for positioning and clamping a substrate on an accommodating portion of the substrate support member

Номер патента: KR100373878B1. Автор: 노르만 엘. 터너,제리 웡,마사토 엠. 토시마,캄 에스. 라우,단 마이단. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2003-05-09.

Substrate support, substrate processing device and method of placing a substrate

Номер патента: CN101299416B. Автор: 托马斯·贝尔格,迪特尔·哈斯,西蒙·劳. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-09-29.

Substrate support member, substrate conveyance apparatus, substrate conveyance method, exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: CN102741993A. Автор: 加藤正纪,户口学. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2012-10-17.

Substrate support, substrate processing device and method of placing a substrate

Номер патента: KR100957885B1. Автор: 디터 하스,시몬 라우,토마스 버거. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2010-05-13.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH THERMAL BAFFLES

Номер патента: US20210050234A1. Автор: RUHLAND Fred Eric,PATANKAR Sumit S.. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

Substrate support with integrated vacuum and edge purge conduits

Номер патента: US20140252710A1. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-09-11.

SUBSTRATE SUPPORT WITH IMPROVED PROCESS UNIFORMITY

Номер патента: US20180190526A1. Автор: Chen Zhigang,Fu Yuehong,HAO Fangli. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

Substrate support with clamping electrical connector

Номер патента: US20060272774A1. Автор: Visweswaren Sivaramakrishnan,Mark Fodor,Kazutoshi Maehara,Kentaro Wada,Andrzei Kaszuba. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2006-12-07.

Substrate support with integrated vacuum and edge purge conduits

Номер патента: US9633889B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-04-25.

Substrate support with gas introduction openings

Номер патента: TW201037785A. Автор: Soo-Young Choi,John M White,Robin L Tiner,Beom-Soo Park,Carl A Sorensen,Sam H Kim. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-10-16.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: TW200908201A. Автор: Suk-Min Son. Владелец: Advanced Display Proc Eng Co. Дата публикации: 2009-02-16.

Substrate support

Номер патента: TW200305245A. Автор: Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Wendell T Blonigan,Toshio Kiyotake,Hung T Nguyen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-10-16.

SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20210035782A1. Автор: Kim Hyung Joon,Jiong So Hyung. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-04.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20140151332A1. Автор: Fukasawa Takayuki. Владелец: . Дата публикации: 2014-06-05.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, HEAT TREATMENT UNIT, AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20180151409A1. Автор: Park Sanguk,Kang Man Kyu,JO Min Woo,CHOI Cheolmin. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

RING ASSEMBLY, SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210183629A1. Автор: OSHIMA Kazuki,OGUMA Shingo. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-06-17.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS HAVING REDUCED SUBSTRATE PARTICLE GENERATION

Номер патента: US20150170954A1. Автор: SUH SONG-MOON,Agarwal Pulkit,SANSONI STEVEN V.,MORI GLEN. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-18.

Substrate supporting unit, apparatus with the same and method for treating substrate

Номер патента: KR101543692B1. Автор: 이명진. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2015-08-11.

Substrate support unit and apparatus for treating substrate including the same

Номер патента: KR20150066285A. Автор: 이상진,이판석. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2015-06-16.

Substrate supporting apparatus and substrate detaching method

Номер патента: KR101099209B1. Автор: 마쓰자와미노루,요시다다쓰로. Владелец: 리아라이즈·아도반스토테쿠노로지 가부시키가이샤. Дата публикации: 2011-12-27.

Stand-off pad for supporting a wafer on a substrate support chuck and method of fabricating same

Номер патента: EP0856882A3. Автор: Vijay Parkhe,Hyman J. Levinstein,Shamouil Shamouilian,Anada H. Kumar. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1999-10-27.

Substrate support apparatus having reduced substrate particle generation

Номер патента: KR102330713B1. Автор: 송문 서,글렌 모리,풀킷 아그라왈,스티븐 브이. 산소니. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2021-11-23.

Magnetic fixture, substrate support assembly and method for securing an edge support frame to a table frame

Номер патента: KR20230096036A. Автор: 랄프 린덴베르크,볼프강 클라인. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate support table and substrate preparation device

Номер патента: CN110648958A. Автор: 王培�,陈兵,杨璐,徐海峰,赵东升,史大为,王文涛,李铸毅,王子峰,段岑鸿,温宵松. Владелец: Chongqing Jingdong Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-03.

Substrate support apparatus and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: JP5140632B2. Автор: 尚範 ▲チョウ▼,炳晋 鄭,明河 朴. Владелец: コミコ株式会社. Дата публикации: 2013-02-06.

Substrate support frame and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: TW201009999A. Автор: Suk-Ju Park,Seong-Ryong HWANG. Владелец: Jusung Eng Co Ltd. Дата публикации: 2010-03-01.

Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system

Номер патента: US11908715B2. Автор: Ramesh Chandrasekharan,Sairam Sundaram,Aaron Durbin. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-02-20.

Optically heated substrate support assembly with removable optical fibers

Номер патента: US20170303338A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-19.

Optically heated substrate support assembly with removable optical fibers

Номер патента: WO2017184405A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-10-26.

Substrate processing system having susceptorless substrate support with enhanced substrate heating control

Номер патента: US09682398B2. Автор: Joseph M. Ranish,Kailash Patalay. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Substrate support device and substrate cleaning device including the same

Номер патента: US11302540B2. Автор: Kyeong bin LIM,Jong Keun OH,Byung Gook Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2022-04-12.

Substrate type sensor for measuring horizontality of substrate support member provided in atmosphere accompanied by temperature change, method for measuring horizontality of substrate support member by using the same, and non-transitory computer readable medium

Номер патента: US12061097B2. Автор: Sang Min Lee,Young Seop CHOI,Hwan Bin Kim,Jong Hyeon WOO,Sang Hyun Son,Yong-jun Seo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Substrate support device and substrate cleaning device including the same

Номер патента: US20190221451A1. Автор: Kyeong bin LIM,Jong Keun OH,Byung Gook Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-07-18.

Substrate support, substrate processing unit and substrate supporting method

Номер патента: TW200805558A. Автор: Osamu Tsuda,Fumihiro Kamimura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-01-16.

Substrate type sensor for measuring horizontality of substrate support member provided in atmosphere accompanied by temperature change, method for measuring horizontality of substrate support member by using the same, and non-transitory computer readable medium

Номер патента: US20220205782A1. Автор: Sang Min Lee,Young Seop CHOI,Hwan Bin Kim,Jong Hyeon WOO,Sang Hyun Son,Yong-jun Seo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-30.

Substrate support in a reactive sputter chamber

Номер патента: WO2010077750A3. Автор: David Tanner,Hien-Minh Huu Le. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-10-21.

Substrate support in a reactive sputter chamber

Номер патента: WO2010077750A2. Автор: David Tanner,Hien-Minh Huu Le. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-07-08.

System for depositing one or more layers on a substrate supported by a carrier and method using the same

Номер патента: US09899635B2. Автор: Dieter Haas,Stefan Bangert,Jose Manuel Dieguez-Campo,Uwe Schüβler. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING SUSCEPTORLESS SUBSTRATE SUPPORT WITH ENHANCED SUBSTRATE HEATING CONTROL

Номер патента: US20170259294A1. Автор: Ranish Joseph M.,PATALAY KAILASH. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-14.

Substrate processing system having susceptorless substrate support with enhanced substrate heating control

Номер патента: KR102174240B1. Автор: 조셉 엠. 라니쉬,카일라시 파탈레이. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2020-11-04.

A substrate support for supporting a substrate having a front surface to be processed and an opposing back surface, a method for processing a substrate, a vacuum processing apparatus and a substrate processing system

Номер патента: TW201936949A. Автор: 賽門 勞,安格 海幕奇,萊納 亨特史豪特. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-09-16.

Substrate support unit, substrate processing apparatus, and method for manufacturing substrate support unit

Номер патента: JP5395810B2. Автор: リ，ドンーキュン,チョ，ギョンージン,ジェ，ソンーテ,ヤン，イルークァン. Владелец: ユージン テクノロジー カンパニー リミテッド. Дата публикации: 2014-01-22.

Lift Pin Assembly, Substrate Support Apparatus and Substrate Processing Apparatus Having the Same

Номер патента: US20190080955A1. Автор: Ja-Woo Lee,Su-Ho Lee,Seung-Won Shin. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-03-14.

Apparatuses for measuring gap between a substrate support plane and gas distribution device

Номер патента: US20240213060A1. Автор: Adriana VINTILA,Shriram Vasant BAPAT,Emily Ann ALDEN,Damien Martin SLEVIN. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS MANUFACTURING METHOD OF THE SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20140174356A1. Автор: Kim Hai Won,CHO Sung-kil. Владелец: EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2014-06-26.

SUBSTRATE SUPPORT, METHOD FOR LOADING A SUBSTRATE ON A SUBSTRATE SUPPORT LOCATION, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20170192359A1. Автор: Leenders Martinus Hendrikus Antonius,Houben Martijn,DUSA Mircea,GERRITZEN Justin Johannes Hermanus,POIESZ Thomas,SOETHOUDT Abraham Alexander,VAN DEN HEUVEL Marco Adrianus Peter,DE KRUIJF Niek Elout,MULDER Johannes Gerardus Maria,VAN DONGEN Paul,VER WEIJ Antonie Hendrik. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-06.

Apparatus, hybrid laminated body, method and materials for temporary substrate support

Номер патента: US9184083B2. Автор: Wayne S. Mahoney,Rajdeep S. Kalgutkar. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-11-10.

Substrate supporting unit and substrate processing apparatus manufacturing method of the substrate supporting unit

Номер патента: US9761473B2. Автор: Sung-kil CHO,Hai Won Kim. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-12.

Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support location, lithographic apparatus and device manufacturing method

Номер патента: IL248384A0. Автор: . Владелец: Asml Holding Nv. Дата публикации: 2016-11-30.

Substrate Support, Substrate Processing Apparatus and Method of Manufacturing Semiconductor Device

Номер патента: US20240162067A1. Автор: Daiki Taniguchi. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-05-16.

Semiconductor substrate support with multiple electrodes and method for making same

Номер патента: EP3673506A1. Автор: Michael Parker. Владелец: Component Re Engineering Co Inc. Дата публикации: 2020-07-01.

Substrate supporting and transferring apparatus, method of supporting and transferring substrate, and manufacturing method of display apparatus using the same

Номер патента: US20190139809A1. Автор: Sang-hyun Park,Sang-Joon HONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-05-09.

Substrate processing apparatus substrate support apparatus substrate processing method and substrate fabrication method

Номер патента: SG65092A1. Автор: Takao Yonehara,Kenji Yamagata,Toru Takisawa. Владелец: Canon Kk. Дата публикации: 1999-05-25.

Substrate processing apparatus, substrate support apparatus, substrate processing method, and substrate fabrication method

Номер патента: US6451670B1. Автор: Takao Yonehara,Kenji Yamagata,Toru Takisawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2002-09-17.

Substrate processing apparatus, substrate support apparatus, substrate processing method, and substrate fabrication method

Номер патента: AU732569B2. Автор: Takao Yonehara,Kenji Yamagata,Toru Takisawa. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2001-04-26.

Substrate processing apparatus, substrate support apparatus, substrate processing method, and substrate fabrication method

Номер патента: KR100396014B1. Автор: 타카오 요네하라,켄지 야마가타,토루 타키사와. Владелец: 캐논 가부시끼가이샤. Дата публикации: 2003-10-17.

Method for supporting substrate, substrate supporting apparatus and exposure apparatus

Номер патента: AU2003298996A1. Автор: Hidekazu Kikuchi. Владелец: Sendai Nikon Corp. Дата публикации: 2004-04-08.

Substrate carrier device, substrate carrying method, substrate supporting member, substrate holding device, exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method

Номер патента: TW201206802A. Автор: Yasuo Aoki,Tadashi Seki,Takuya Yanagawa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2012-02-16.

METHOD OF CLAMPING A SUBSTRATE TO A CLAMPING SYSTEM, A SUBSTRATE HOLDER AND A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20220082952A1. Автор: POIESZ Thomas,SOETHOUDT Abraham Alexander. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2022-03-17.

SUBSTRATE POSITION CALIBRATION FOR SUBSTRATE SUPPORTS IN SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

Номер патента: US20220099426A1. Автор: Tsai Cheng-Hsiung,Ravi Jallepally,MATSUSHITA Tomoharu,KAMATH Aravind,TAKAHAMA Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

SUBSTRATE POSITION CALIBRATION FOR SUBSTRATE SUPPORTS IN SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

Номер патента: US20180233396A1. Автор: Tsai Cheng-Hsiung,Ravi Jallepally,MATSUSHITA Tomoharu,KAMATH Aravind,TAKAHAMA Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2018-08-16.

SUBSTRATE HOLDER, SUBSTRATE SUPPORT AND METHOD OF CLAMPING A SUBSTRATE TO A CLAMPING SYSTEM

Номер патента: US20200326635A1. Автор: POIESZ Thomas,SOETHOUDT Abraham Alexander. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2020-10-15.

Substrate supporting device, substrate processing system comprising same and substrate processing method

Номер патента: CN108022868B. Автор: 金载烈,徐钟锡,金性洙. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-14.

Substrate supporting unit, single type substrate polishing apparatus using the unit, and substrate polishing method using the apparatus

Номер патента: TWI404166B. Автор: Gyo-Woog Koo,Chang-Ro Yoon,Jung-Gun Cho,Ki-Hoon Choi,Jung-Bong Choi,Duk-Hyun Son,Se-Hun Goo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-01.

Substrate supporting unit, single type substrate polishing apparatus using the unit, and substrate polishing method using the apparatus

Номер патента: TW201001609A. Автор: Gyo-Woog Koo,Chang-Ro Yoon,Jung-Gun Cho,Ki-Hoon Choi,Jung-Bong Choi,Duk-Hyun Son,Se-Hun Goo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-01.

Substrate supporting member, substrate polishing apparatus having the same and method of polishing substrate using the same

Номер патента: KR101041452B1. Автор: 최중봉,오세훈. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2011-06-16.

A method of clamping a substrate to a clamping system, a substrate holder and a substrate support

Номер патента: TWI760104B. Автор: 雅伯罕 亞歷山卓 索薩德,湯瑪士 波伊茲. Владелец: 荷蘭商Ａｓｍｌ荷蘭公司. Дата публикации: 2022-04-01.

Substrate treating apparatus, substrate support unit, and substrate treating method

Номер патента: US11056320B2. Автор: Sang-Kee Lee,Kang Rae HA. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2021-07-06.

Substrate support plate, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: TW202138617A. Автор: 李承桓,金大淵,金材玹. Владелец: 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司. Дата публикации: 2021-10-16.

Substrate support, substrate processing apparatus, substrate processing method, and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: JP4759073B2. Автор: 貴志 尾崎,健一 寿崎. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2011-08-31.

Susceptor with arched shape grooves on the substrates support surface

Номер патента: WO2015068022A1. Автор: Franco Preti,Mario Preti,Vincenzo Ogliari,Francesco COREA. Владелец: Lpe S.P.A.. Дата публикации: 2015-05-14.

SUBSTRATE SUPPORT WITH INCREASING AREAL DENSITY AND CORRESPONDING METHOD OF FABRICATING

Номер патента: US20180033672A1. Автор: Leeser Karl,Woytowitz Peter,Burkhart Vincent,Rumer Michael. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORTS WITH IMPROVED HIGH TEMPERATURE CHUCKING

Номер патента: US20210035843A1. Автор: Li Jian,Padhi Deenesh,Srivastava Shailendra,Benjamin Raj Daemian Raj,Rocha Juan C.,HAN Xinhai,HU Kesong,Ye Zheng J.,Wang Chuan-Ying. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-02-04.

SUBSTRATE SUPPORT WITH COOLED AND CONDUCTING PINS

Номер патента: US20190088518A1. Автор: Lee Wonseok,KOH Travis Lee,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20190088520A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20200118861A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

SUBSTRATE SUPPORT WITH CONTROLLED SEALING GAP

Номер патента: US20140217665A1. Автор: TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN,HUSTON Joel M.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-08-07.

SUBSTRATE SUPPORT WITH VARYING DEPTHS OF AREAS BETWEEN MESAS AND CORRESPONDING TEMPERATURE DEPENDENT METHOD OF FABRICATING

Номер патента: US20180148835A1. Автор: Gaff Keith,Ramdutt Devin,ERICKSON Ann. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20210183681A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTI-PIECE SEALING SURFACE

Номер патента: US20140251207A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-11.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH FLATNESS CONTROL

Номер патента: US20140251214A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-11.

SUBSTRATE SUPPORT WITH ADVANCED EDGE CONTROL PROVISIONS

Номер патента: US20140265089A1. Автор: BANNA SAMER,TANTIWONG KYLE. Владелец: . Дата публикации: 2014-09-18.

SUBSTRATE SUPPORTS WITH MULTI-LAYER STRUCTURE INCLUDING INDEPENDENT OPERATED HEATER ZONES

Номер патента: US20170229327A1. Автор: Comendant Keith,Benjamin Neil,Singh Harmeet,Gaff Keith. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-10.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20210313213A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-10-07.

SUBSTRATE SUPPORT WITH SYMMETRICAL FEED STRUCTURE

Номер патента: US20150371877A1. Автор: NGUYEN ANDREW,ZHOU XIAOPING,BUCHBERGER,JR. DOUGLAS A.,Lin Xing,SHEYNER ANCHEL. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2015-12-24.

Substrate support with improved process uniformity

Номер патента: KR102458699B1. Автор: 팡리 하오,여홍 푸,지강 첸. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2022-10-24.

Substrate support with increasing areal density and corresponding method of fabricating

Номер патента: KR102441447B1. Автор: 카를 리저,피터 워이토위츠,빈센트 부르카르트,마이클 루머. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2022-09-14.

Substrate support with more uniform edge purge

Номер патента: WO2016003599A1. Автор: Jallepally Ravi,Tomoharu Matsushita,Xiaoxiong Yuan,Cheng-Hsiung Matthew TSAI,Manjunatha KOPPA,Aravind Miyar Kamath. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2016-01-07.

Substrate support with increasing areal density and corresponding method of fabricating

Номер патента: KR20220125205A. Автор: 카를 리저,피터 워이토위츠,빈센트 부르카르트,마이클 루머. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2022-09-14.

Substrate support with multiple embedded electrodes

Номер патента: US10937678B2. Автор: Philip Allan Kraus,Thai Cheng Chua,Jaeyong Cho. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-03-02.

Substrate support with multiple embedded electrodes

Номер патента: CN110998782A. Автор: 赵在龙,P·A·克劳斯,T·C·楚. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-04-10.

Substrate support with multilevel heat transfer mechanism

Номер патента: US6506291B2. Автор: Cheng-Hsiung Tsai,Chien-Shiung Tzou. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-01-14.

Semiconductor substrate support with multiple electrodes and method for making same

Номер патента: EP3673506B1. Автор: Michael Parker. Владелец: Watlow Electric Manufacturing Co. Дата публикации: 2023-11-15.

Semiconductor substrate support with multiple electrodes and method for making same

Номер патента: EP3673506C0. Автор: Michael Parker. Владелец: Watlow Electric Manufacturing Co. Дата публикации: 2023-11-15.

Procede de report d'une couche mince sur un substrat support muni d'une couche de piegeage de charges

Номер патента: EP4189734B1. Автор: Marcel Broekaart,Daniel Delprat,Ludovic Ecarnot,Carine Duret,Séverin Rouchier,Bruno Clemenceau,Stephane Thieffry,Aymen Ghorbel. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-26.

Substrate supporting member

Номер патента: TW200828491A. Автор: Tomoyuki Fujii,Yasufumi Aihara,Tetsuya Kawajiri. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2008-07-01.

Substrate support suitable for using in a semiconductor processing chamber

Номер патента: TWM318185U. Автор: Jivko Dinev,Sharma Pamarthy,Huutri Dao,Kelly A Mcdonough,Xiao-Ping Zhou. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-09-01.

Procede de report d'une couche mince sur un substrat support muni d'une couche de piegeage de charges

Номер патента: EP4189734C0. Автор: Marcel Broekaart,Daniel Delprat,Ludovic Ecarnot,Carine Duret,Séverin Rouchier,Bruno Clemenceau,Stephane Thieffry,Aymen Ghorbel. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-26.

Forming thermal sprayed protrusions using the mask, and method of manufacturing a substrate supporting apparatus using the mask

Номер патента: TW201002426A. Автор: Sang-Won Lee,In-Su Yoon,Hai-Tai Lee,Chi-Won Oh. Владелец: Mico C & C Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Substrat support pour structure soi et procede de fabrication associe

Номер патента: EP4176463C0. Автор: Walter Schwarzenbach,Isabelle Bertrand,Frederic Allibert,Romain BOUVEYRON. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-12.

Non-Contact Substrate Chuck and Vertical Type Substrate Supporting Apparatus Using the Same

Номер патента: US20140048994A1. Автор: TSAI WEN-PING,LI Wei-Chen. Владелец: SCIENTECH CORP.. Дата публикации: 2014-02-20.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20210035835A1. Автор: Kenichi Suzaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2021-02-04.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210074524A1. Автор: KOSHIMIZU Chishio. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-11.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS COMPRISING THE SAME

Номер патента: US20170084477A1. Автор: KIM Tae-Hwan,KANG Dong-Joo. Владелец: WORLDEX INDUSTRY & TRADING CO., LTD.. Дата публикации: 2017-03-23.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME

Номер патента: US20180102238A1. Автор: GU JAMYUNG,NAM SHIN-WOO,AN JONG HWAN,RO Sooryun. Владелец: SEMES CO., LTD.. Дата публикации: 2018-04-12.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND A SUBSTRATE PROCESSING DEVICE INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20200141003A1. Автор: Kim Sungbae,Lee SeungHwan,KIM Jongsu,KWON HakYong,PARK Juhyuk. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-07.

SUBSTRATE-SUPPORTING DEVICE AND METHOD OF POLISHING SUBSTRATE USING THE SAME

Номер патента: US20200144098A1. Автор: PARK Jeong Min,CHO Woo Jin,Choo Byoung Kwon,BAE Joon-Hwa,YANG Heesung,KANG Bonggu,KANG Seungbae. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-07.

Substrate supporter and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20140251540A1. Автор: Kyu-Sang Lee,Young-soo Seo,Young-Ki Han,Jun-Hyeok LEE. Владелец: Charm Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-11.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE AND SUBSTRATE CLEANING DEVICE INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20190221451A1. Автор: Kim Byung Gook,Oh Jong Keun,LIM Kyeong bin. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-18.

Methods for Controlling Clamping of Insulator-Type Substrate on Electrostatic-Type Substrate Support Structure

Номер патента: US20180233393A1. Автор: Gopalakrishnan Padma,Liu Chin-Yi,Lai Daniel,Vemuri Rajitha. Владелец: . Дата публикации: 2018-08-16.

Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit

Номер патента: US20190258173A1. Автор: Bart Schipper. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2019-08-22.

Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same

Номер патента: US8113918B2. Автор: Gyo-Woog Koo,Chang-Ro Yoon,Jung-Gun Cho,Ki-Hoon Choi,Jung-Bong Choi,Duk-Hyun Son,Se-Hun Goo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2012-02-14.

POWER SOURCE ISOLATION CIRCUITS FOR HEATER ELEMENTS OF SUBSTRATE SUPPORTS OF SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

Номер патента: US20220367229A1. Автор: Leeser Karl Frederick,Burkhart Vincent. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-17.

Substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus having the same

Номер патента: KR101420709B1. Автор: 이준혁,이규상,한영기,서영수. Владелец: 참엔지니어링(주). Дата публикации: 2014-07-22.

Substrate support unit, thin film deposition apparatus including the same, and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US11414760B2. Автор: Yonggyu Han,KiChul Um,JeungHoon Han,DooHan Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2022-08-16.

Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same

Номер патента: US20090325469A1. Автор: Gyo-Woog Koo,Chang-Ro Yoon,Jung-Gun Cho,Ki-Hoon Choi,Jung-Bong Choi,Duk-Hyun Son,Se-Hun Goo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2009-12-31.

Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same

Номер патента: KR101036605B1. Автор: 조중근,최중봉,최기훈,구교욱,윤창로,손덕현,구세훈. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2011-05-24.

Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same

Номер патента: CN101618520B. Автор: 具教旭,赵重根,尹沧老,崔基勋,崔重奉,孙德铉,具世薰. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2012-06-27.

Substrate supporting unit and single type substrate polishing apparatus using the same

Номер патента: CN101618520A. Автор: 具教旭,赵重根,尹沧老,崔基勋,崔重奉,孙德铉,具世薰. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2010-01-06.

Substrate supporter and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: CN104046961A. Автор: 徐映水,韩泳琪,李埈爀,李奎尙. Владелец: Charm Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-17.

Substrate supporting unit, thin film deposition apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: CN111005007A. Автор: 韩政勋,严基喆,金头汉,韩镕圭. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2020-04-14.

Substrate support unit and substrate processing apparatus that prevent particle accumulation

Номер патента: KR20230033856A. Автор: 임병규. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2023-03-09.

Substrate support and method for substrate processing

Номер патента: TWI785812B. Автор: 艾瑞克 Ａ 派博. Владелец: 美商蘭姆研究公司. Дата публикации: 2022-12-01.

Substrate supporting table, substrate processing apparatus, and manufacture method for semiconductor device

Номер патента: CN102655105B. Автор: 坂田雅和. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2014-11-12.

Power source isolation circuits for heater elements of substrate supports of substrate processing systems

Номер патента: WO2021071765A1. Автор: Vincent Burkhart. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-04-15.

Improved substrate temperature control by using liquid controlled multizone substrate support

Номер патента: TWI589719B. Автор: 哈密特 席恩,凱伊斯 卡門登特. Владелец: 蘭姆研究公司. Дата публикации: 2017-07-01.

Improved substrate temperature control by using liquid controlled multizone substrate support

Номер патента: TWI546408B. Автор: 哈密特 席恩,凱伊斯 卡門登特. Владелец: 蘭姆研究公司. Дата публикации: 2016-08-21.

Substrate supporting rod and substrate cassette using the same

Номер патента: US7334690B2. Автор: Chun-Kai Huang,Wei-Cheng Tien. Владелец: Foxsemicon Integrated Technology Inc. Дата публикации: 2008-02-26.

Power Source Isolation Circuits for Heater Elements of Substrate Supports of Substrate Processing Systems

Номер патента: KR20220075420A. Автор: 빈센트 부르카르트,카를 프레드릭 리저. Владелец: 램 리써치 코포레이션. Дата публикации: 2022-06-08.

Substrate supporting table, substrate processing apparatus, and manufacture method for semiconductor device

Номер патента: KR101333926B1. Автор: 마사까쯔 사까따. Владелец: 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키. Дата публикации: 2013-11-27.

Apparatus for reducing polymer deposition on a substrate and substrate support

Номер патента: US20080041820A1. Автор: Eric Lenz,Jose Tong. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2008-02-21.

Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit

Номер патента: US10571807B2. Автор: Bart Schipper. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-02-25.

A method and program for manufacturing a substrate processing apparatus, a substrate supporter, and a semiconductor device

Номер патента: KR20220025888A. Автор: 유사쿠 오카지마. Владелец: 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭. Дата публикации: 2022-03-03.

The manufacturing method of substrate support, substrate processing device and semiconductor devices

Номер патента: CN108695138A. Автор: 野野村一树,野野村树,山崎裕久. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-10-23.

Substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus having the same

Номер патента: KR101772180B1. Автор: 송대석,남원식,연강흠. Владелец: (주)앤피에스. Дата публикации: 2017-08-29.

Substrate supporting unit, and substrate temperature control apparatus and method

Номер патента: KR100810801B1. Автор: 유타카 아카이케. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2008-03-06.

Go up and down needle assemblies, substrate supporting unit and substrate-treating apparatus

Номер патента: CN109494183A. Автор: 李仔雨,申丞源,李秀浩. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-03-19.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: KR102552458B1. Автор: 겐이치 스자키. Владелец: 가부시키가이샤 코쿠사이 엘렉트릭. Дата публикации: 2023-07-06.

Substrate support unit, thin film deposition apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: TWI714282B. Автор: 韓鎔圭,嚴基喆,韓政勳,金頭漢. Владелец: 荷蘭商Ａｓｍ Ｉｐ私人控股有限公司. Дата публикации: 2020-12-21.

Apparatus for reducing polymer deposition on a substrate and substrate support

Номер патента: US20040083975A1. Автор: Eric Lenz,Jose Tong. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2004-05-06.

Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit

Номер патента: WO2018074240A1. Автор: Bart Schipper. Владелец: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.. Дата публикации: 2018-04-26.

substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: KR20230085542A. Автор: 조규태. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2023-06-14.

Apparatus for substrate support and method for substrate loading using the same

Номер патента: KR20230066976A. Автор: 이무영,김종수,박영식. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2023-05-16.

Substrate supporting unit and apparatus of treating substrate having the same

Номер патента: KR20140070049A. Автор: 타카유키 후카사와. Владелец: 삼성디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2014-06-10.

LAMINATE BODY, METHOD, AND MATERIALS FOR TEMPORARY SUBSTRATE SUPPORT AND SUPPORT SEPARATION

Номер патента: US20150034238A1. Автор: Mahoney Wayne S.,Larson Eric G.,Dronen Blake R.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

Substrate support boat and support unit using the same

Номер патента: JP6006734B2. Автор: カン、ホヨン,パク、キョンワン,チョ、ビュンホ,パク、ジュヨン. Владелец: Tera Semicon Corp. Дата публикации: 2016-10-12.

Laminate body, method, and materials for temporary substrate support and support separation

Номер патента: EP2828883A4. Автор: Eric G Larson,Blake R Dronen,Wayne S Mahoney. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-10-28.

Structure of substrate supporting table, and plasma processing apparatus

Номер патента: US20120111502A1. Автор: Ryuichi Matsuda,Kazuto Yoshida. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2012-05-10.

Component of a substrate support assembly producing localized magnetic fields

Номер патента: US20130072025A1. Автор: Sung Lee,Harmeet Singh,Brett Richardson,Keith Gaff. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2013-03-21.

Integrated circuit supports with microstrips

Номер патента: NL2030602B1. Автор: Tadayon Pooya,Ye Xiaoning,Grossman Brett,WANG Wenzhi,ARAVAMUDHAN Srinivasa,Tan Nathan. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2023-06-16.

Integrated circuit supports with microstrips

Номер патента: US20240088069A1. Автор: James A. McCall,Yunhui Chu,Xiaoning Ye,Chunfei Ye,Wenzhi WANG. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2024-03-14.

Integrated circuit supports with microstrips

Номер патента: US20240063134A1. Автор: Xiaoning Ye,Wenzhi WANG,Pooya Tadayon,Srinivasa R. Aravamudhan,Nathan Somnang Tan,Brett Daniel Grossman. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2024-02-22.

Integrated circuit supports with microstrips

Номер патента: NL2030602A. Автор: Tadayon Pooya,Ye Xiaoning,Grossman Brett,WANG Wenzhi,ARAVAMUDHAN Srinivasa,Tan Nathan. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2022-09-20.

Method of handling a substrate support structure in a lithography system

Номер патента: US20130234040A1. Автор: Hendrik Jan De Jong. Владелец: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.. Дата публикации: 2013-09-12.

Structure composite comprenant une couche utile en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin et procede de fabrication de ladite structure

Номер патента: EP4413611A1. Автор: Radu Ionut,Christophe Maleville,Gweltaz Gaudin,Hugo BIARD,Sidoine ODOUL. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-14.

Structure composite comprenant une couche utile en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin et procede de fabrication de ladite structure

Номер патента: FR3127842B1. Автор: Radu Ionut,Christophe Maleville,Gweltaz Gaudin,Hugo BIARD,Sidoine ODOUL. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-02.

Procédé de fabrication de deux substrats dits pseudo-substrats donneurs comprenant chacun au moins deux pavés sur un substrat support

Номер патента: FR3143840A1. Автор: Didier Landru,Catherine Maddalon,Odile MOUREY,Francois Xavier Darras. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-21.

Procede de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin

Номер патента: EP4413613A1. Автор: Ionut Radu,Frederic Allibert,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-14.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3132788A1. Автор: Marcel Broekaart,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Vincent Larrey,Pablo Acosta Alba,Nadia Ben Mohamed,Franck Colas. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-08-18.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3134229B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Marianne Coig. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-03-08.

Procede de fabrication d'un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin

Номер патента: EP4406004A1. Автор: Hugo BIARD,Mélanie LAGRANGE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-07-31.

Procédé de fabrication d’un substrat donneur pour le transfert d’une couche piézoélectrique et procédé de transfert d’une couche piézoélectrique sur un substrat support

Номер патента: FR3131979A1. Автор: Marcel Broekaart,Thierry Barge,Morgane Logiou,Luciana Capello,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-07-21.

Procédé de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic polycristallin

Номер патента: FR3127627B1. Автор: Eric Guiot,Frederic Allibert. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-09.

Procédé de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic polycristallin

Номер патента: EP4409621A1. Автор: Eric Guiot,Frederic Allibert. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-07.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: WO2024175519A1. Автор: Christophe Bommier,Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-08-29.

Procede de preparation d'un substrat support muni d'une couche de piegeage de charges

Номер патента: EP4430653A1. Автор: Oleg Kononchuk,YoungPil Kim,Chee Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-09-18.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: FR3146236A1. Автор: Christophe Bommier,Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-30.

Procédé de fabrication de deux substrats dits pseudo-substrats donneurs comprenant chacun au moins deux pavés sur un substrat support

Номер патента: WO2024134078A1. Автор: Didier Landru,Catherine Maddalon,Odile MOUREY,Francois Xavier Darras. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-06-27.

Procede de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin

Номер патента: FR3128057B1. Автор: Ionut Radu,Frederic Allibert,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-09-15.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138239B1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-21.

Procede de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin

Номер патента: FR3128056B1. Автор: Ionut Radu,Frederic Allibert,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-10-27.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3132788B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Marcel Broekaart,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Alba Pablo Acosta,Frédéric Mazen,Vincent Larrey,Franck Colas. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-05.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3132384B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Helen Grampeix. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-12.

Procede de fabrication d’une structure adaptee pour les applications radiofrequences, et substrat support pour ladite structure

Номер патента: FR3119929B1. Автор: Isabelle Bertrand,Romain BOUVEYRON,Maël COCHE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-03.

Procede de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en semi-conducteur monocristallin sur un substrat support

Номер патента: EP4315396A1. Автор: Didier Landru,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-02-07.

Procede de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en semi-conducteur monocristallin sur un substrat support

Номер патента: FR3121281B1. Автор: Didier Landru,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-24.

Procede de fabrication d’un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin

Номер патента: FR3127330B1. Автор: Hugo BIARD,Mélanie LAGRANGE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-09-22.

Procede de transfert d'une couche mince sur un substrat support

Номер патента: WO2023186595A1. Автор: Ben Mohamed Nadia,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Marianne Coig. Владелец: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives. Дата публикации: 2023-10-05.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3134229A1. Автор: Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Nadia Ben Mohamed,Marianne Coig. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-10-06.

Substrate support for chucking of mask for deposition processes

Номер патента: US11967516B2. Автор: Jun Li,Tae Kyung Won,Shouqian Shao,Jrjyan Jerry Chen,Sanjay D. Yadav,Surendra Kanimihally SETTY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-23.

Substrat support en silicium adapte aux applications radiofrequences et procede de fabrication associe

Номер патента: EP4278374A1. Автор: Oleg Kononchuck,Christophe Maleville,YoungPil Kim,Isabelle Bertrand,Chee Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-22.

Substrate supports, semiconductor processing systems, and material layer deposition methods

Номер патента: US20230386874A1. Автор: Xing Lin,Wentao Wang,Junwei Su,Shujin Huang. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-11-30.

Procede de preparation d’un substrat support muni d’une couche de piegeage de charges

Номер патента: FR3129028B1. Автор: ISHII Masato,Oleg Kononchuk,YoungPil Kim,Chee Hoe WONG,Zang KEYAN,Chien Shen Kuan,Hoe Tan Seng. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-10.

Procede de preparation d’un substrat support muni d’une couche de piegeage de charges

Номер патента: FR3129029B1. Автор: Oleg Kononchuk,YoungPil Kim,Chee Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-09-29.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: WO2023186498A1. Автор: Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato,Pablo LEFEVRE. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2023-10-05.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: FR3134234B1. Автор: Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato,Pablo LEFEVRE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-02-23.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: FR3134234A1. Автор: Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato,Pablo LEFEVRE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-10-06.

Procédé de fabrication d'un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: WO2024018149A1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-01-25.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138239A1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-26.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138240A1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-26.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138240B1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-14.

Procédé d’amincissement d’une structure composite portée par un substrat support SiC polycristallin, à gondolement réduit

Номер патента: FR3139410A1. Автор: Walter Schwarzenbach,Séverin Rouchier,Sylvain MONNOYE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-03-08.

Procédé d'amincissement d'une structure composite portée par un substrat support sic polycristallin, à gondolement réduit

Номер патента: WO2024052619A1. Автор: Walter Schwarzenbach,Séverin Rouchier,Sylvain MONNOYE. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-03-14.

Substrate support structure and method of forming the same

Номер патента: US20210360769A1. Автор: Shinji Kawai,Hidehiko Shimizu,Keitaroh NOZAWA. Владелец: Yazaki Corp. Дата публикации: 2021-11-18.

Electrical vacuum-compatible feedthrough structure and detector assembly using such feedthrough structure

Номер патента: EP2921036A1. Автор: Ronald Martinus Alexander HEEREN,Julia Helga Jungmann,Dirk-Jan Spaanderdam. Владелец: Particle Physics Inside Products BV. Дата публикации: 2015-09-23.

Electrical vacuum-compatible feedthrough structure and detector assembly using such feedthrough structure

Номер патента: WO2014076303A1. Автор: Ronald Martinus Alexander HEEREN,Julia Helga Jungmann,Dirk-Jan Spaanderdam. Владелец: Particle Physics Inside Products B.V.. Дата публикации: 2014-05-22.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: US20240258075A1. Автор: Matthew James Busche,Wendell Glenn Boyd, JR.,Govinda Raj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate support structures and methods of making substrate support structures

Номер патента: US20230013637A1. Автор: Hong Gao,Joaquin Aguilar SANTILLAN,Shanker KUTTATH. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-01-19.

Automated temperature controlled substrate support

Номер патента: WO2022256138A1. Автор: Robert Hartwig,Brian T. West,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-12-08.

Trim and deposition profile control with multi-zone heated substrate support for multi-patterning processes

Номер патента: US12071689B2. Автор: Ravi Kumar,Adrien Lavoie,Pulkit Agarwal,Ramesh Chandrasekharan,Michael Philip Roberts,Nuoya YANG,Chan Myae Myae SOE,Ashish Saurabh. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-27.

Piezoelectric actuator, actuator system, substrate support, and lithographic apparatus including the actuator

Номер патента: US20210318624A1. Автор: Hans Butler,Bas JANSEN,Alexander Pascal DIJKSHOORN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-10-14.

Heating a substrate support in a substrate handling chamber

Номер патента: EP1097111A1. Автор: Emanuel Beer,Duoyan Shen,Eitan Zohar,Marc M. Kollrack. Владелец: Beer Emanuel. Дата публикации: 2001-05-09.

Substrate support

Номер патента: US20240282649A1. Автор: Yoshihiro Yamada,Ryuma Mizusawa,Yubun Kikuchi. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: US11915913B2. Автор: Matthew James Busche,Wendell Glenn Boyd, JR.,Govinda Raj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-02-27.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: US20230253188A1. Автор: Matthew James Busche,Wendell Glenn Boyd, JR.,Govinda Raj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-08-10.

Automated temperature controlled substrate support

Номер патента: US11981989B2. Автор: Robert Hartwig,Brian T. West,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-14.

Full-area counter-flow heat exchange substrate support

Номер патента: WO2017192265A1. Автор: John M. White. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-11-09.

Temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US20170110298A1. Автор: Henry Povolny,Anthony Ricci. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-04-20.

Method of mounting wires to substrate support ceramic

Номер патента: US20230253192A1. Автор: Quan Chau,Oleksandr MIKHNENKO. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate support having dynamic temperature control

Номер патента: US20110262315A1. Автор: Robert J. Steger. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2011-10-27.

Heating a substrate support in a substrate handling chamber

Номер патента: WO2000002824A1. Автор: Emanuel Beer,Duoyan Shen,Eitan Zohar,Marc M. Kollrack. Владелец: Applied Komatsu Technology, Inc.. Дата публикации: 2000-01-20.

Substrate support device for a reaction chamber of an epitaxial reactor with gas flow rotation, reaction chamber and epitaxial reactor

Номер патента: EP4065747A1. Автор: Maurilio Meschia,Silvio PRETI. Владелец: LPE SpA. Дата публикации: 2022-10-05.

Floating heat sink support with conductive sheets and LED package assembly for LED flip chip package

Номер патента: US09748462B2. Автор: Yung Pun Cheng. Владелец: Viribright Lighting Inc. Дата публикации: 2017-08-29.

Integrated circuit supports with microstrips

Номер патента: EP4050726A1. Автор: Xiaoning Ye,Albert Sutono. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2022-08-31.

Integrated circuit supports with microstrips

Номер патента: US20220270989A1. Автор: Xiaoning Ye,Albert Sutono. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2022-08-25.

SUPPORTING SUBSTRATE, SUPPORTING SUBSTRATE-ATTACHED LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING A PACKAGE SUBSTRATE FOR MOUNTING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20190181000A1. Автор: Kato Yoshihiro,Ogashiwa Takaaki,HIRANO Syunsuke,KAWASHITA Kazuaki,NAKAJIMA Youichi. Владелец: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.. Дата публикации: 2019-06-13.

SUPPORTING SUBSTRATE, SUPPORTING SUBSTRATE-ATTACHED LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING A PACKAGE SUBSTRATE FOR MOUNTING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20210257207A1. Автор: Kato Yoshihiro,Ogashiwa Takaaki,HIRANO Syunsuke,KAWASHITA Kazuaki,NAKAJIMA Youichi. Владелец: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.. Дата публикации: 2021-08-19.

Substrate support and substrate processing device

Номер патента: WO2023026908A1. Автор: 誠人 加藤. Владелец: 東京エレクトロン株式会社. Дата публикации: 2023-03-02.

Substrate support pin and substrate support device adopting substrate support pin

Номер патента: EP2840601B1. Автор: Liang Sun,Shoukun WANG. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-11-11.

Substrate support pin and substrate support device adopting substrate support pin

Номер патента: EP2840601A4. Автор: Liang Sun,Shoukun WANG. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-01-06.

Connector for substrate support with embedded temperature sensor

Номер патента: CN111919289A. Автор: 田思源,唐纳德·J·米列尔. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-11-10.

Connector for substrate support with embedded temperature sensors

Номер патента: TW202305941A. Автор: 田思源,唐納德 Ｊ 米勒. Владелец: 美商蘭姆研究公司. Дата публикации: 2023-02-01.

Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system

Номер патента: WO2020010153A1. Автор: Ramesh Chandrasekharan,Sairam Sundaram,Aaron Durbin. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2020-01-09.

Dynamic temperature control of a substrate support in a substrate processing system

Номер патента: CN112368415A. Автор: 拉梅什·钱德拉塞卡拉,亚伦·德宾,赛拉姆·森德拉姆. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2021-02-12.

Substrate support with ceramic insulation

Номер патента: WO2013133983A4. Автор: Soo Young Choi,John M. White,Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Robin L. Tiner,Gaku Furuta. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-31.

Surface topologies of electrostatic substrate support for particle reduction

Номер патента: US20240203705A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20240258083A1. Автор: Makoto Kato,Ryoma Muto,Kaisei SUGA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Surface topologies of electrostatic substrate support for particle reduction

Номер патента: WO2024129175A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-06-20.

Alumina Substrate Supported Solid Oxide Fuel Cells

Номер патента: US20190123362A1. Автор: Ren Chunlei,Xingjian Xue. Владелец: UNIVERSITY OF SOUTH CAROLINA. Дата публикации: 2019-04-25.

Substrate support device

Номер патента: US20230256551A1. Автор: Hyun-Sang Hwang,Sang-Jean Jeon. Владелец: Tes Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Substrate support with radio frequency (rf) return path

Номер патента: WO2013184378A1. Автор: Vijay D. Parkhe,Ryan Hanson. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-12-12.

Power and data transmission to substrate support in plasma chambers via optical fiber

Номер патента: US20220247492A1. Автор: Changyou Jing,Fred Egley. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2022-08-04.

Reactive cleaning of substrate support

Номер патента: US11772137B2. Автор: Xi Chen,Cheng-Hsiung Tsai,Thomas Blasius Brezoczky,Sheng Guo,Shreesha Yogish Rao,Chi H. Ching. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-03.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20210159057A1. Автор: Chishio Koshimizu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-05-27.

Systems and methods for substrate support temperature control

Номер патента: US11981998B2. Автор: JIAN Li,Rui CHENG,Zubin HUANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-14.

Systems and methods for substrate support temperature control

Номер патента: US20240229240A1. Автор: JIAN Li,Rui CHENG,Zubin HUANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

Номер патента: US12050112B2. Автор: Nick Ray Linebarger, JR.,Mark E. Emerson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-07-30.

Rf voltage sensor incorporating multiple voltage dividers for detecting rf voltages at a pickup device of a substrate support

Номер патента: US20190051497A1. Автор: John Drewery,Alex Paterson,Maolin Long. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2019-02-14.

Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

Номер патента: WO2020142367A1. Автор: Nick Ray Linebarger, JR.,Mark E. Emerson. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2020-07-09.

Substrate supporting unit, apparatus for treating substrate including the same, and ring transfer method

Номер патента: US20240153747A1. Автор: Jae-Won Shin. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US11705302B2. Автор: Dai Kitagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-18.

Power and data transmission to substrate support in plasma chambers via optical fiber

Номер патента: US11901944B2. Автор: Changyou Jing,Fred Egley. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-02-13.

Semiconductor substrate support power transmission components

Номер патента: WO2022081354A1. Автор: JIAN Li,Matthew Miller,Paul L. Brillhart,Katherine Woo,Shinnosuke KAWAGUCHI. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-04-21.

Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

Номер патента: US20200217657A1. Автор: Nick Ray Linebarger, JR.,Mark E. Emerson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-07-09.

Process kit for a substrate support

Номер патента: WO2024015187A1. Автор: Yu Lei,Avgerinos V. Gelatos,Vikash Banthia,Muhannad MUSTAFA,Muhammad M. Rasheed,Victor H. Calderon,Shi Wei Toh,Yung-Hsin Lee,Anindita Sen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-01-18.

Battery support with roll out frame

Номер патента: CA1048005A. Автор: Howard A. Hansen. Владелец: Caterpillar Tractor Co. Дата публикации: 1979-02-06.

Method for forming an electronic device on a flexible substrate supported by a detachable carrier

Номер патента: US09627420B2. Автор: Roger Stanley Kerr,Timothy John Tredwell. Владелец: Carestream Health Inc. Дата публикации: 2017-04-18.

Electrostatic chuck, substrate support, and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240186917A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Masashi Shimoda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Substrate support with surface feature for reduced reflection and manufacturing techniques for producing same

Номер патента: US09814099B2. Автор: Joseph M. Ranish,Paul Brillhart,Mehmet Tugrul Samir,Shu-Kwan LAU. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

Semiconductor package substrate support structures for ball-grid array cavities, and methods of assembling same

Номер патента: US20190148310A1. Автор: Eng Huat Goh,Paik Wen ONG,Kean Huat Leong,Chun Kit See,Sheng Jian Darren Tan. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2019-05-16.

SUBSTRATE SUPPORT PLATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210166910A1. Автор: KIM Jaehyun,Lee SeungHwan,Kim DaeYoun. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-03.

Substrate support device, substrate processing apparatus, and substrate processing method for depositing thin film

Номер патента: TW201901848A. Автор: 朴柱赫,韓政勳,鄭相桭,崔永錫. Владелец: 荷蘭商Ａｓｍ知識產權私人控股有限公司. Дата публикации: 2019-01-01.

Connector for substrate support with embedded temperature sensors

Номер патента: US10851458B2. Автор: Donald J. Miller,Siyuan Tian. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-12-01.

Substrate support with extended radio frequency electrode upper surface

Номер патента: US6682603B2. Автор: Dongqing Li,Canfeng Lai,Zhengquan Tan,Sudhir Gondhalekar,Steve H. Kim,Alexander Veyster. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-01-27.

Procede de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic

Номер патента: EP4128328C0. Автор: Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-04-03.

Procede de transfert d'une couche piezoelectrique sur un substrat support

Номер патента: EP3776641B1. Автор: Thierry Barge,Djamel Belhachemi. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-05-15.

Procede de transfert d'une couche piezoelectrique sur un substrat support

Номер патента: EP3776641C0. Автор: Thierry Barge,Djamel Belhachemi. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-05-15.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORTER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20140004710A1. Автор: Sakata Masakazu,Yanai Hidehiro. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.. Дата публикации: 2014-01-02.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND EDGE RING

Номер патента: US20210020408A1. Автор: SUGIYAMA Hideki,OGASAWARA Akihiro,Kaneko Shunsuke. Владелец: . Дата публикации: 2021-01-21.

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE SUPPORT UNIT

Номер патента: US20220044917A1. Автор: LEE Won Seok,KIM Dong Suk,CHO Jae Hyun,KIM Sung Je,Kim Hyeon Gyu,AN Jong-Hwan,SON HYOUNGKYU,BAE MIN KEUN,GALSTYAN OGSEN. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-10.

Substrate supporting device and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20180350653A1. Автор: Ju Hyuk Park,Young Seok Choi,Sang Jin Jeong,Jeung Hoon Han. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-12-06.

Substrate support unit and substrate polishing apparatus comprsing the same

Номер патента: KR102050975B1. Автор: 이해성. Владелец: 주식회사 케이씨텍. Дата публикации: 2020-01-08.

Semiconductor substrate manufacture on insulator comprises inserting an insulting layer between semiconductor material and substrate support layer, forming an insulating layer and recovering a cluster gap

Номер патента: FR2881573A1. Автор: Christophe Maleville,Eric Neyret. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2006-08-04.

Substrate supporting tool, substrate processing apparatus, and method for producing semiconductor device

Номер патента: WO2023026412A1. Автор: 大騎 谷口. Владелец: 株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ. Дата публикации: 2023-03-02.

Substrate support, plasma processing apparatus, and method for thermally controlling a substrate in a plasma processing apparatus

Номер патента: JP5053632B2. Автор: ロバート， ジェイ． ステガー，. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2012-10-17.

Edge ring, substrate support, substrate processing apparatus and method

Номер патента: TW202114029A. Автор: 平隆志,菊地孝明. Владелец: 日商東京威力科創股份有限公司. Дата публикации: 2021-04-01.

Substrate support assembly, processing chamber having the same, and method of processing a substrate

Номер патента: TW201805466A. Автор: 栗田真一,朴範洙,崔永鎮,東碩 李,威廉羅門 史德林,羅賓 廷訥,蘇海 安華,壽永 崔,崔羿. Владелец: 應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2018-02-16.

Substrate supporting device and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: KR102417931B1. Автор: 최영석,한정훈,정상진,박주혁. Владелец: 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이.. Дата публикации: 2022-07-06.

Edge ring, substrate support, substrate processing apparatus and method

Номер патента: US11984301B2. Автор: Takaaki Kikuchi,Takashi Taira. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-14.

Substrate with feedthrough and method for producing the same

Номер патента: US8048801B2. Автор: Stephan Dertinger,Alfred Martin,Barbara Hasler,Grit Sommer,Florian Binder. Владелец: Qimonda AG. Дата публикации: 2011-11-01.

Substrate with feedthrough and method for producing the same

Номер патента: CN101295702B. Автор: 斯特凡·德廷格,艾尔弗雷德·马丁,芭芭拉·哈斯勒,格里特·佐默,弗洛里安·宾德尔. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2013-04-17.

Sheathed heater and substrate support device including the same

Номер патента: US20240032156A1. Автор: Daisuke Fujino,Jun Futakuchiya,Yuki Tani,Naoya Kida. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-25.

Substrate support structure, clamp preparation unit, and lithography system

Номер патента: US20120043438A1. Автор: Hendrik Jan DE JONG, JR.. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2012-02-23.

Sheath heater and substrate support device including same

Номер патента: EP4319483A1. Автор: Daisuke Fujino,Jun Futakuchiya,Yuki Tani,Naoya Kida. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-07.

Electrical cable for resistance device in e.g. contacting device for keeping e.g. airplane wing at moderate temperature in interior component of e.g. vehicle, has substrate support arranged in limiting substrate

Номер патента: DE102011105675A1. Автор: Michael Weiss,Hans-Georg Rauh,Martin Krobok. Владелец: WET Automotive Systems AG. Дата публикации: 2012-01-19.

Method and apparatus for placing substrate support components

Номер патента: WO2009102513A2. Автор: Steven R. Foster,Joseph A. Perault. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC.. Дата публикации: 2009-08-20.

Method and apparatus for placing substrate support components

Номер патента: EP2248407A2. Автор: Steven R. Foster,Joseph A. Perault. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC. Дата публикации: 2010-11-10.

Substrate support structure

Номер патента: US20110234032A1. Автор: Hideyuki Takahashi,Kaoru Tanaka,Kazuaki Mori,Yuki Hayakawa,Tomohiro Kaeabata. Владелец: Calsonic Kansei Corp. Дата публикации: 2011-09-29.

Substrate support body, substrate support structure, light-emitting device, and lamp

Номер патента: EP4145044A1. Автор: Kazuhiro Okamoto,Yoshihide Okawa,Sentarou Yamamoto,Yuhei MATSUMOTO. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2023-03-08.

Substrate support body, substrate support structure, light emitting device, and lighting fixture

Номер патента: US20230160560A1. Автор: Kazuhiro Okamoto,Yoshihide Okawa,Sentarou Yamamoto,Yuhei MATSUMOTO. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2023-05-25.

Method and apparatus for adjusting a substrate support

Номер патента: US20080250951A1. Автор: Ronald J. Forget,John G. Klauser. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC. Дата публикации: 2008-10-16.

Method and apparatus for adjusting a substrate support

Номер патента: EP2144755A1. Автор: Ronald J. Forget,John G. Klauser. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC. Дата публикации: 2010-01-20.

Method and apparatus for adjusting a substrate support

Номер патента: WO2008127825A1. Автор: Ronald J. Forget,John G. Klauser. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC.. Дата публикации: 2008-10-23.

Substrate supporting device and screen printer

Номер патента: EP2213454A3. Автор: Yoshio Tomizawa,Noboru Nishi,Kazuhiro Hineno,Ryuichi Komatsu. Владелец: Hitachi High Tech Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2012-01-18.

Circuit substrate supporting structure

Номер патента: US5168428A. Автор: Yuji Suzuki. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1992-12-01.

Building support with concealed electronic component for a structure

Номер патента: CA2901294C. Автор: Christopher P. Macioch,Michael PINGITORE,Frank C. Pingitore. Владелец: CFM Global LLC. Дата публикации: 2020-06-30.

Hard disk drive with feedthrough connector

Номер патента: US09819129B2. Автор: Hiroshi Matsuda,Kouki Uefune,Katsumasa Nakatsukasa,Noritaka Otake. Владелец: Western Digital Technologies Inc. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate supporting assembly and substrate treating apparatus

Номер патента: KR101464205B1. Автор: 이원행,하강래. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2014-11-24.

Hard disk drive with feedthrough connector

Номер патента: US20150098178A1. Автор: Hiroshi Matsuda,Kouki Uefune,Katsumasa Nakatsukasa,Noritaka Otake. Владелец: HGST NETHERLANDS BV. Дата публикации: 2015-04-09.

Hard disk drive with feedthrough connector

Номер патента: GB201417441D0. Автор: . Владелец: HGST NETHERLANDS BV. Дата публикации: 2014-11-19.

Hard disk drive with feedthrough connector

Номер патента: GB2519664B. Автор: Matsuda Hiroshi,Uefune Kouki,Otake Noritaka,Nakatsukasa Katsumasa. Владелец: HGST NETHERLANDS BV. Дата публикации: 2017-09-13.

Buffer unit and method for storaging substrate type senseor for measuring of horizontality of a substrate support member provided on a temperature varying atmosphere

Номер патента: US20220206031A1. Автор: Ji Young Lee,Young Seop CHOI,Sun Yong Park,Sang Hyun Son,Yong-jun Seo,Gyeong Ryul Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-30.

Buffer unit and method for storaging substrate type sensor for measuring of horizontality of a substrate support member provided on a temperature varying atmosphere

Номер патента: US11933808B2. Автор: Ji Young Lee,Young Seop CHOI,Sun Yong Park,Sang Hyun Son,Yong-jun Seo,Gyeong Ryul Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-19.

Semiconductor Substrate Support With Multiple Electrodes And Method For Making Same

Номер патента: US20200206835A1. Автор: Michael Parker. Владелец: Component Re Engineering Co Inc. Дата публикации: 2020-07-02.

Semiconductor substrate support with multiple electrodes and method for making same

Номер патента: US11712745B2. Автор: Michael Parker,Frank Balma,Alfred Grant Elliot,Brent Donald Alfred Elliot,Richard Erich Schuster,Dennis George Rex,Alexander Veytser. Владелец: Watlow Electric Manufacturing Co. Дата публикации: 2023-08-01.

Substrate supported semiconductive stack

Номер патента: US3736475A. Автор: W Berner. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 1973-05-29.

SUBSTRATE SUPPORT WITH REAL TIME FORCE AND FILM STRESS CONTROL

Номер патента: US20210066038A1. Автор: Boyd,RAJ Govinda,JR. Wendell Glenn,BUSCHE Matthew James. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE ELECTRODES AND METHOD FOR MAKING SAME

Номер патента: US20220143726A1. Автор: Parker Michael. Владелец: WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY. Дата публикации: 2022-05-12.

Semiconductor Substrate Support With Multiple Electrodes And Method For Making Same

Номер патента: US20200206835A1. Автор: Parker Michael. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: TWI729429B. Автор: 溫德爾格倫 博德二世,高芬達 瑞吉,馬修詹姆士 布薛. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2021-06-01.

Independently moving substrate supports

Номер патента: TWI322191B. Автор: Shinichi Kurita,Robin Tiner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-03-21.

Substrate support bushing

Номер патента: TW200527577A. Автор: Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Toshio Kiyotake. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2005-08-16.

Substrate support device for a reaction chamber of an epitaxial reactor with gas flow rotation, reaction chamber and epitaxial reactor

Номер патента: EP4065747B1. Автор: Maurilio Meschia,Silvio PRETI. Владелец: LPE SpA. Дата публикации: 2024-06-12.

Substrate support device for a reaction chamber of an epitaxial reactor with gas flow rotation, reaction chamber and epitaxial reactor

Номер патента: EP4065747C0. Автор: Maurilio Meschia,Silvio PRETI. Владелец: LPE SpA. Дата публикации: 2024-06-12.

Substrate support mechanism, reduced-pressure drying unit and substrate processing apparatus

Номер патента: KR101299742B1. Автор: 마사루 혼다. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2013-08-23.

Substrate support member and substrate storage device

Номер патента: TW201216403A. Автор: Kenichi Yoshihara. Владелец: Koyo Thermo Sys Co Ltd. Дата публикации: 2012-04-16.

Heating a substrate support in a substrate handling chamber

Номер патента: TW538010B. Автор: Emanuel Beer,Duoyan Shen,Eitan Zohar,Marc M Kollrack. Владелец: Applied Komatsu Technology Inc. Дата публикации: 2003-06-21.

Solar cell with feedthrough via

Номер патента: US20060231130A1. Автор: Paul Sharps,Daniel Aiken,Marvin Clevenger. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-10-19.

Multiple device integrated circuit package with feedthrough connection

Номер патента: JPH11340415A. Автор: Eric Schroeder,Clark Rogers,スクローダー エリック,ロジャーズ クラーク,Richard L Hull,エル． ヒュール リチャード. Владелец: Microchip Technology Inc. Дата публикации: 1999-12-10.

Heating and cooling of substrate support

Номер патента: US20120006493A1. Автор: John M. White,Robin L. Tiner. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-01-12.

Procédé de fabrication d’un substrat donneur pour le transfert d’une couche piézoélectrique et procédé de transfert d’une couche piézoélectrique sur un substrat support

Номер патента: FR3131980B1. Автор: Marcel Broekaart,Thierry Barge,Morgane Logiou,Luciana Capello,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-12.

Method of vlan support with linux software bridge

Номер патента: RU2669684C2. Автор: Вэй ЧЖАО,Чжицзюнь ВАН,Чжуаньюнь ЧЖОУ,Чанчунь ЛИ. Владелец: Файберхоум Телекоммьюникейшн Текнолоджиз Ко., Лтд. Дата публикации: 2018-10-12.

Multi-customer (multi-tenants) support with hypervisor based bond implementation

Номер патента: US11777849B2. Автор: Jagwinder Singh Brar,Bryce Eugene Bockman,Santosh Narayan Shilimkar. Владелец: Oracle International Corp. Дата публикации: 2023-10-03.

Video camera support with counterbalance

Номер патента: US5650821A. Автор: Kenneth Hewlett. Владелец: Individual. Дата публикации: 1997-07-22.

Far-field speech support with lens function and electrical device

Номер патента: US20230042660A1. Автор: Jun Xiang,Xiaoxu DONG,Haiyun SUN,Dingfa Huang. Владелец: Shenzhen TCL Digital Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-09.

Far-field speech support with lens function and electrical device

Номер патента: US11962830B2. Автор: Jun Xiang,Xiaoxu DONG,Haiyun SUN,Dingfa Huang. Владелец: Shenzhen TCL Digital Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-16.

Radio access network computing service support with distributed units

Номер патента: US20240236836A1. Автор: QIAN LI,Youn Hyoung Heo,Zongrui Ding,Ching-Yu Liao,Sudeep Palat,Sangeetha L. Bangolae,Alexandre Saso Stojanovski,Abhijeet Kolekar,Thomas Luetzenkirchen. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

SUBSTRATE SUPPORT WITH FEEDTHROUGH STRUCTURE

Номер патента: US20130256966A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,KULKARNI MAYUR G.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-03.

Electrode with feedthrough pin for miniature electrochemical cells and methods of making

Номер патента: US09543566B2. Автор: Hailiang Zhao,Christian S. Nielsen. Владелец: MEDTRONIC INC. Дата публикации: 2017-01-10.

Electrode with feedthrough pin for miniature electrochemical cells and methods of making

Номер патента: US20140123476A1. Автор: Hailiang Zhao,Christian S. Nielsen. Владелец: MEDTRONIC INC. Дата публикации: 2014-05-08.

Showerhead cold plates and substrate supports with spiral-shaped channels and circular manifolds

Номер патента: WO2024186720A1. Автор: Adam Christopher MACE,Brian Mwenze BRADLEY,Spoorthi SUBRAMANYA,Indraneel Chandrashekhar NAIK. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-09-12.

Ceramic metal halide lamp with feedthrough comprising an iridium wire

Номер патента: EP2553711A1. Автор: Josephus Christiaan Maria Hendricx,Geert Antoon Parton,Georges Marie Calon,Cornelis Johannes Maria Denissen,Jeroen Waltherus Johannes Schoone. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2013-02-06.

Light source device including first substrate supporting first and second laser diodes and second substrate supporting third laser diode

Номер патента: US12000567B2. Автор: Tadaaki Miyata. Владелец: Nichia Corp. Дата публикации: 2024-06-04.

paste which may be used in electrochemical components, a self-supporting or substrate-supporting layer, composed of layers with electrochemical properties, a rechargeable electrochemical cell and processes for the production of a flexible sheet, a self-supporting layer or which rests on a substrate. substrate and a composite of layers.

Номер патента: BR0015072B1. Автор: Peter Birke,Fatima Birke-Salam. Владелец: . Дата публикации: 2010-11-30.

Electromagnetic filter for use with feedthrough conductor, has conductive contacts that electrically connect capacitor to metallized surface of inductor and feedthrough conductor, respectively

Номер патента: DE10349302A1. Автор: Jeffrey D. Chereson. Владелец: Spectrum Control Inc. Дата публикации: 2004-05-27.

SUBSTRATE HOLDER, SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD USING THE SAME

Номер патента: US20140332498A1. Автор: Lee Sang Hoon,Seo Young Soo,HAN Young Ki,KIM Hyoung Won,YOON Chi Kug. Владелец: . Дата публикации: 2014-11-13.

Method of manufacturing substrate-supported ceramic interconnect and substrate-supported ceramic interconnect thereof

Номер патента: KR101983534B1. Автор: 이정민,이영희,유영성,전상윤. Владелец: 한국전력공사. Дата публикации: 2019-05-29.

Substrate support apparatus utilizing magnetic support of substrate carrier

Номер патента: JPH11317438A. Автор: Carl T Petersen,H Pond Norman,ノーマン・エイチ・ポンド,カール・ティー・ピーターセン. Владелец: Intevac Inc. Дата публикации: 1999-11-16.

Depositing layers of dielectric on substrate by cathodic sputtering at radio frequency, is accompanied by application of voltage to substrate support to impose crystalline orientation

Номер патента: FR2795552A1. Автор: Fornel Frederique De,Mario Maglione,Alain Gueldry,Paul Sibillot. Владелец: France Telecom SA. Дата публикации: 2000-12-29.

SUBSTRATE TREATING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORT UNIT, AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер патента: US20200118800A1. Автор: Lee Sang-Kee,HA Kang Rae. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

SUBSTRATE SUPPORT WITH REAL TIME FORCE AND FILM STRESS CONTROL

Номер патента: US20170076915A1. Автор: Boyd,RAJ Govinda,JR. Wendell Glen,BUSCHE Matthew James. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-16.

SUBSTRATE SUPPORT WITH SWITCHABLE MULTIZONE HEATER

Номер патента: US20140197151A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,KULKARNI MAYUR G.,RICE MICHAEL R.,MINKOVICH ALEX. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE HEATING ZONES

Номер патента: US20160192444A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,Tsai Cheng-Hsiung,Ravi Jallepally,MATSUSHITA Tomoharu,KAMATH Aravind,KOPPA Manjunatha. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-30.

High temperature substrate support with heat sink

Номер патента: CN115103929A. Автор: 拉梅什·钱德拉塞卡拉,卡尔·弗雷德里克·利瑟,文森特·布克哈特,克里斯多夫·盖奇,塞舒·尼玛拉,兰基山·拉奥·林加姆帕利,乔尔·霍林斯沃思,威廉·拉弗蒂,谢尔盖·格奥尔吉耶维奇·别洛斯托茨基. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2022-09-23.

High temperature substrate support with heat spreader

Номер патента: US20230073259A1. Автор: William Lafferty,Ramesh Chandrasekharan,Vincent Burkhart,Christopher Gage,Karl Frederick Leeser,Ramkishan Rao Lingampalli,Seshu NIMMALA,Joel Hollingsworth,Sergey Georgiyevich BELOSTOTSKIY. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-03-09.

SUBSTRATE SUPPORTING MEMBER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME

Номер патента: US20190115194A1. Автор: LEE Sang Kee. Владелец: SEMES CO., LTD.. Дата публикации: 2019-04-18.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210159057A1. Автор: KOSHIMIZU Chishio. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-05-27.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20220310367A1. Автор: Saito Michishige. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2022-09-29.

METHODS FOR PROCESSING A SUBSTRATE USING MULTIPLE SUBSTRATE SUPPORT POSITIONS

Номер патента: US20140263169A1. Автор: LEE JOUNG JOO,Ritchie Alan A.,Miller Keith A.,JOHANSON William. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

TEMPERATURE-TUNED SUBSTRATE SUPPORT FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

Номер патента: US20210265144A1. Автор: MERTKE Norman A.,CHOKSHI Himanshu. Владелец: . Дата публикации: 2021-08-26.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESS APPARATUS HAVING THE SAME

Номер патента: US20140373782A1. Автор: PARK Yong Gyun,SEO Tae Wook,LEE Nae Il. Владелец: . Дата публикации: 2014-12-25.

TEMPERATURE-TUNED SUBSTRATE SUPPORT FOR SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

Номер патента: US20180330928A1. Автор: CHOKSHI Himanshu,Mertke Norman. Владелец: . Дата публикации: 2018-11-15.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, THIN FILM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20220349058A1. Автор: Um KiChul,Han JeungHoon,Kim DooHan,Han YongGyu. Владелец: . Дата публикации: 2022-11-03.

Substrate processing device and substrate support unit

Номер патента: JP2022091120A. Автор: GALSTYAN OGSEN,Won Seok Lee,Hyun-Kyu Kim,Jong-Hwan An,Dong Suk Kim,Sung Je Kim,Jae Hyun Cho,ソン，ヒョンキュ,Hyoungkyu Son,アン，ジョン－ファン,ヒュン チョ，ジャエ,ケウン バエ，ミン,Min Keun Bae,スク キム，ドン,ギュ キム，ヒョン,ガルスチャン，オグセン,セオク リー，ウォン,ジェ キム，スン. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-20.

Ceramic metal halide lamp with feedthrough comprising an iridium wire

Номер патента: US20130026914A1. Автор: Josephus Christiaan Maria Hendricx,Geert Antoon Parton,Georges Marie Calon,Cornelis Johannes Maria Denissen,Jeroen Waltherus Johannes Schoone. Владелец: KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS NV. Дата публикации: 2013-01-31.

IMPLANTABLE MEDICAL DEVICE WITH FEEDTHROUGH ANTENNA GROUND STRUCTURE

Номер патента: US20220288401A1. Автор: Balczewski Ron A.,Maile Keith R.,Haasl Benjamin J.,Nguyen Thao N.,Landherr Daniel Joseph,LAHR JASON,VARANASI NIHARIKA,HAUWILLER KATHERINE. Владелец: Cardiac Pacemakers, Inc.. Дата публикации: 2022-09-15.

Electrical device with feedthroughs comprising glass seals

Номер патента: EP0412655B1. Автор: William John Taylor,Joseph F. Lessar. Владелец: MEDTRONIC INC. Дата публикации: 1995-10-18.

Lamp with feedthrough with wire mesh

Номер патента: JP2003509813A. Автор: ウェー ステインマン マールテン. Владелец: Philips Electronics NV. Дата публикации: 2003-03-11.

ELECTRODE WITH FEEDTHROUGH PIN FOR MINIATURE ELECTROCHEMICAL CELLS AND METHODS OF MAKING

Номер патента: US20140123476A1. Автор: Nielsen Christian S.,Zhao Hailiang. Владелец: . Дата публикации: 2014-05-08.

Method of handling a substrate support structure in a lithography system

Номер патента: US20130234040A1. Автор: DE JONG Hendrik Jan. Владелец: . Дата публикации: 2013-09-12.

substrate supporting frame, substrate supporting frame assembly including the frame, method for framing a substrate using the frame, fabrication method for donor substrate using the substrate supporting frame and fabrication method for OLED using the donor substrate

Номер патента: KR100721564B1. Автор: 강태민. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2007-05-23.

METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTI-ZONE HEATING

Номер патента: US20130284721A1. Автор: OH JEONGHOON,HOU TAO,CHO Tom K.,HOOSHDARAN Frank F.,YANG Yao-Hung. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-31.

SUBSTRATE SUPPORT WITH SURFACE FEATURE FOR REDUCED REFLECTION AND MANUFACTURING TECHNIQUES FOR PRODUCING SAME

Номер патента: US20150037017A1. Автор: Ranish Joseph M.,Samir Mehmet Tugrul,Brillhart Paul,LAU Shu-Kwan. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

SUBSTRATE SUPPORT WITH WIRE MESH PLASMA CONTAINMENT

Номер патента: US20140144901A1. Автор: TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-05-29.

SUBSTRATE SUPPORT WITH ELECTRICALLY FLOATING POWER SUPPLY

Номер патента: US20190090338A1. Автор: WANG Haitao,PARKHE Vijay D.,KOH Travis Lee,KRAUS Philip Allan,Distaso Daniel,Markovsky Mark,Rowland Christopher A.,CASANOVA Robert. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

Substrate support plate transfer apparatus for fabricating organic light emitting display

Номер патента: TWI324494B. Автор: Ji Yong Lee,Kwan Seop Song,Hee Cheol Kang. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2010-05-01.

Substrate supporting Member, Deposition Apparatus Having the Member and Method of Transferring Substrate Using the Same

Номер патента: KR101196197B1. Автор: 이상도,황철주. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2012-11-02.

Electric hotplate with feedthrough connector

Номер патента: DE4004308A1. Автор: Felix Schreder. Владелец: EGO Elektro Gerate Blanc und Fischer GmbH. Дата публикации: 1991-08-14.

Substrate support body, substrate support structure, light-emitting device, and lamp

Номер патента: EP4145044A4. Автор: Kazuhiro Okamoto,Yoshihide Okawa,Sentarou Yamamoto,Yuhei MATSUMOTO. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2024-06-26.

Substrate support unit in backup device, method for manufacturing the same, device including the unit, and method for replacing the substrate support unit in the device

Номер патента: JPWO2005051066A1. Автор: 信介 須原,明伸 伊藤,須原　信介. Владелец: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2007-06-14.

Substrate supporting unit in backup system, process for producing the same, apparatus comprising that unit, and method for replacing substrate supporting unit in that apparatus

Номер патента: WO2005051066A1. Автор: Shinsuke Suhara,Akinobu Ito. Владелец: Fuji Machine Mfg. Co., Ltd.. Дата публикации: 2005-06-02.

Jig for setting substrate support pin and method for setting substrate support pin

Номер патента: CN114451079A. Автор: 神田知久,野口刚裕. Владелец: Fuji Corp. Дата публикации: 2022-05-06.

Support pin gripping device and substrate supporting device

Номер патента: JPWO2005081611A1. Автор: 毅 近藤,信介 須原,明伸 伊藤,須原　信介. Владелец: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2008-01-17.

Image sensor with feedthrough-compensated charge-binned readout

Номер патента: US09883130B2. Автор: Michael GUIDASH. Владелец: RAMBUS INC. Дата публикации: 2018-01-30.

Polar Transmitter with FeedThrough Compensation

Номер патента: US20210314204A1. Автор: MIN Yi,Zhihang Zhang,Wael Al-Qaq,Xiaobao Yu. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2021-10-07.

Polar transmitter with feedthrough compensation

Номер патента: US11943085B2. Автор: MIN Yi,Zhihang Zhang,Wael Al-Qaq,Xiaobao Yu. Владелец: Huawei Technologies Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-26.

SYSTEM AND METHOD TO DETECT SUBSTRATE AND/OR SUBSTRATE SUPPORT MISALIGNMENT USING IMAGING

Номер патента: US20160125589A1. Автор: Cong Zhepeng,Assaf Shay,CHU Schubert S.,TERTITSKI Leonid M.,VELLORE Kim R.. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-05.

Laminated structure of flexible substrate-support, panel for electronic device with support, and method for manufacturing panel for electronic device

Номер патента: JPWO2011024690A1. Автор: 聡 近藤,近藤　聡. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-31.

IMAGE SENSOR WITH FEEDTHROUGH-COMPENSATED CHARGE-BINNED READOUT

Номер патента: US20160269666A1. Автор: Guidash Michael. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-15.

Fabrication of integrated computational elements using cylindrical substrate support shaped to match a cross-section of a spatial profile of a deposition plume

Номер патента: US20160298230A1. Автор: Christopher Michael Jones,David L. Perkins,Robert Paul Freese,Richard Neal GARDNER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2016-10-13.

Substrate support structure, vacuum drying apparatus and method for vacuum drying a substrate

Номер патента: US09719723B2. Автор: Hongwei XING,Min YUAN,Huihui Mu,Hequn Zhang,Longgen Yang. Владелец: Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Method of applying sorbent coating on substrate, support, and/or substrate coated with support

Номер патента: RU2611519C2. Автор: Марк БЬЮЛОУ,Майкл ДЬЮРИЛЛА,Джон КАУФФМАН,Паскалине Харрисон ТРАН. Владелец: Басф Корпорейшн. Дата публикации: 2017-02-27.

Substrate support, lithographic apparatus, substrate inspection apparatus, device manufacturing method

Номер патента: US20210263431A1. Автор: Johannes Petrus Martinus Bernardus Vermeulen,Antonius Franciscus Johannes De Groot,Johannes Adrianus Cornelis Maria Pijnenburg,Luc Leonardus Adrianus Martinus MEULENDIJKS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-08-26.

Lithographic apparatus and method of controlling substrate support

Номер патента: WO2024165250A1. Автор: Zhuangxiong HUANG,Frederik Eduard De Jong,Niek Jacobus Johannes Roset,Marco Adrianus Peter Van Den Heuvel,Dennis Johannes Franciscus HECK,Beril OK DI LUCENTE. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate supporting device and sputtering apparatus including the same

Номер патента: US20090127109A1. Автор: Kaoru Ito,Hirotoshi Matsui. Владелец: Kojima Press Industry Co Ltd. Дата публикации: 2009-05-21.

Inkjet printing device with removable flat substrate support device

Номер патента: EP3365178A1. Автор: Tom Cloots. Владелец: AGFA NV. Дата публикации: 2018-08-29.

Method for evaluating the flatness of a substrate support

Номер патента: WO2024217800A1. Автор: Steffen Bezold,Torsten Meissner,Till Warming,Alex Schmidt,Konstantin AFANASIEV,Christoph Matthias BISCHOFF,Jan METJE. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-10-24.

Inkjet printing device with removable flat substrate support device

Номер патента: WO2017068047A1. Автор: Tom Cloots. Владелец: AGFA GRAPHICS NV. Дата публикации: 2017-04-27.

Substrate support device

Номер патента: US10551651B2. Автор: Yu Yang,Min Xu,Kai Wu,Jiajia Shan,Chuang Gao. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-02-04.

Substrate support, method of compensating unflatness of an upper surface of a substrate, lithogrpahic apparatus and device manufacturing method.

Номер патента: NL2016691A. Автор: POIESZ Thomas. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2016-12-29.

Liquid containing vessel, liquid containing body, substrate support member, and unit

Номер патента: US20150085027A1. Автор: Ryota Takahashi,Masahiro Karasawa,Seiko HAMAMOTO. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2015-03-26.

Substrate supporting carrier pad

Номер патента: US20020025769A1. Автор: MICHAEL Oliver. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-02-28.

Substrate supporting carrier pad

Номер патента: WO2002016080A8. Автор: Michael R Oliver. Владелец: Rodel Inc. Дата публикации: 2002-08-22.

Substrate support cover for high-temperature corrosive environment

Номер патента: US11866821B2. Автор: LIN Zhang,Ying Ma,Stanley Wu,Shuran Sheng,Yikai Chen,Joseph C. Werner,Yixing Lin,Jiyong Huang,Mahesh Adinath KANAWADE. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-01-09.

Substrate support system for a conveyor printer

Номер патента: US11981512B2. Автор: Andrew James Brown,Anderson McKeague. Владелец: Inca Digital Printers Ltd. Дата публикации: 2024-05-14.

A System for Cleaning a Substrate Support, a Method of Removing Matter from a Substrate Support, and a Lithographic Device

Номер патента: NL2020970A. Автор: SCHREUDER André,GUAN Tiannan,LINDEIJER Tjarco,Dirk Scholten Bert. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2018-12-13.

Ceramic substrate supporting member and method of manufacturing ceramic member

Номер патента: US20120228795A1. Автор: Kazuhiro Ito,Toshiki Ito,Seiji Minoura. Владелец: Ibiden Co Ltd. Дата публикации: 2012-09-13.

Substrate support and lithographic apparatus

Номер патента: WO2024099640A1. Автор: Zhuangxiong HUANG,Niek Jacobus Johannes Roset,Thilo Nils Martin SEEGER. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-05-16.

Monolithic substrate support carrier having porous features and methods of forming the same

Номер патента: WO2024102223A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate support device

Номер патента: US20240318314A1. Автор: Junhyung Kim,Minsung Kim,Sangchul Han,Youngbok Lee,Sangyeon OH,Yunjae Lee,Inhwan Park,Yonjoo Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate support

Номер патента: US09624040B2. Автор: Sharon Nagler,Alexander Feygelman. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2017-04-18.

Heated substrate support and method of fabricating same

Номер патента: US20060075970A1. Автор: Rolf Guenther,Curtis Hammill. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-04-13.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US11660891B2. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2023-05-30.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US11932030B2. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Substrate support device

Номер патента: US20180203284A1. Автор: Yu Yang,Min Xu,Kai Wu,Jiajia Shan,Chuang Gao. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-19.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US20200198383A1. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2020-06-25.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US20220088949A1. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2022-03-24.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: WO2020131677A1. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: KATEEVA, INC.. Дата публикации: 2020-06-25.

Catalyst substrate support

Номер патента: EP1691048B1. Автор: John P. Muter. Владелец: DCL International Inc. Дата публикации: 2008-03-05.

Substrate supporting device for vacuum sputtering equipment

Номер патента: US20200087779A1. Автор: Qiuping Huang. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-19.

Device including a component in alignment with a substrate-supported waveguide

Номер патента: US4966433A. Автор: Greg E. Blonder. Владелец: AT&T Bell Laboratories Inc. Дата публикации: 1990-10-30.

Substrate support and lithographic apparatus

Номер патента: WO2023241893A1. Автор: Niek Jacobus Johannes Roset,Daniel PONTONI,Thilo Nils Martin SEEGER,Joy HUIBERTS,Simon Karel RAVENSBERGEN,Zhuangxiong Sjoerd HUANG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-12-21.

Substrate support qualification

Номер патента: WO2024078802A1. Автор: Christianus Wilhelmus Johannes BERENDSEN,Johannes Andreas Maria Ammerlaan,Cornelius Maria Rops,Giovanni Luca GATTOBIGIO,Maarten Marinus VAN OENE. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-04-18.

Printer with a substrate support, in particular matrix pin printer

Номер патента: US5106218A. Автор: Günter Gomoll,Wolfgang Hauslaib,Ulrich Buschmann. Владелец: Mannesmann AG. Дата публикации: 1992-04-21.

Monolithic substrate support having porous features and methods of forming the same

Номер патента: US20240158308A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Actuator with pressure bar for compact modules with disc brake support with threaded part resting directly on actuator body

Номер патента: RU2564460C2. Автор: Эрих ФУДЕРЕР,Христиан ЭБНЕР,Андре ШТЕГМАН. Владелец: КНОРР-БРЕМЗЕ ЗЮСТЕМЕ ФЮР ШИНЕНФАРЦОЙГЕ ГМБХ. Дата публикации: 2015-10-10.

Method of extracting and restoring a mechanical single support with constant resistance

Номер патента: RU2681008C1. Автор: Цян Чжан,Цзисюн ЧЖАН,Мэн ЛИ,Нань ЧЖОУ,Вэньюэ ЦИ. Владелец: Китайский Университет Горного Дела И Технологии. Дата публикации: 2019-03-01.

Portable electronic hardware support with anchorage complete with magnetic bearing

Номер патента: RU2497699C2. Автор: Паоло ДЗАНЕТТИ. Владелец: Валмек Спа. Дата публикации: 2013-11-10.

Support with guide or track rail and method of such support installation

Номер патента: RU2456397C2. Автор: Жан-Люк АНДРЕ. Владелец: Лор Индустри. Дата публикации: 2012-07-20.

Structural support with integrated floor duct for vehicle

Номер патента: RU2658507C2. Автор: Пол Б. ХОУК,Кальянараман БХАРАТАН,Дженнифер А. ХЕРР-РАТКЕ,Эрик Р. ЙЕРКЕ,Джеймс Р. ХЕРД. Владелец: Форд Глобал Технолоджис, ЛЛК. Дата публикации: 2018-06-21.

Resilent damping support with adjustable rigidity

Номер патента: RU2634512C1. Автор: Сергей Михайлович Гусенко,Антон Герольдович Терешко,Юрий Васильевич Райков. Владелец: Публичное Акционерное Общество "Уфимское Моторостроительное Производственное Объединение" (Пао "Умпо"). Дата публикации: 2017-10-31.

Adjustable gas spring, height adjustable support with gas spring and furniture with height adjustable support

Номер патента: RU2638406C2. Автор: Мельф ХАНЗЕН. Владелец: Кессебемер Продукционс Гмбх Унд Ко. Кг. Дата публикации: 2017-12-13.

Feed and adjustment hydraulic assembly for lifter with two supports with independent drives running at time

Номер патента: RU2495283C2. Автор: Филипп МАРТЕН. Владелец: Лор Индустри. Дата публикации: 2013-10-10.

Method for coating supports with an emulsion binder

Номер патента: AU2001267633A1. Автор: Emile Jacques Muntzer,Paul Emile Muntzer. Владелец: Individual. Дата публикации: 2001-12-24.

Supports with integrated sensors for nuclear reactor steam generators, and associated systems and methods

Номер патента: US12062461B2. Автор: Kent Welter. Владелец: Nuscale Power LLC. Дата публикации: 2024-08-13.

Multizone mattress support with controlled temperature

Номер патента: RU2600306C2. Автор: Йолдерт Мария БУРСМА,ДРИЛ Жаклин ВАН. Владелец: КОНИНКЛЕЙКЕ ФИЛИПС Н.В.. Дата публикации: 2016-10-20.

Mutual detachable connection of two support sections of construction support with variable length

Номер патента: RU2603973C2. Автор: Рудольф ШПЕХТ,Вильфрид ХЕБЕРЛЕ. Владелец: ПЕРИ ГМБХ. Дата публикации: 2016-12-10.

Flower support with protection of stem

Номер патента: RU2392212C2. Автор: ПАГТЕР Янус Адриан Виллем ДЕ,Симон Эдуард НИКОЛАС,ДЕН ПУТТЕН Элеонора Патрисия ВАН. Владелец: Пагтер Энд Партнерз Интернэшнл Б.В.. Дата публикации: 2010-06-20.

Magnetic support with additional magnetic system

Номер патента: RU2638392C2. Автор: Константин Сергеевич Евтушенко,Иван Юрьевич Тарасенко. Владелец: Акционерное общество "ТВЭЛ" (АО "ТВЭЛ"). Дата публикации: 2017-12-13.

Suspension support with volume indication for a LPG tank

Номер патента: US6513373B1. Автор: William Home. Владелец: Grand Hall Enterprise Co Ltd. Дата публикации: 2003-02-04.

Telescopic support with internal brake

Номер патента: US20120080571A1. Автор: William Bishop. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-04-05.

Process for functionalizing a surface of a solid support with nano- or microparticles

Номер патента: US20230220233A1. Автор: Safi Jradi,Ali ISSA,Irene IZQUIERDO LORENZO. Владелец: UNIVERSITE DE TECHNOLOGIE DE TROYES. Дата публикации: 2023-07-13.

Process for functionalizing a surface of a solid support with nano- or microparticles

Номер патента: EP4146588A1. Автор: Safi Jradi,Ali ISSA,Irene IZQUIERDO LORENZO. Владелец: UNIVERSITE DE TECHNOLOGIE DE TROYES. Дата публикации: 2023-03-15.

Process for functionalizing a surface of a solid support with nano- or microparticles

Номер патента: WO2021224206A1. Автор: Safi Jradi,Ali ISSA,Irene IZQUIERDO LORENZO. Владелец: UNIVERSITE DE TECHNOLOGIE DE TROYES. Дата публикации: 2021-11-11.

Process for functionalizing a surface of a solid support with nano- or microparticles

Номер патента: EP3907180A1. Автор: Safi Jradi,Ali ISSA,Irene IZQUIERDO LORENZO. Владелец: UNIVERSITE DE TECHNOLOGIE DE TROYES. Дата публикации: 2021-11-10.

Harness for thoracic support with double action (immobilization and support)

Номер патента: WO2014001826A4. Автор: Evangelos Koutris. Владелец: Koutris Evangelos. Дата публикации: 2014-02-27.

Rv sewer hose support with adjustable supporting height

Номер патента: US20210300268A1. Автор: Peng Su. Владелец: Individual. Дата публикации: 2021-09-30.

Method for the prevention of mist formation in a device comprising rolls during the coating of flexible supports with a cross-linkable liquid silicone composition

Номер патента: US12129394B2. Автор: Guillaume Pibre,Emmanuel Pouget,Stephanie Benitou. Владелец: ELKEM SILICONES FRANCE SAS. Дата публикации: 2024-10-29.

Advertising support with illuminated magnifier

Номер патента: US20100031545A1. Автор: William H. Waterhouse. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-02-11.

Padded foot support with a ball of foot depression

Номер патента: US09974355B2. Автор: Tina Lorraine GOODMAN. Владелец: Heelho LLC. Дата публикации: 2018-05-22.

Electric bicycle support with self-locking function

Номер патента: LU506516B1. Автор: Weiding Zheng. Владелец: Taizhou Huangyan Kunpeng Automobile Co ltd. Дата публикации: 2024-09-06.

Functional structure of medical table support with toroidal surgical robot system (russian logic version 8)

Номер патента: RU2615115C1. Автор: Лев Петрович Петренко. Владелец: Лев Петрович Петренко. Дата публикации: 2017-04-03.

Trapezoid-shaped support with control of operating mode

Номер патента: RU2584432C1. Автор: Сергей Васильевич Березнев,Владимир Петрович Щербинин. Владелец: Открытое акционерное общество "Кузбасский научно-исследовательский институт шахтного строительства" (ОАО Кузниишахтострой"). Дата публикации: 2016-05-20.

Concrete frame of mine support with drainage

Номер патента: RU2743337C1. Автор: Роман Сергеевич Федюк,Павел Геннадьевич Козлов,Виталий Олегович Батаршин,Александр Сергеевич Семиохин,Андрей Анатольевич Гулеватенко. Владелец: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Дальневосточный федеральный университет" (ДВФУ). Дата публикации: 2021-02-17.

Device and method for preloading mechanical single support with constant resistance

Номер патента: RU2685358C1. Автор: Цян Чжан,Хао ЯНЬ,Цзисюн ЧЖАН,Яньлун ЧЭНЬ,Кай ЦЮАНЬ. Владелец: Китайский Университет Горного Дела И Технологии. Дата публикации: 2019-04-17.

Jet turbine engine with fan which is integral with drive shaft supported with first and second bearings

Номер патента: RU2386050C2. Автор: Гаэль БУШИ,Ги ЛАПЕРГ,Режи СЕРВАН. Владелец: Снекма. Дата публикации: 2010-04-10.

Method for lifting by jacks using telescopic supports with rods

Номер патента: RU2758726C1. Автор: Евгений Дмитриевич Малафеев. Владелец: Евгений Дмитриевич Малафеев. Дата публикации: 2021-11-01.

Set of supports with rollers for sliding doors and method of adjusting these supports in height

Номер патента: RU2607068C1. Автор: Юрий Вадимович Иванов. Владелец: Юрий Вадимович Иванов. Дата публикации: 2017-01-10.

A method for preparing a nickel-based methanation catalyst on a porous clay heterostructure support with a high specific surface area, and a nickel-based methanation catalyst thus obtained

Номер патента: EP4234082A1. Автор: Nerijus STRIUGAS,Andrius TAMOSIUNAS,Stase Irena LUKOSIUTE,Arunas BALTUSNIKAS,Jurate CESNIENE,Kestutis ZAKARAUSKAS. Владелец: Lietuvos Energetikos Institutas. Дата публикации: 2023-08-30.

Three-sided lattice support with belts of flat oval pipes

Номер патента: RU2664092C1. Автор: Александр Суренович Марутян. Владелец: Александр Суренович Марутян. Дата публикации: 2018-08-15.

Supports with integrated sensors for nuclear reactor steam generators, and associated systems and methods

Номер патента: WO2022173610A3. Автор: Kent Welter. Владелец: NuScale Power, LLC. Дата публикации: 2022-12-08.

Supports with integrated sensors for nuclear reactor steam generators, and associated systems and methods

Номер патента: EP4288978A2. Автор: Kent Welter. Владелец: Nuscale Power LLC. Дата публикации: 2023-12-13.

Supports with integrated sensors for nuclear reactor steam generators, and associated systems and methods

Номер патента: WO2022173610A2. Автор: Kent Welter. Владелец: NuScale Power, LLC. Дата публикации: 2022-08-18.

Method for intraocular lens fixation after its reposition on aphakic eyes without capsular support with iris injury defects

Номер патента: RU2631053C1. Автор: Павел Борисович Величко. Владелец: Федеральное государственное автономное учреждение "Межотраслевой научно-технический комплекс "Микрохирургия глаза" имени академика С.Н. Федорова" Министерства здравоохранения Российской Федерации. Дата публикации: 2017-09-15.

Hydroisomerisation catalyst made using aluminum oxide supports with high volume of nanopores, and a hydroisomerisation method using it

Номер патента: RU2720007C2. Автор: Ихуа ЧЖАН,Теодорус Людовикус Майкл Маэсен,Камала Рагхунатхан КРИШНА,Гуань-Дао ЛЭЙ. Владелец: ШЕВРОН Ю. Эс. Эй. ИНК.. Дата публикации: 2020-04-23.

Rear bearing flexible support with thrust for gas turbine engine

Номер патента: RU2550417C2. Автор: Марк Морис ДИЖУ,Жан-Люк Пьер САОРЕС,Жан-Морис КАЗО-БИК. Владелец: Турбомека. Дата публикации: 2015-05-10.

Rock burst protection support with monitoring function

Номер патента: NL2027081A. Автор: Chen Ying,LI Xiaoyan,Sun Dequan. Владелец: Univ Liaoning Technical. Дата публикации: 2022-06-08.

Electrostatic printer support with controlled electrostatic field voltage

Номер патента: CA1053738A. Автор: Lester E. Thompson. Владелец: Electroprint Inc. Дата публикации: 1979-05-01.

Method for functionalising a cellulose support with metal nanoparticles and electroanalytical sensor comprising the functionalised cellulose support

Номер патента: US20230087763A1. Автор: Danila Moscone,Fabiana Arduini,Vincenzo Mazzaracchio,Neda Bagheri,Stefano Cinti. Владелец: Cardiovascular Lab SpA. Дата публикации: 2023-03-23.

Hydraulic Support with Quick Response Function for Coal Wall Spalling

Номер патента: US20240026788A1. Автор: Zhiyuan SUN,Qingliang Zeng,Lirong WAN,Zhaoji Li,Baolong CHEN,Wenqian Xu,Xiaoqi Ma,Yanpeng Zhu. Владелец: SHANDONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY. Дата публикации: 2024-01-25.

Method for functionalising a cellulose support with metal nanoparticles and electroanalytical sensor comprising the functionalised cellulose support

Номер патента: EP4100728A1. Автор: Danila Moscone,Fabiana Arduini,Vincenzo Mazzaracchio,Neda Bagheri,Stefano Cinti. Владелец: Cardiovascular Lab SpA. Дата публикации: 2022-12-14.

Device for flatly displacing in all directions a support, with quick locking means

Номер патента: EP1040386A1. Автор: Massimo Benatti,Giancarlo Gardin. Владелец: Individual. Дата публикации: 2000-10-04.

Harness for thoracic support with double action (immobilization and support)

Номер патента: WO2014001826A1. Автор: Evangelos Koutris. Владелец: Koutris Evangelos. Дата публикации: 2014-01-03.

Method of testing a construction structure on pliable supports with a spacing at excessive impact action

Номер патента: RU2698517C1. Автор: Георгий Иванович Однокопылов,Олег Григорьевич Кумпяк,Заур Рашидович Галяутдинов,Дауд Рашидович Галяутдинов,Дмитрий Юрьевич Саркисов. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный архитектурно-строительный университет" (ТГАСУ). Дата публикации: 2019-08-28.

Manhole cover support with flange borne on its own base

Номер патента: US5165819A. Автор: Harold M. Bowman. Владелец: Individual. Дата публикации: 1992-11-24.

Implementing universal serial bus support with a minimum of system RAM

Номер патента: US6128732A. Автор: Craig L. Chaiken. Владелец: Compaq Computer Corp. Дата публикации: 2000-10-03.

Cup supporter with removable elastic hip band

Номер патента: US4122849A. Автор: Henry G. Dietz. Владелец: Individual. Дата публикации: 1978-10-31.

Pneumatic seat support with linkage and horizontal shock absorbers

Номер патента: CA1242131A. Автор: Scipio Thomas. Владелец: Individual. Дата публикации: 1988-09-20.

Leg type support with automatic adjustment

Номер патента: US3880388A. Автор: Rene Beguin. Владелец: TEST D ETUDES SA. Дата публикации: 1975-04-29.

Furnace skewback support with buckstay pivot

Номер патента: CA1062316A. Автор: Peter J. Wynne. Владелец: Lectromelt Corp. Дата публикации: 1979-09-11.

One-body shadow frame support with flow controller

Номер патента: US11846019B2. Автор: Jong Yun Kim,Jungwon Park,William Nehrer. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-12-19.

Methods for coating ceramic catalyst supports with base coatings and ceramic catalyst supports having base coatings

Номер патента: EP2691176A1. Автор: Paul John SHUSTACK,Kimberly M Keegan. Владелец: Corning Inc. Дата публикации: 2014-02-05.

Methods For Coating Ceramic Catalyst Supports With Base Coatings And Ceramic Catalyst Supports Having Base Coatings

Номер патента: US20120252664A1. Автор: Paul John SHUSTACK,Kimberly M. Keegan. Владелец: Corning Inc. Дата публикации: 2012-10-04.

Methods for coating ceramic catalyst supports with base coatings and ceramic catalyst supports having base coatings

Номер патента: WO2012161833A1. Автор: Paul John SHUSTACK,Kimberly M Keegan. Владелец: CORNING INCORPORATED. Дата публикации: 2012-11-29.

One-body shadow frame support with flow controller

Номер патента: US20230106522A1. Автор: Jong Yun Kim,Jungwon Park,William Nehrer. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-04-06.

Depressurizing Hydraulic Support with Seperate Front and rear pillars and Control Method Thereof

Номер патента: LU100381B1. Автор: Lei Wang,Chuanqi Zhu,Huaifu Liu,Jiazhuo Li. Владелец: Univ Anhui Sci & Technology. Дата публикации: 2017-12-05.

Developer storage container, developing device, image forming apparatus and substrate support structure

Номер патента: US20180004122A1. Автор: Shigenori Koido. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2018-01-04.

Developer storage container, developing device, image forming apparatus and substrate support structure

Номер патента: US09927738B2. Автор: Shigenori Koido. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2018-03-27.

Fabrication of integrated computational elements using substrate support shaped to match spatial profile of deposition plume

Номер патента: EP2929319A1. Автор: Christopher Michael Jones,David L. Perkins,Robert Paul Freese,Richard Neal GARDNER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2015-10-14.

Fabrication of integrated computational elements using substrate support shaped to match spatial profile of deposition plume

Номер патента: US20150337435A1. Автор: Christopher Michael Jones,David L. Perkins,Robert Paul Freese,Richard Neal GARDNER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2015-11-26.

Substrate holder, substrate support, lithographic apparatus and method

Номер патента: WO2024184007A1. Автор: Paulus Albertus VAN HAL,Utkarsh Jain,Dennis Dominic VAN DER VOORT. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-09-12.

Precision height adjustable flooring substrate support sytem

Номер патента: US09499992B2. Автор: Philip Busby. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-11-22.

Method of manufacturing substrates with feedthrough electrodes for inkjet heads and method of manufacturing inkjet heads

Номер патента: US7757395B2. Автор: Hideo Watanabe. Владелец: KONICA MINOLTA INC. Дата публикации: 2010-07-20.

Substrate support with integrated prober drvie

Номер патента: TW200710397A. Автор: Fayez E Abboud,Benjamin M Johnston,Hung T Nguyen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-03-16.

Method, system, and apparatus for memory with feedthrough and retiming paths to support memory to memory requests

Номер патента: US20170025165A1. Автор: Travis R. Hebig,Mark Fairhurst. Владелец: Avago Technologies General IP Singapore Pte Ltd. Дата публикации: 2017-01-26.

SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING SUSCEPTORLESS SUBSTRATE SUPPORT WITH ENHANCED SUBSTRATE HEATING CONTROL

Номер патента: US20130256962A1. Автор: Ranish Joseph M.,PATALAY KAILASH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-03.

SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING SUSCEPTORLESS SUBSTRATE SUPPORT WITH ENHANCED SUBSTRATE HEATING CONTROL

Номер патента: US20160243580A1. Автор: Ranish Joseph M.,PATALAY KAILASH. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-25.

Frame layer receiving a substrate supported sel stage

Номер патента: EP3440699A1. Автор: Michael W. Cumbie,Chien-Hua Chen,Devin A. Mourey. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2019-02-13.

A substrate supporting device, a substrate transfer mechanism, a polarizing film bonding device, and a liquid crystal display device manufacturing system having the same

Номер патента: TWI545681B. Автор: Rikiya Matsumoto. Владелец: Sumitomo Chemical Co. Дата публикации: 2016-08-11.

IMPLANTABLE MEDICAL DEVICE WITH FEEDTHROUGH, FEEDTHROUGH AND METHOD

Номер патента: US20130286536A1. Автор: Iyer Rajesh V.,Tischendorf Brad C.,Nygren Lea A.. Владелец: Medtronic, Inc.. Дата публикации: 2013-10-31.

PROCEDURE FOR PREPARING SUBSTRATES SUPPORTED WITH POLYURETHANE AND SUBSTRATES SO PRODUCED.

Номер патента: ES2055330T3. Автор: Robert B Turner,Kenneth W Skaggs,Terry L Lamb. Владелец: Dow Chemical Co. Дата публикации: 1994-08-16.

A SYSTEM FOR CLEANING A SUBSTRATE SUPPORT, A METHOD OF REMOVING MATTER FROM A SUBSTRATE SUPPORT, AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS

Номер патента: US20200103770A1. Автор: SCHOLTEN Bert Dirk,SCHREUDER André,GUAN Tiannan,LINDEIJER Tjarco. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2020-04-02.

METHOD OF MOUNTING SUBSTRATE SUPPORT IN CHAMBER, METHOD OF DISMOUNTING SUBSTRATE SUPPORT AND AUXILIARY TRANSPORT TOOL

Номер патента: US20160121462A1. Автор: HITOMI Taku,MAJIMA Miho. Владелец: ASM IP HOLDING B.V.. Дата публикации: 2016-05-05.

GLASS SUBSTRATE SUPPORT APPARATUSES AND METHODS OF PROVIDING FLEXIBLE GLASS SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20180200858A1. Автор: Qaroush Yousef Kayed,Shafrir Shai Negev. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

Substrate-supported catalyst and method for manufacturing substrate-supported catalyst

Номер патента: EP2829323A4. Автор: Toru Kamata,Masahiko Funabashi,Nagatoshi Nishiwaki. Владелец: Kochi University of Technology. Дата публикации: 2015-11-18.

Substrate-supported catalyst and method for manufacturing substrate-supported catalyst

Номер патента: CN104203405A. Автор: 镰田彻,舟桥正彦,西胁永敏. Владелец: Kochi University of Technology. Дата публикации: 2014-12-10.

Magnetic doll set with thin substrate supported by a frame and by walls thereon

Номер патента: US3946520A. Автор: Erwin Benkoe,Adolph E. Goldfarb. Владелец: Individual. Дата публикации: 1976-03-30.

SUBSTRATE SUPPORT, APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE, AND METHOD OF ADJUSTING TEMPERATURE OF SUBSTRATE

Номер патента: US20220010428A1. Автор: KOBAYASHI Toshiki,TSUDA Einosuke. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-13.

SUBSTRATE SUPPORT PLATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210180188A1. Автор: KIM Jaehyun,Lee SeungHwan,Kim DaeYoun. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

SUBSTRATE SUPPORT MECHANISM, SUBSTRATE CLEANING DEVICE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20220401997A1. Автор: Inoue Takuya,MIYAZAKI Mitsuru,NAKANO Hisajiro. Владелец: EBARA CORPORATION. Дата публикации: 2022-12-22.

Semiconductor structure for testing of metallization networks on insulative substrates supporting semiconductor chips

Номер патента: US3803483A. Автор: M Mcmahon. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1974-04-09.

Substrate support mechanism and substrate exchange method for semiconductor processing apparatus, and semiconductor processing apparatus and substrate transfer apparatus

Номер патента: JP3554534B2. Автор: 勤 広木. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-08-18.

Substrate supporting unit, substrate inspecting apparatus including the unit, and substrate inspecting method using the apparatus

Номер патента: KR101109078B1. Автор: 이흥근. Владелец: (주)엘이티. Дата публикации: 2012-03-13.

SUBSTRATE SUPPORT WITH CERAMIC INSULATION

Номер патента: US20130228124A1. Автор: CHOI Soo Young,WHITE John M.,ANWAR Suhail,KURITA Shinichi,FURUTA Gaku,TINER Robin L.. Владелец: . Дата публикации: 2013-09-05.

SUBSTRATE SUPPORT WITH RADIO FREQUENCY (RF) RETURN PATH

Номер патента: US20130319854A1. Автор: PARKHE Vijay D.,HANSON RYAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-12-05.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MORE UNIFORM EDGE PURGE

Номер патента: US20160002778A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,Ravi Jallepally,TSAI CHENG-HSIUNG MATTHEW,MATSUSHITA Tomoharu,KOPPA Manjunatha,KAMATH ARAVIND MIYAR. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-07.

CONNECTOR FOR SUBSTRATE SUPPORT WITH EMBEDDED TEMPERATURE SENSORS

Номер патента: US20210047732A1. Автор: Tian Siyuan,MILLER Donald J.. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-02-18.

CONNECTOR FOR SUBSTRATE SUPPORT WITH EMBEDDED TEMPERATURE SENSORS

Номер патента: US20190301017A1. Автор: Tian Siyuan,MILLER Donald J.. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-03.

Substrate support with fluid retention band

Номер патента: US20030209443A1. Автор: Dmitry Lubomirsky. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-11-13.

Substrate support with fluid retention band

Номер патента: US7189313B2. Автор: Dmitry Lubomirsky. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-03-13.

Substrate supporting carrier pad

Номер патента: TW515739B. Автор: Michael R Oliver. Владелец: Rodel Inc. Дата публикации: 2003-01-01.

Planetary substrate support apparatus for vapour vacuum depositing coating

Номер патента: GB2133764A. Автор: Henry E Brandolf. Владелец: MULTI ARC VACUUM SYST. Дата публикации: 1984-08-01.

Developer storage container, developing device, image forming apparatus and substrate support structure

Номер патента: EP3264191B1. Автор: Shigenori Koido. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2019-08-14.

Liquid containing vessel, liquid containing body, substrate support member, and unit

Номер патента: EP2851202B1. Автор: Ryota Takahashi,Masahiro Karasawa,Seiko HAMAMOTO. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-08-22.

A substrate supporting device, and an exposure device

Номер патента: TWI581362B. Автор: 堀正和,加藤正紀,木內徹,鬼頭義昭. Владелец: 尼康股份有限公司. Дата публикации: 2017-05-01.

Method of producing a magnetic recording medium comprising a substrate supporting a film of discrete magnetic particles in a plastics binder matrix

Номер патента: DE3165331D1. Автор: Don Edward Pickart,Philip Wayne Reed,Joseph Simon Vranka. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1984-09-13.

Lithographic apparatus, substrate support system, device manufacturing method and control program

Номер патента: US09715182B2. Автор: Wilhelmus Henricus Theodorus Maria AANGENENT,Ramidin Izair Kamidi,Marinus Maria Johannes VAN DE WAL,Khalid Manssouri. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2017-07-25.

METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNING SUBSTRATES ON A SUBSTRATE SUPPORT UNIT

Номер патента: US20180113386A1. Автор: Schipper Bart. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, THIN FILM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20200109472A1. Автор: Um KiChul,Han JeungHoon,Kim DooHan,Han YongGyu. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-09.

SUBSTRATE SUPPORT, METHOD OF COMPENSATING UNFLATNESS OF AN UPPER SURFACE OF A SUBSTRATE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20180188660A1. Автор: POIESZ Thomas. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2018-07-05.

SUBSTRATE SUPPORT, LITHOGRAPHIC APPARATUS, SUBSTRATE INSPECTION APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20210263431A1. Автор: DE GROOT Antonius Franciscus Johannes,Vermeulen Johannes Petrus Martinus Bernardus,PIJNENBURG Johannes Adrianus Cornelis Maria,MEULENDIJKS Luc Leonardus Adrianus Martinus. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2021-08-26.

SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURE, VACUUM DRYING APPARATUS AND METHOD FOR VACUUM DRYING A SUBSTRATE

Номер патента: US20160320124A1. Автор: YUAN Min,Zhang Hequn,Xing Hongwei,Mu Huihui,Yang Longgen. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-03.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS AND SUBSTRATE CLEANING APPARATUS

Номер патента: US20200316742A1. Автор: MIYAZAKI Mitsuru. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-08.

Substrate support device and substrate transfer device

Номер патента: JP5892783B2. Автор: 聡 山田,浩一 吉塚,山田　聡. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2016-03-23.

COATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY FOR SUBSTRATE PROCESSING

Номер патента: US20230009692A1. Автор: Wang Hao,HUANG YI-CHIAU,Lee Songjae,Jorgensen David. Владелец: . Дата публикации: 2023-01-12.

Substrate, in particular glass substrate, supporting a photocatalytic layer coated with a protective thin layer

Номер патента: WO2005040056A2. Автор: Nicolas Nadaud,Laurent Labrousse. Владелец: SAINT-GOBAIN GLASS FRANCE. Дата публикации: 2005-05-06.

Substrate, in particular glass substrate, supporting at least one stack of a photocatalytic layer and a sublayer for the heteroepitaxial growth of said layer

Номер патента: KR101131532B1. Автор: 니꼴라 나도,로랭 라브루스. Владелец: 쌩-고벵 글래스 프랑스. Дата публикации: 2012-04-04.

Substrates support table and substrates examination device with same

Номер патента: CN101089616A. Автор: 朴珉镐,崔裕灿,洪旋珠. Владелец: SFA Engineering Corp. Дата публикации: 2007-12-19.

Substrate, in particular glass substrate, supporting at least one stack of a photocatalytic layer and a sublayer for the heteroepitaxial growth of said layer

Номер патента: CA2543075A1. Автор: Nicolas Nadaud,Laurent Labrousse. Владелец: Laurent Labrousse. Дата публикации: 2005-05-06.

Substrate, in particular glass substrate, supporting a photocatalytic layer coated with a protective thin layer

Номер патента: PT1678093E. Автор: Nicolas Nadaud,Laurent Labrousse. Владелец: Saint Gobain. Дата публикации: 2010-09-22.

Method of Placing a Substrate, Method of Transferring a Substrate, Support System and Lithographic Projection Apparatus

Номер патента: US20090180095A1. Автор: Gerardus Petrus Matthijs Van Nunen,Abraham Alexander SOETHOUDT,Jozef Augustinus Maria ALBERTI,Frans Erik Groensmit,Rene Theodorous Petrus COMPEN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2009-07-16.

Substrate, in particular glass substrate, supporting a photocatalytic layer coated with a protective thin layer

Номер патента: ZA200604042B. Автор: Nadaud Nicolas,Labrousse Laurent. Владелец: Saint Gobain. Дата публикации: 2007-03-28.

Substrate supporting plate and manufacturing method thereof, and substrate processing method using the same which deposition of amorphous silicon and dehydrogenation is processed in same chamber

Номер патента: KR20060110582A. Автор: 현덕환,한순석. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2006-10-25.

Substrate, in particular glass substrate, supporting at least one stack of a photocatalytic layer and a sublayer for the heteroepitaxial growth of said layer

Номер патента: US20070129248A1. Автор: Nicolas Nadaud,Laurent Labrousse. Владелец: Saint Gobain Glass France SAS. Дата публикации: 2007-06-07.

Substrate, in particular glass substrate, supporting a photocatalytic layer coated with a protective thin layer

Номер патента: AU2004283938B2. Автор: Nicolas Nadaud,Laurent Labrousse. Владелец: Compagnie de Saint Gobain SA. Дата публикации: 2010-07-15.

Substrate support, method of compensating unflatness of an upper surface of a substrate, lithographic apparatus and device manufacturing method

Номер патента: TWI626708B. Автор: 湯瑪士 波伊茲. Владелец: Ａｓｍｌ荷蘭公司. Дата публикации: 2018-06-11.

Flooring Substrate Support System

Номер патента: US20170107726A1. Автор: Philip Busby. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-04-20.

MEDICAL DEVICES INCLUDING CONNECTOR ENCLOSURES WITH FEEDTHROUGH PASSAGEWAYS

Номер патента: US20220008735A1. Автор: Deininger Steven T.,Clayton Jeffrey J.,Peters Charles E.. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-13.

METHOD, SYSTEM, AND APPARATUS FOR MEMORY WITH FEEDTHROUGH AND RETIMING PATHS TO SUPPORT MEMORY TO MEMORY REQUESTS

Номер патента: US20170025165A1. Автор: Hebig Travis R.,FAIRHURST Mark. Владелец: . Дата публикации: 2017-01-26.

LATERAL DEFLECTOR WITH FEEDTHROUGH FOR CONNECTION TO INTELLIGENT SYSTEMS

Номер патента: US20180328148A1. Автор: GLASER MARK C.. Владелец: . Дата публикации: 2018-11-15.

Driving device with feedthrough into a combustion chamber

Номер патента: EP3034240A1. Автор: Norbert Heeb,Tilo Dittrich,Peter STAUSS-REINER. Владелец: Hilti AG. Дата публикации: 2016-06-22.

Lateral deflector with feedthrough for connection to intelligent systems

Номер патента: NO20190077A1. Автор: Mark C GLASER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2019-01-21.

SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20130065742A1. Автор: Nagler Sharon,Feygelman Alexander. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-14.

MODIFICATION OF EXISTING WASTEWATER SYSTEMS WITH SUBSTRATE SUPPORTED BIOFILMS

Номер патента: US20130193068A1. Автор: Wilson Kenneth,Jones R. Gavin,Grisham Phillip,Holland Sabin,Rainone Michael D.. Владелец: . Дата публикации: 2013-08-01.

STAMPING AND/OR DRILLING DEVICE COMPRISING A SUBSTRATE SUPPORT HEAD WITH CONTINUOUSLY CONTROLLED ORIENTATION

Номер патента: US20130307173A1. Автор: Bredeau Stephane,Bancillon Jacky. Владелец: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENE ALT. Дата публикации: 2013-11-21.

SUBSTRATE SUPPORT FOR USE WITH MULTI-ZONAL HEATING SOURCES

Номер патента: US20120003599A1. Автор: Sanchez Errol,PATALAY KAILASH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE SUPPORT TABLE OF PLASMA PROCESSING DEVICE

Номер патента: US20120002345A1. Автор: . Владелец: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

CONSUMABLE ISOLATION RING FOR MOVABLE SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY OF A PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20120000605A1. Автор: Dhindsa Rajinder,Kellogg Michael C.,Marakhtanov Alexei. Владелец: Lam Research Corporation.. Дата публикации: 2012-01-05.

A Treatment Tool for Cleaning a Substrate Support, a Lithographic Apparatus and a Method for Cleaning a Substrate Support

Номер патента: NL2023656A. Автор: VAN DER WILK Ronald,Hubertus Matheus Baltis Coen,Andreas Maria Ammerlaan Johannes,Elza Roeland Audenaerdt Daniel,Leduc Catherine. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2019-09-10.

Powered support with elements of simultaneous controlled discharge of self-falling coal from interlayer thickness

Номер патента: RU2184242C1. Автор: В.Н. Власов,В.И. Клишин,Ю.С. Фокин,Д.И. Кокоулин,И.А. Шундулиди,М.К. Дурнин. Владелец: Институт горного дела - научно-исследовательское учреждение СО РАН. Дата публикации: 2002-06-27.

Resilient support with adjustable rigidity for bench dynamic test of turbomachine rotors

Номер патента: RU2578935C1. Автор: Сергей Михайлович Гусенко,Антон Герольдович Терешко,Сергей Александрович Заваруев. Владелец: Открытое акционерное общество "Уфимское моторостроительное производственное объединение" ОАО "УМПО". Дата публикации: 2016-03-27.

Resilient support with adjuster rigidity for dynamic tests of turbine machine rotors at test rig

Номер патента: RU2535435C1. Автор: Сергей Михайлович Гусенко,Антон Герольдович Терешко,Сергей Александрович Заваруев. Владелец: Открытое акционерное общество "Уфимское моторостроительное производственное объединение" ОАО "УМПО". Дата публикации: 2014-12-10.

Rocket fastening at carrier support with help of pad with suction cups

Номер патента: RU2562663C2. Автор: Александр Никанорович Чирков,Евгений Юрьевич Чирков,Станислав Николаевич Горелов,Виктория Станиславовна Иванова. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Оренбургский государственный университет". Дата публикации: 2015-09-10.

Automotive front strut guide top support with plain bearing (versions)

Номер патента: RU2331529C2. Автор: Сергей Николаевич Калинин. Владелец: Сергей Николаевич Калинин. Дата публикации: 2008-08-20.

Combined support with elastic elements

Номер патента: RU2320908C2. Автор: Леонид Алексеевич Савин,Роман Николаевич Поляков,Александр Александрович Стручков,ков Роман Николаевич Пол. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Орловский государственный технический университет" (ОрелГТУ). Дата публикации: 2008-03-27.

Rail support with shock absorber and method of its manufacturing

Номер патента: RU2432428C1. Автор: Ирина Николаевна Дариенко,Владимир Дмитриевич Ленкин,Валерий Геннадьевич Климов. Владелец: Открытое Акционерное Общество "Российские Железные Дороги". Дата публикации: 2011-10-27.

Metallic arched support with console

Номер патента: RU2371581C1. Автор: Роман Игоревич Ларионов,Олег Владимирович Тимофеев,Юрий Николаевич Антонов,Олег Владимирович Тимофеев (RU),Юрий Николаевич Антонов (RU),Роман Игоревич Ларионов (RU). Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный горный институт имени Г.В. Плеханова (технический университет)". Дата публикации: 2009-10-27.

Support with the active vibration insulation

Номер патента: RU2268421C1. Автор: Давид Михайлович Белый. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет". Дата публикации: 2006-01-20.

Support with bearing surface for slalom on hover platform

Номер патента: RU2364534C1. Автор: Виктор Тихонович Федоров. Владелец: Виктор Тихонович Федоров. Дата публикации: 2009-08-20.

Automotive front strut guide top support with plain bearing (versions)

Номер патента: RU2331530C2. Автор: Сергей Николаевич Калинин. Владелец: Сергей Николаевич Калинин. Дата публикации: 2008-08-20.

Combination bearing support with unequal rigidity racer

Номер патента: RU2332593C1. Автор: Юрий Сергеевич Степанов,Борис Иванович Афанасьев,Леонид Алексеевич Савин,Роман Николаевич Поляков,Андрей Юрьевич Корнеев,Александр Александрович Стручков,ков Роман Николаевич Пол. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Орловский государственный технический университет" (ОрелГТУ). Дата публикации: 2008-08-27.

Elasticity-damper support with adjustable stiffness

Номер патента: RU2623703C1. Автор: Андрей Валерьевич Узбеков,Сергей Михайлович Гусенко,Антон Герольдович Терешко. Владелец: Публичное акционерное общество "Уфимское моторостроительное производственное объединение" ПАО "УМПО". Дата публикации: 2017-06-28.

Rocket fastening at carrier support with help of pad with suction cups

Номер патента: RU2525329C1. Автор: Александр Никанорович Чирков,Евгений Юрьевич Чирков,Станислав Николаевич Горелов,Виктория Станиславовна Иванова. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Оренбургский государственный университет". Дата публикации: 2014-08-10.

Hydraulic support with variable resistance and energy recovery

Номер патента: RU2510460C2. Автор: Виктор Васильевич Габов,Олег Васильевич Кабанов,Владимир Владимирович Буевич. Владелец: Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Национальный минерально-сырьевой университет "Горный". Дата публикации: 2014-03-27.

Design of vertical shaft support with adjustable mode of operation

Номер патента: RU2433269C2. Автор: Станислав Александрович Масленников,Сергей Георгиевич Страданченко,Денис Игоревич Шинкарь. Владелец: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Южно-Российский государственный технический университет (Новочеркасский политехнический институт)". Дата публикации: 2011-11-10.

Support with pendulum

Номер патента: RU2448632C2. Автор: Юрий Николаевич Байдюк. Владелец: Юрий Николаевич Байдюк. Дата публикации: 2012-04-27.

Method for identification of support with grounding short circuit in distributing networks with isolated neutral

Номер патента: RU2317624C1. Автор: Александр Иванович Гавриченко,Вадим Алексеевич Чернышов. Владелец: Федеральное государственное учреждение высшего профессионального образования "Орловский государственный аграрный университет" (ФГОУ ВПО ОрелГАУ). Дата публикации: 2008-02-20.

Single-circuit support with brace (variants)

Номер патента: RU2295015C1. Автор: Анатолий Аронович Зевин,Юрий Робертович Гунгер. Владелец: Юрий Робертович Гунгер. Дата публикации: 2007-03-10.

Trapezoidal frame-type metal support of special cross-section or combination support with roof beam of special cross-section for development workings

Номер патента: RU2082006C1. Автор: Воля Васильевич Егошин,Евгений Васильевич Кухаренко,Игорь Францевич Александрович. Владелец: Игорь Францевич Александрович. Дата публикации: 1997-06-20.

Linear substrate support member of substrate storage rack for conveyance

Номер патента: TWI251573B. Автор: Toru Nakazawa,Motohisa Murayama,Hisayoshi Furukohri,Shigenori Toyama. Владелец: Dmc Corp. Дата публикации: 2006-03-21.

Method of placing a substrate, method of transferring a substrate, support system and lithographic projection apparatus

Номер патента: TW200933786A. Автор: Nunen Gerardus Petrus Matthijs Van,Rene Theodorus Petrus Compen,Abraham Alexander SOETHOUDT,Jozef Augustinus Maria ALBERTI,Frans Erik Groensmit. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2009-08-01.

Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit

Номер патента: GB201617755D0. Автор: . Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2016-12-07.

Substrate supporting stage and substrate inspecting apparatus having the same

Номер патента: TW200801493A. Автор: Min-Ho Park,Yoo-Chan Choi,Sun-Joo Hong. Владелец: SFA Engineering Corp. Дата публикации: 2008-01-01.

Substrate positioning apparatus and substrate support having positioning apparatus

Номер патента: TW200829499A. Автор: Wen-Bin Chen,Fu-Ming Chang,Hsing-Hsiang WANG. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2008-07-16.

Substrate positioning apparatus and substrate support having positioning apparatus

Номер патента: TWI321549B. Автор: Wen Bin Chen,Hsing Hsiang Wang,Fu Ming Chang. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2010-03-11.

SUBSTRATE SUPPORT WITH SUBSTRATE HEATER AND SYMMETRIC RF RETURN

Номер патента: US20130001215A1. Автор: Chang Yu,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN,CUI ANQING,KUANG WILLIAM W.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-01-03.

Substrate support apparatus and substrate support method

Номер патента: JP4573692B2. Автор: 寿幸 楠木. Владелец: Yamaha Motor Co Ltd. Дата публикации: 2010-11-04.

Substrate support and substrate support method

Номер патента: JP3885261B2. Автор: 哲哉 後藤,正幸 小川,邦宏 畠中. Владелец: TORAY INDUSTRIES INC. Дата публикации: 2007-02-21.

SUPPORTING SUBSTRATE, SUPPORTING SUBSTRATE HOLDING METHOD, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: JP7279465B2. Автор: 裕太 窪内. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO LTD. Дата публикации: 2023-05-23.

Substrate support apparatus and substrate support method

Номер патента: JP4884296B2. Автор: 勇一 下田. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-02-29.

Automatic substrate support pin switching device and substrate support method

Номер патента: JP2801335B2. Автор: 昭彦 和智,秀俊 佐々木,毅 栗林,末廣 田中. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 1998-09-21.

Substrate support jig and substrate support method

Номер патента: JP2014132698A. Автор: Nobuhiro Tanaka,伸宏 田中,Shinji Nishimure,伸治 西牟礼. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2014-07-17.

SUBSTRATE SUPPORT, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE AND METHOD OF PLACING A SUBSTRATE

Номер патента: US20130055953A1. Автор: Haas Dieter,Berger Thomas,Lau Simon. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-03-07.

Substrate support apparatus, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: JP4611348B2. Автор: 公幸 鈴木. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2011-01-12.

Substrate Support with Gas Introduction Openings

Номер патента: US20120149194A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-06-14.

SUBSTRATE SUPPORT WITH HEATER

Номер патента: US20130037532A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,KULKARNI MAYUR G.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-02-14.

SUBSTRATE SUPPORT WITH TEMPERATURE CONTROL

Номер патента: US20130087309A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,KULKARNI MAYUR G.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-04-11.

SUBSTRATE SUPPORT WITH RADIO FREQUENCY (RF) RETURN PATH

Номер патента: US20130256126A1. Автор: RITCHIE ALAN,Nguyen Thanh X.,WANG Wei W.,YOUNG DONNY,SAVANDAIAH Kirankumar,Jupudi Ananthkrishna. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-03.

Substrate-supporting mechanism for exposure device

Номер патента: TW200941634A. Автор: Yasuhiko Okugi,Yasuhito Ikeda. Владелец: Orc Mfg Co Ltd. Дата публикации: 2009-10-01.

Substrate support fixture for vapor deposition coating apparatus

Номер патента: TW200600602A. Автор: Jung-Chou Lee. Владелец: Asia Optical Co Inc. Дата публикации: 2006-01-01.

A substrate supporting apparatus

Номер патента: TW200418121A. Автор: Cheng-Te Lin,Chien-Hsiung Hung,Ming-Tang Chiang,Yung-Chang Kao. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2004-09-16.

A substrate supporting apparatus

Номер патента: TW589699B. Автор: Cheng-Te Lin,Chien-Hsiung Hung,Ming-Tang Chiang,Yung-Chang Kao. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2004-06-01.

Substrate support of a spacer sprayer

Номер патента: TWI250328B. Автор: Der-Chun Wu,Hung-Hsiang Chiang. Владелец: Chunghwa Picture Tubes Ltd. Дата публикации: 2006-03-01.

Substrate supporting stage

Номер патента: TW201122464A. Автор: Min-Ho Park,Yoo-Chan Choi,Sun-Joo Hong. Владелец: SFA Engineering Corp. Дата публикации: 2011-07-01.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: TWI313906B. Автор: Ying Chi Chen,Tzu Chiang Cheng,Shiang Chiang Liu. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2009-08-21.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: TW200743175A. Автор: Ying-Chi Chen,Shiang-Chiang Liu,Tzu-Chiang Cheng. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2007-11-16.

Apparatus and Method for Processing Substrate Using Neutralized Beams Including Applying a Voltage to a Substrate Support

Номер патента: US20120068058A1. Автор: KIM Yong-Jin,Lee Do-Haing,Kim Ha-Na. Владелец: . Дата публикации: 2012-03-22.

SUBSTRATE-SUPPORTING UNIT AND SUBSTRATE-PROCESSING APPARATUS COMPRISING SAME

Номер патента: US20120160419A1. Автор: Oh Wan Suk,Je Sung Tae,LEE Dong-Keun,Zaretskiy Sergey. Владелец: . Дата публикации: 2012-06-28.

SUBSTRATE SUPPORTING TABLE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND MANUFACTURE METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120222818A1. Автор: Sakata Masakazu. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.. Дата публикации: 2012-09-06.

SUBSTRATE SUPPORTING UNITS AND SUBSTRATE TREATING APPARATUSES INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20130001213A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2013-01-03.

METHOD FOR TRANSPORTING A SUBSTRATE WITH A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20130064637A1. Автор: Hosek Martin. Владелец: PERSIMMON TECHNOLOGIES CORPORATION. Дата публикации: 2013-03-14.

SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSPORTING APPARATUS

Номер патента: US20130164108A1. Автор: Yamada Satoshi,Yoshizuka Koichi. Владелец: CANON ANELVA CORPORATION. Дата публикации: 2013-06-27.

SUBSTRATE SUPPORT FOR SUBSTRATE BACKSIDE CONTAMINATION CONTROL

Номер патента: US20140008349A1. Автор: Chang Yu,YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-01-09.

Substrate support case and case with substrate

Номер патента: JP6163405B2. Автор: 知彦 桑原,敏嗣 矢嶋. Владелец: Shin Etsu Polymer Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-12.

Substrate support device and substrate transfer mechanism

Номер патента: JP4307653B2. Автор: 善郎 長谷川,洋之 今井,芳樹 有賀. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2009-08-05.

Backup pin collection method, backup pin supply method, work jig, substrate support device, surface mounter, cream solder printing device, and substrate inspection device

Номер патента: JP4866231B2. Автор: 洋志 西城,智康 荒井. Владелец: Yamaha Motor Co Ltd. Дата публикации: 2012-02-01.

A kind of cover frame for the treatment of substrate and substrate support

Номер патента: CN204696086U. Автор: J·M·怀特,崔寿永,S·安瓦尔,朴范洙,赵来,R·L·蒂纳. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-10-07.

Substrate supporter for substrate annealing apparatus

Номер патента: JP2007287969A. Автор: Koji Hashimoto,昌幸 水野,Masayuki Mizuno,照正 石原,Masaru Morita,孝治 橋本,Terumasa Ishihara,勝 森田. Владелец: IHI Corp. Дата публикации: 2007-11-01.

Linear substrate support member of substrate storage rack for conveyance

Номер патента: TW200602239A. Автор: Toru Nakazawa,Motohisa Murayama,Hisayoshi Furukohri,Shigenori Toyama. Владелец: Dmc Corp. Дата публикации: 2006-01-16.

Azimuth positioner of antenna station with feedthrough phased antenna array

Номер патента: RU2286624C2. Автор: Владимир Михайлович Тишаев,Евгений Леонтьевич Назаров,Виталий Витальевич Василевский,Юрий Михайлович Селиванов,Борис Витальевич Большаков. Владелец: Открытое акционерное общество "Морской научно-исследовательский институт радиоэлектроники "Альтаир". Дата публикации: 2006-10-27.

SUBSTRATE SUPPORT MATERIAL USEFUL FOR SCREEN PRINTING PROCESSES

Номер патента: US20120034382A1. Автор: Baccini Andrea,Galiazzo Marco. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-02-09.

Circuit-Substrate Supporting Device and a Battery Unit with the Same

Номер патента: US20120070699A1. Автор: . Владелец: FDK TWICELL CO., LTD.. Дата публикации: 2012-03-22.

SUBSTRATE SUPPORTS FOR SEMICONDUCTOR APPLICATIONS

Номер патента: US20120141661A1. Автор: Cho Jaeyong,Sirman John. Владелец: . Дата публикации: 2012-06-07.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, AND APPARATUS AND METHOD FOR DEPOSITING THIN LAYER USING THE SAME

Номер патента: US20120145080A1. Автор: PARK YOUNGKYOU,Suh Jeongsoo,Hwang Wangoo,Choi Hoonsang,Park Jongrok. Владелец: . Дата публикации: 2012-06-14.

CERAMIC SUBSTRATE SUPPORTING MEMBER AND METHOD OF MANUFACTURING CERAMIC MEMBER

Номер патента: US20120228795A1. Автор: . Владелец: IBIDEN CO., LTD.. Дата публикации: 2012-09-13.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY FOR THIN FILM DEPOSITION SYSTEMS

Номер патента: US20120234229A1. Автор: Nguyen Tuan Anh,Olgado Donald J.K.,Quach David H.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-09-20.

SUBSTRATE SUPPORT JIG

Номер патента: US20120235342A1. Автор: Kurata Noboru. Владелец: FUJI ELECTRIC CO., LTD.. Дата публикации: 2012-09-20.

METHOD AND APPARATUS FOR THERMOCOUPLE INSTALLATION OR REPLACEMENT IN A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20120241089A1. Автор: Dielmann Joerg,Ruediger Reiner. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-09-27.

METHOD AND APPARATUS FOR SELECTIVE SUBSTRATE SUPPORT AND ALIGNMENT IN A THERMAL TREATMENT CHAMBER

Номер патента: US20120251964A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-10-04.

NON-LOCKING SUBSTRATE SUPPORT SYSTEM

Номер патента: US20120256070A1. Автор: Gordon Thomas A.,Farlow Douglas T.. Владелец: . Дата публикации: 2012-10-11.

SUBSTRATE SUPPORT INSTRUMENT, AND VERTICAL HEAT TREATMENT APPARATUS AND DRIVING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120258414A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-10-11.

SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20120279443A1. Автор: Kornmeyer Torsten. Владелец: KGT GRAPHIT TECHNOLOGIE GMBH. Дата публикации: 2012-11-08.

ROTATING SUBSTRATE SUPPORT AND METHODS OF USE

Номер патента: US20120291709A1. Автор: JR. Robert,Ryding Geoffrey,Smick Theodore,Seutter Sean,Smith Jacob,TAM ALEXANDER,SURYANARAYANAN IYER R.,TRAN BINH,MERRY NIR,BRAILOVE ADAM,SHYDO,ANDREWS ROBERT,ROBERTS FRANK. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-11-22.

SUBSTANTIALLY NON-POROUS SUBSTRATE SUPPORTED NOBLE METAL-AND LANTHANIDE-CONTAINING CATALYSTS

Номер патента: US20120296129A1. Автор: . Владелец: UOP LLC. Дата публикации: 2012-11-22.

VAPOR-PHASE GROWTH SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORT SUSCEPTOR, EPITAXIAL WAFER MANUFACTURING APPARATUS, AND EPITAXIAL WAFER MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20120309175A1. Автор: . Владелец: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.. Дата публикации: 2012-12-06.

WAFER PROCESSING APPARATUS WITH HEATED, ROTATING SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20130017503A1. Автор: Boonstra Klaas P.,Oosterlaken Theodorus G.M.,De Ridder Chris G.M.,Ravenhorst Barend J. T.. Владелец: . Дата публикации: 2013-01-17.

SUBSTRATE SUPPORTING EDGE RING WITH COATING FOR IMPROVED SOAK PERFORMANCE

Номер патента: US20130026693A1. Автор: Ranish Joseph M.,Hunter Aaron Muir. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-01-31.

SUBSTRATE SUPPORT BUSHING

Номер патента: US20130101241A1. Автор: OH JEONGHOON,HOU TAO,CHO Tom K.,MATLOSZ Andrzej,HOOSHDARAN Frank F.,YANG Yao-Hung. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-04-25.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE

Номер патента: US20130134147A1. Автор: HASHIMOTO Daisuke,Miyahara Junichi,Futakuchiya Jun. Владелец: NHK SPRING CO., LTD.. Дата публикации: 2013-05-30.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE

Номер патента: US20130134148A1. Автор: HASHIMOTO Daisuke,Hanamachi Toshihiko,Tachikawa Toshihiro,Miyahara Junichi,Futakuchiya Jun,TAKAHARA Go,Yonekura Kazuhiro. Владелец: NHK SPRING CO., LTD.. Дата публикации: 2013-05-30.

INTERDIGITATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY FOR SYNTHESIS OF LARGE AREA THIN FILMS

Номер патента: US20130309402A1. Автор: Sung Chun-yung,Lin Yu-Ming,Li Xuesong. Владелец: . Дата публикации: 2013-11-21.

SUBSTRATE SUPPORT PROVIDING GAP HEIGHT AND PLANARIZATION ADJUSTMENT IN PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20130323860A1. Автор: Holland John,Wang Yen-Kun Victor,Antolik Jerrel Kent. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2013-12-05.

Бесплатный поиск патентной информации. Построение патентных ландшафтов и отчетов.

Главная
Проекты и услуги
Контакты

© 2021-2022 - All Rights Reserved - разработано Ecoruspace.me.