Fine concavo-convex structure product, heat-reactive resist material for dry etching, mold manufacturing method and mold
Номер патента: US09701044B2
Опубликовано: 11-07-2017
Автор(ы): Yoshimichi Mitamura
Принадлежит: Asahi Kasei Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-07-2017
Автор(ы): Yoshimichi Mitamura
Принадлежит: Asahi Kasei Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Fine concavo-convex structure product, heat-reactive resist material for dry etching, mold manufacturing method and mold
Номер патента: US09597822B2. Автор: Yoshimichi Mitamura. Владелец: Asahi Kasei E Materials Corp. Дата публикации: 2017-03-21.