METHODS FOR PROCESSING A SUBSTRATE USING MULTIPLE SUBSTRATE SUPPORT POSITIONS
Номер патента: US20140263169A1
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): JOHANSON William, LEE JOUNG JOO, Miller Keith A., Ritchie Alan A.
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): JOHANSON William, LEE JOUNG JOO, Miller Keith A., Ritchie Alan A.
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for the plasma coating of a substrate, in particular a press platen
Номер патента: US09530624B2. Автор: Thomas Mueller,Daniel Heim,Herbert Stoeri,Michael PROSCHEK,Johann Laimer,Otto Stadler,Andreas Gebeshuber. Владелец: Berndorf Hueck Band- und Pressblechtechnik GmbH. Дата публикации: 2016-12-27.