THIN HEATED SUBSTRATE SUPPORT.

THIN HEATED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20130334199A1
Опубликовано: 19-12-2013
Автор(ы): Lee Jared Ahmad, Pal Aniruddha, Reuter Paul B., SALINAS MARTIN JEFFREY, YOUSIF IMAD
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY EMITTING FLASHING LIGHT

Номер патента: US20150311080A1. Автор: YOKOUCHI Kenichi. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-29.

Substrate support device, thermal processing apparatus, substrate support method, and thermal processing method

Номер патента: US20230253237A1. Автор: Scott PRENGLE. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

HEAT TREATMENT APPARATUS HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION WITH LIGHT

Номер патента: US20130224967A1. Автор: KUSUDA Tatsufumi. Владелец: . Дата публикации: 2013-08-29.

Heat treatment method and heat treatment apparatus for heating substrate by emitting flashing light

Номер патента: US20110262115A1. Автор: Kenichi Yokouchi. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2011-10-27.

Heat treatment apparatus heating substrate by irradiation with light

Номер патента: US20130224967A1. Автор: Tatsufumi Kusuda. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2013-08-29.

Heated substrate support with temperature profile control

Номер патента: US09698074B2. Автор: Nir Merry,Leon Volfovski. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate support for substrate backside contamination control

Номер патента: US09490150B2. Автор: YU Chang,Gwo-Chuan Tzu,Xiaoxiong Yuan,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-11-08.

Substrate support with quadrants

Номер патента: US09677177B2. Автор: Soo Young Choi,Shinichi Kurita,Beom Soo Park,Robin L. Tiner,Gaku Furuta,Bora OH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

Tunable temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US20240321620A1. Автор: Vijay D. Parkhe,Phillip R. Sommer,Konstantin Makhratchev,Steven E. Babayan,Zhiqiang Guo,Dan A. Marohl. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate support device

Номер патента: US20130134147A1. Автор: Daisuke Hashimoto,Junichi Miyahara,Jun Futakuchiya. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2013-05-30.

Substrate support with multiple heating zones

Номер патента: US09888528B2. Автор: Jallepally Ravi,Cheng-Hsiung Tsai,Tomoharu Matsushita,Xiaoxiong Yuan,Manjunatha KOPPA,Aravind KAMATH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-02-06.

Tunable temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US09472435B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Phillip R. Sommer,Konstantin Makhratchev,Steven E. Babayan,Zhiqiang Guo,Dan A. Marohl. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Substrate support assembly having rapid temperature control

Номер патента: US09883549B2. Автор: Michael D. Willwerth,Dan Katz,Theodoros Panagopoulos,John Holland,Alexander Matyushkin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-30.

Substrate support with switchable multizone heater

Номер патента: US09538583B2. Автор: Michael R. Rice,Leon Volfovski,Mayur G. Kulkarni,Alex Minkovich. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-03.

Substrate support with wire mesh plasma containment

Номер патента: US09478447B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-25.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220254671A1. Автор: Shinya Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

Semitransparent substrate support for microwave degas chamber

Номер патента: WO2022266358A1. Автор: Prashant Agarwal,Ananthkrishna Jupudi,Tuck Foong Koh. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-12-22.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US11961755B2. Автор: Shinya Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-16.

Semiconductor substrate support with internal channels

Номер патента: US20210320023A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-10-14.

Semiconductor substrate support with internal channels

Номер патента: US20230005780A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-01-05.

Substrate supports and transfer apparatus for substrate deformation

Номер патента: WO2024136950A1. Автор: Xinning Luan,Zhepeng Cong. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate supports and transfer apparatus for substrate deformation

Номер патента: US20240213078A1. Автор: Xinning Luan,Zhepeng Cong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-27.

Semiconductor substrate support with internal channels

Номер патента: WO2021206939A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-10-14.

Low temperature biasable substrate support

Номер патента: WO2020222939A1. Автор: Brian T. West,Soundarrajan JEMBULINGAM,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-11-05.

Low temperature biasable substrate support

Номер патента: US20200350195A1. Автор: Brian T. West,Soundarrajan JEMBULINGAM,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-11-05.

Substrate supports, semiconductor processing systems having substrate supports, and methods of making substrate supports for semiconductor processing systems

Номер патента: US20230212752A1. Автор: Hong Gao,Zhengyan Zhou. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-07-06.

Substrate support with feedthrough structure

Номер патента: US09706605B2. Автор: Leon Volfovski,Mayur G. Kulkarni. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-07-11.

Tunable temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US12009244B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Phillip R. Sommer,Konstantin Makhratchev,Steven E. Babayan,Zhiqiang Guo,Dan A. Marohl. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-11.

Procede de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en semi-conducteur monocristallin sur un substrat support

Номер патента: EP4315396A1. Автор: Didier Landru,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-02-07.

Procede de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en semi-conducteur monocristallin sur un substrat support

Номер патента: FR3121281B1. Автор: Didier Landru,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-24.

High-temperature substrate support assembly with failure protection

Номер патента: US20230377930A1. Автор: Ashish Goel,Martin Perez-Guzman,Suresh Gupta,Denis Martin Koosau. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-23.

High-temperature substrate support assembly with failure protection

Номер патента: WO2023224994A1. Автор: Ashish Goel,Martin Perez-Guzman,Suresh Gupta,Denis Martin Koosau. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-11-23.

High-temperature substrate support assembly with failure protection

Номер патента: US20230380016A1. Автор: Ashish Goel,Martin Perez-Guzman,Suresh Gupta,Denis Martin Koosau. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-23.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20150221533A1. Автор: Kato Shinichi. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-06.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION WITH FLASH LIGHT

Номер патента: US20170140976A1. Автор: Yamada Takahiro,FUSE Kazuhiko,ABE Makoto. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-18.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY HAVING RAPID TEMPERATURE CONTROL

Номер патента: US20160135252A1. Автор: Katz Dan,Willwerth Michael D.,Panagopoulos Theodoros,Holland John,Matyushkin Alexander. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2016-05-12.

Optically heated substrate support assembly with removable optical fibers

Номер патента: US20170303338A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-19.

Optically heated substrate support assembly with removable optical fibers

Номер патента: WO2017184405A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-10-26.

Substrate supporting unit and temperature control method thereof

Номер патента: US20230376055A1. Автор: Kyung-Tae LIM. Владелец: Tes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Substrate support apparatus and method

Номер патента: US12027407B2. Автор: Chi-Hung Liao,Fei-Gwo Tsai,Yueh Lin YANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2024-07-02.

Plasma processing method and plasma processing apparatus including applying a voltage to a lower electrode in a substrate support with a gas supplied into a chamber

Номер патента: US20240222085A1. Автор: Koichiro Nakamura,Norihisa Kiyofuji. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Substrate support chuck cooling for deposition chamber

Номер патента: US09865489B2. Автор: Brian West,Vijay Parkhe,Robert Hirahara,Dan Deyo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-01-09.

Substrate support chuck cooling for deposition chamber

Номер патента: US09668373B2. Автор: Brian West,Vijay Parkhe,Robert Hirahara,Dan Deyo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-05-30.

Connector for substrate support with embedded temperature sensors

Номер патента: US12077862B2. Автор: Donald J. Miller,Siyuan Tian. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-09-03.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US11798791B2. Автор: Yasuharu Sasaki,Shingo Koiwa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.

Substrate support and substrate processing device

Номер патента: US20240162075A1. Автор: Masato Takayama,Atsushi Kawabata,Akira Nagayama,Takeshi Akao,Koji Kawanishi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-05-16.

Methods and apparatus for cooling a substrate support

Номер патента: US20240130082A1. Автор: Robert Irwin Decottignies,Roger Bradford Fish,Steven SZUDARSKI,Shane Lawrence KINTNER. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-18.

Methods and apparatus for cooling a substrate support

Номер патента: WO2024081210A1. Автор: Robert Irwin Decottignies,Roger Bradford Fish,Steven SZUDARSKI,Shane Lawrence KINTNER. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-04-18.

Electrical connector for a substrate support assembly

Номер патента: WO2024151413A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-07-18.

Dynamic temperature control of substrate support in substrate processing system

Номер патента: US11908715B2. Автор: Ramesh Chandrasekharan,Sairam Sundaram,Aaron Durbin. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-02-20.

Substrate supporting unit and a substrate processing device including the same

Номер патента: US11866823B2. Автор: Seunghwan Lee,HakYong Kwon,Sungbae Kim,Jongsu Kim,JuHyuk Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-01-09.

Plasma processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20240087857A1. Автор: Makoto Kato,Shoichiro Matsuyama,Chishio Koshimizu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240194514A1. Автор: Makoto Kato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

TUNABLE TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20160027678A1. Автор: Guo Zhiqiang,BABAYAN Steven E.,PARKHE Vijay D.,MAROHL DAN A.,Sommer Phillip R.,Makhratchev Konstantin. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-28.

SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE

Номер патента: US20180204754A1. Автор: Tsuchida Atsushi,Hino Makoto,Umeki Toshiya,ISHINO Tomohiro,TOKUSHO Noriaki,SASAKI Shunichi,AOYAMA Hisanori,FUKAZAWA Kenichi. Владелец: NGK SPARK PLUG CO., LTD.. Дата публикации: 2018-07-19.

Laminated thin heat dissipation device and method of manufacturing the same

Номер патента: US20230091157A1. Автор: Ke Chin Lee. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-03-23.

Structure composite comprenant une couche utile en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin et procede de fabrication de ladite structure

Номер патента: EP4413611A1. Автор: Radu Ionut,Christophe Maleville,Gweltaz Gaudin,Hugo BIARD,Sidoine ODOUL. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-14.

Structure composite comprenant une couche utile en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin et procede de fabrication de ladite structure

Номер патента: FR3127842B1. Автор: Radu Ionut,Christophe Maleville,Gweltaz Gaudin,Hugo BIARD,Sidoine ODOUL. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-02.

Unit for fixation of heated substrate in vacuum chamber (embodiments)

Номер патента: RU2723477C1. Автор: Дмитрий Алексеевич Павлов,Николай Олегович Кривулин,Елена Сергеевна Кочугова. Владелец: Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского". Дата публикации: 2020-06-11.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND HEAT TREATMENT METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASH OF LIGHT

Номер патента: US20140206108A1. Автор: KIYAMA Hiroki. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2014-07-24.

THERMAL PROCESSING METHOD AND THERMAL PROCESSING APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE, AND SUSCEPTOR

Номер патента: US20140235072A1. Автор: Ito Yoshio. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG CO., LTD.. Дата публикации: 2014-08-21.

Thin heated substrate support

Номер патента: CN103403857A. Автор: A·帕尔,M·J·萨里纳斯,P·B·路透,J·A·里,I·优素福. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-11-20.

Thin heated substrate support

Номер патента: KR101970184B1. Автор: 마틴 제프 살리나스,폴 비. 로이터,아니루다 팔,자레드 아흐마드 리,이마드 유시프. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2019-04-18.

SUPER THIN HEATING DISK

Номер патента: US20200126824A1. Автор: Li Pei-Shan,Chen Yi Hsiang,Ma Kuo Yang,Ho Mu-Chun,Chou Wei-Chuan,Li Cheng Feng. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-23.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH TEMPERATURE PROFILE CONTROL

Номер патента: US20150076135A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,MERRY NIR. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-19.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20220279626A1. Автор: RAJ Govinda. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-01.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20190159292A1. Автор: RAJ Govinda. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-23.

Heated substrate support

Номер патента: TWI677938B. Автор: Govinda Raj,高芬達瑞吉. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-11-21.

Heated substrate support with temperature profile control device

Номер патента: JP6404355B2. Автор: ニールメリー，,レオンヴォルフォフスキ，. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-10.

Heat treatment method and heat treatment apparatus for heating substrate by irradiating substrate with light

Номер патента: US09805932B2. Автор: Shinichi Kato,Kenichi Yokouchi,Kazuhiko Fuse. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-31.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20130337661A1. Автор: Kato Shinichi. Владелец: . Дата публикации: 2013-12-19.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20190206687A1. Автор: Kato Shinichi,FUSE Kazuhiko,YOKOUCHI Kenichi. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-04.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20160247692A1. Автор: Kato Shinichi,FUSE Kazuhiko,YOKOUCHI Kenichi. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-25.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20160293424A1. Автор: Kato Shinichi,FUSE Kazuhiko,YOKOUCHI Kenichi. Владелец: . Дата публикации: 2016-10-06.

Heat treatment method for heating substrate by irradiating substrate with flash of light

Номер патента: KR101389636B1. Автор: 켄이치 요코우치. Владелец: 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤. Дата публикации: 2014-04-29.

Device for heating substrates and methods for heating substrates

Номер патента: DE102008062494B4. Автор: Takehiko Yokomori. Владелец: Ushio Denki KK. Дата публикации: 2015-05-13.

Heat treatment method and heat treatment apparatus for heating substrate by irradiating substrate with flash of light

Номер патента: US20120238110A1. Автор: Kenichi Yokouchi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-09-20.

Device for thermal treatment of a substrate, and support rack and substrate support element for the device

Номер патента: TW201803003A. Автор: 托瑪士培拉,雷偉爾拉力撒凡恩. Владелец: 賀利氏諾伯燈具公司. Дата публикации: 2018-01-16.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION WITH FLASHES OF LIGHT, AND HEAT TREATMENT METHOD

Номер патента: US20130203269A1. Автор: YOKOUCHI Kenichi. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2013-08-08.

HEAT TREATMENT APPARATUS HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION WITH LIGHT

Номер патента: US20140212117A1. Автор: KUSUDA Tatsufumi. Владелец: . Дата публикации: 2014-07-31.

ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS, METHODS, AND APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATES AND REDUCING CONTAMINATION IN LOADLOCKS

Номер патента: US20180270910A1. Автор: NGUYEN ANDREW,Ng Edward,Wyatt Adam J.. Владелец: . Дата публикации: 2018-09-20.

Temperature control apparatus including groove-routed optical fiber heating, substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and processing methods

Номер патента: KR102163083B1. Автор: 레온 볼포브스키,매튜 부스케,벤델 주니어 보이드,드미트리 에이. 디질노,비제이 디. 파르케,미쉘 알. 라이스. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2020-10-07.

Heat treatment method and heat treatment apparatus for heating substrate by light irradiation

Номер патента: US8787741B2. Автор: Shinichi Kato. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2014-07-22.

Heat treatment apparatus for heating substrate by irradiation with flashes of light, and heat treatment method

Номер патента: US9449825B2. Автор: Kenichi Yokouchi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Heat treatment method and heat treatment apparatus for heating substrate by light irradiation

Номер патента: US20100273333A1. Автор: Shinichi Kato. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2010-10-28.

Temperature control apparatus including groove-routed optical fiber heating, substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and processing methods

Номер патента: US9986598B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Michael R. Rice,Wendell Boyd, JR.,Leon Volfovski,Dmitry A. Dzilno,Matthew Busche. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-29.

Temperature control apparatus including groove-routed optical fiber heating, substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and processing methods

Номер патента: WO2016003630A1. Автор: Vijay D. Parkhe,Michael R. Rice,Leon Volfovski,Dmitry A. Dzilno,Matthew Busche,Wendell Boyd Jr.. Владелец: APPLIED MATERIALS, INC. Дата публикации: 2016-01-07.

Substrate support with heater and rapid temperature change

Номер патента: US20120196242A1. Автор: Leon Volfovski,Mayur G. Kulkarni,Alex Minkovich. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-08-02.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20180103508A1. Автор: Katz Dan,Willwerth Michael D.,Panagopoulos Theodoros,Holland John,Matyushkin Alexander. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2018-04-12.

SUBSTRATE SUPPORT WITH QUADRANTS

Номер патента: US20150114948A1. Автор: CHOI Soo Young,PARK Beom Soo,KURITA Shinichi,FURUTA Gaku,TINER Robin L.,OH Bora. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-30.

TUNABLE TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20200152500A1. Автор: Guo Zhiqiang,BABAYAN Steven E.,PARKHE Vijay D.,MAROHL DAN A.,Sommer Phillip R.,Makhratchev Konstantin. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-14.

MULTI-PLANE HEATER FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20170167790A1. Автор: Gaff Keith William,PAPE Eric A.,WU Benny. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2017-06-15.

SUBSTRATE SUPPORT WITH QUADRANTS

Номер патента: US20170231033A1. Автор: CHOI Soo Young,PARK Beom Soo,KURITA Shinichi,FURUTA Gaku,TINER Robin L.,OH Bora. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-10.

Thin heating device

Номер патента: US20140253156A1. Автор: Mao-Yuan Lo. Владелец: A Data Technology Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-11.

Thin heating device

Номер патента: US9121897B2. Автор: Mao-Yuan Lo. Владелец: A Data Technology Co Ltd. Дата публикации: 2015-09-01.

Substrate support structure and method of forming the same

Номер патента: US20210360769A1. Автор: Shinji Kawai,Hidehiko Shimizu,Keitaroh NOZAWA. Владелец: Yazaki Corp. Дата публикации: 2021-11-18.

Heated substrate support

Номер патента: EP1476896A1. Автор: Emanuel Beer,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-11-17.

Method and tool for restricting substrate a support bead inside an opening formed in a substrate support

Номер патента: US20240297066A1. Автор: Songjae Lee,Liurui Li. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Substrate support with controlled sealing gap

Номер патента: US09543186B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci,Joel M. Huston. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Method of handling a substrate support structure in a lithography system

Номер патента: US20130234040A1. Автор: Hendrik Jan De Jong. Владелец: MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V.. Дата публикации: 2013-09-12.

Substrate support apparatus and vacuum processing apparatus

Номер патента: US20110286826A1. Автор: Tadashi Ikeda,Hiroshi Sone,Gen Goshokubo. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2011-11-24.

Substrate support with gas introduction openings

Номер патента: WO2010083271A2. Автор: Soo Young Choi,John M. White,Sam H. Kim,Beom Soo Park,Robin L. Tiner,Carl A. Sorensen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-07-22.

Substrate support, lithographic apparatus and loading method

Номер патента: US12032301B2. Автор: Johannes Onvlee,David Ferdinand VLES,Wim Symens,Antonius Franciscus Johannes De Groot. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2024-07-09.

Substrate supporting member, substrate treating apparatus including the same and substrate treating method thereof

Номер патента: US12040216B2. Автор: Kang Suk Lee,Hyeon Jun Lee,Yong Hoon HONG,So Young Jang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Substrate support, lithographic apparatus and loading method

Номер патента: US20190113853A1. Автор: Johannes Onvlee,David Ferdinand VLES,Wim Symens,Antonius Franciscus Johannes De Groot. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2019-04-18.

Low mass substrate support

Номер патента: EP4338199A1. Автор: Hui Chen,Zhiyuan Ye,Shu-Kwan LAU,Lori D. Washington,John Newman,Xinning Luan,Kirk Allen Fisher,James M. AMOS,Shawn Joseph Bonham,Philip Michael Amos,Aimee S. Erhardt. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-03-20.

Substrate support

Номер патента: EP1485946A1. Автор: Wendell T. Blonigan,Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Hung T. Nguyen,Toshio Kiyotake. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-12-15.

Substrate support apparatus and method for manufacturing substrate using the same

Номер патента: US20240258143A1. Автор: Dongwook Kim,Jewook KIM,Indeock HONG,Chansuk PARK,JaeKwang RYU. Владелец: Sunic System Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate support including multiple radio frequency (rf) electrodes

Номер патента: US20240321560A1. Автор: Yulin Peng,Jinrong ZHAO. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate support structure, vacuum drying device and vacuum drying method

Номер патента: US09903650B2. Автор: Dejiang Zhao. Владелец: BOE Technology Group Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-27.

Substrate processing apparatus, transfer method of substrate support, recording medium, and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: US20240249963A1. Автор: Naofumi Ohashi,Yukinori Aburatani. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and substrate support

Номер патента: US20230304149A1. Автор: Kenichi Suzaki,Yuma IKEDA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-09-28.

Substrate supporting units and substrate treating apparatuses including the same

Номер патента: US20130001213A1. Автор: Seungbae Lee,Wonhaeng Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-03.

Substrate support with edge seal

Номер патента: US20190326152A1. Автор: CHANG Ke,LEI Zhou,Cheng-Hsiung Tsai,David Langtry,Song-Moon Suh,Yuanhong Guo,Bonnie Chia. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-10-24.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240339305A1. Автор: Hajime Tamura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Method of processing a substrate support assembly

Номер патента: US09580806B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Wendell Glen BOYD, JR.,Sehn THACH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-28.

Plasma processing apparatus and substrate support body

Номер патента: US20240266154A1. Автор: Shinya Ishikawa,Daiki HARIU,Haruka ENDO,Miyuki AOYAMA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Substrate supporting apparatus and method of controlling substrate supporting apparatus

Номер патента: US12094754B2. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-09-17.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240339303A1. Автор: Makoto Kato,Takashi Kanazawa,Shin Yamaguchi,Daiki Satoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Rotating substrate support

Номер патента: US12106944B2. Автор: Yukihiro Mori. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-01.

Substrate support bushing

Номер патента: US09991153B2. Автор: Tao HOU. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-06-05.

Procédé de fabrication de deux substrats dits pseudo-substrats donneurs comprenant chacun au moins deux pavés sur un substrat support

Номер патента: FR3143840A1. Автор: Didier Landru,Catherine Maddalon,Odile MOUREY,Francois Xavier Darras. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-21.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3132788A1. Автор: Marcel Broekaart,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Vincent Larrey,Pablo Acosta Alba,Nadia Ben Mohamed,Franck Colas. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-08-18.

Overlapping substrate supports and pre-heat rings, and related process kits, processing chambers, methods, and components

Номер патента: WO2024167634A1. Автор: TAO Sheng,Hui Chen,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Chen-ying WU,NIMROD SMITH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-08-15.

Overlapping substrate supports and pre-heat rings, and related process kits, processing chambers, methods, and components

Номер патента: US20240274463A1. Автор: TAO Sheng,Hui Chen,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Chen-ying WU,NIMROD SMITH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-15.

Method of assembling substrate supporting apparatus

Номер патента: US20240261882A1. Автор: Kyu Tae Cho. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240212996A1. Автор: Naoyuki Satoh,Shu KUSANO,Toshiyuki ARAKANE,Hikaru KIKUCHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Procede de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin

Номер патента: EP4413613A1. Автор: Ionut Radu,Frederic Allibert,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-14.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20200365380A1. Автор: Takehiro Ueda,Jun Hirose. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-11-19.

Substrate support plate, substrate processing apparatus including the same, and substrate processing method

Номер патента: US20240363331A1. Автор: Seunghwan Lee,DaeYoun Kim,Jaehyun Kim. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-31.

Semiconductor substrate support leveling apparatus

Номер патента: US12131934B2. Автор: JIAN Li,David W. Groechel,Juan Carlos Rocha-Alvarez,Paul L. Brillhart,Paul E. Fisher,Chidambara A. Ramalingam,Katherine Woo,Dorothea Buechel-Rimmel,Shinnosuke KAWAGUCHI,Joseph J. Farah. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-29.

Substrate support with multi-piece sealing surface

Номер патента: US09916994B2. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Xiaoxiong Yuan,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Substrate support for use with multi-zonal heating sources

Номер патента: US09570328B2. Автор: Kailash Patalay,Errol Sanchez. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-14.

Plasma processing apparatus and substrate support of plasma processing apparatus

Номер патента: US11972933B2. Автор: Masahiro DOGOME. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3134229B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Marianne Coig. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-03-08.

Systems and methods for substrate support temperature control

Номер патента: US12062567B2. Автор: Satish Radhakrishnan,Rui CHENG,Karthik Janakiraman,Diwakar Kedlaya,Zubin HUANG,Badri N. RAMAMURTHI,Paul L. Brillhart,Venkatanarayana SHANKARAMURTHY,Anton V. Baryshnikov. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-13.

Substrate support and semiconductor manufacturing apparatus

Номер патента: US20130327274A1. Автор: Zempei Kawazu,Akihito Ohno. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-12-12.

Substrate supporting apparatus, substrate processing apparatus, substrate supporting method, control program of substrate supporting apparatus, and recording medium

Номер патента: US8340811B2. Автор: Majima Kazuyuki,Goshokubo Gen. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2012-12-25.

Substrate support assembly and substrate processing device including the same

Номер патента: US12107000B2. Автор: Jaemin Roh,JuIll Lee,GunYong Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-01.

Gas flow substrate supports, processing chambers, and related methods and apparatus, for semiconductor manufacturing

Номер патента: US20240363390A1. Автор: Hui Chen,Shawn Thomas,Xinning Luan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-31.

Gas flow substrate supports, processing chambers, and related methods and apparatus, for semiconductor manufacturing

Номер патента: WO2024226125A1. Автор: Hui Chen,Shawn Thomas,Xinning Luan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-10-31.

Substrate support and semiconductor manufacturing apparatus

Номер патента: US09824911B2. Автор: Zempei Kawazu,Akihito Ohno. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Substrate support with radio frequency (RF) return path

Номер патента: US09340866B2. Автор: Thanh X. Nguyen,Ananthkrishna Jupudi,Alan Ritchie,Kirankumar Savandaiah,Donny Young,Wei W. Wang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-05-17.

Procede de transfert d'une couche utile sur une face avant d'un substrat support

Номер патента: EP4399738A1. Автор: Nadia Ben Mohamed,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-07-17.

Substrate supports with mesochannel assemblies

Номер патента: US20240213081A1. Автор: Kevin Flynn,Spoorthi SUBRAMANYA,Shivakumara REVANNA,Chandrashekara Kuashik GANDUR BALAGANGADHARA,Muskaan JAIN,Santosh Kumar KRISHNA MURTHY. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate support apparatus

Номер патента: US20240222177A1. Автор: Yong Park. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Coated substrate support assembly for substrate processing

Номер патента: EP4367715A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-15.

Substrate supports including bonding layers with stud arrays for substrate processing systems

Номер патента: WO2021183279A1. Автор: Ann Erickson,Siyuan Tian. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-09-16.

Method for transporting a substrate with a substrate support

Номер патента: US20130064637A1. Автор: Martin Hosek. Владелец: Persimmon Technologies Corp. Дата публикации: 2013-03-14.

Substrate support system and method

Номер патента: EP1769102A2. Автор: Sidlgata V. Sreenivasan,Pawan K. Nimmakayala. Владелец: University of Texas System. Дата публикации: 2007-04-04.

Substrate support with improved process uniformity

Номер патента: US20240282551A1. Автор: Fangli Hao,Zhigang Chen,Yuehong Fu. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-22.

Substrate supporter

Номер патента: US20240321619A1. Автор: Minsung Kim,Jun Hyung Kim,Sangyeon OH,Yunjae Lee,Youngil KANG,Inhwan Park,Jihyeong LEE,Yonjoo Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: WO2024175519A1. Автор: Christophe Bommier,Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-08-29.

Procédé de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic polycristallin

Номер патента: FR3127627B1. Автор: Eric Guiot,Frederic Allibert. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-09.

Procédé de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic polycristallin

Номер патента: EP4409621A1. Автор: Eric Guiot,Frederic Allibert. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-07.

Procede de fabrication d'un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin

Номер патента: EP4406004A1. Автор: Hugo BIARD,Mélanie LAGRANGE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-07-31.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: FR3146236A1. Автор: Christophe Bommier,Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-08-30.

Substrate support assembly having a plasma resistant protective layer

Номер патента: US09916998B2. Автор: Jennifer Y. Sun,Senh Thach,Biraja P. Kanungo,Vahid Firouzdor. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-03-13.

Procede de transfert d’une couche utile sur une face avant d’un substrat support

Номер патента: FR3126809B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-10-25.

Substrate support assembly having metal bonded protective layer

Номер патента: US09685356B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Kadthala Ramaya Narendrnath. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Substrate support device

Номер патента: US09551071B2. Автор: Toshihiko Hanamachi,Daisuke Hashimoto,Yasuaki Ishioka. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Substrate support

Номер патента: US12148636B2. Автор: Masanori Takahashi,Shota Ezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-11-19.

Locally heated multi-zone substrate support

Номер патента: US09472434B2. Автор: Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

High flow vacuum chamber including equipment modules such as a plasma generating source, vacuum pumping arrangement and/or cantilevered substrate support

Номер патента: US5948704A. Автор: Neil Benjamin,Jon Hylbert,Stefano Mangano. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 1999-09-07.

Substrate support in a millisecond anneal system

Номер патента: US10734262B2. Автор: Joseph Cibere. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-04.

Substrate support, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US11929240B2. Автор: Takehiro Ueda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-12.

Substrate support in a millisecond anneal system

Номер патента: US11810802B2. Автор: Joseph Cibere. Владелец: Mattison Technology Inc. Дата публикации: 2023-11-07.

A programmable substrate support for a substrate system

Номер патента: WO1999050891A1. Автор: Richard E. Shultz. Владелец: Progressive System Technologies, Inc.. Дата публикации: 1999-10-07.

Substrate Support with Gas Introduction Openings

Номер патента: US20120149194A1. Автор: Soo Young Choi,John M. White,Sam H. Kim,Beom Soo Park,Robin L. Tiner,Carl A. Sorensen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-06-14.

Substrate support ring for more uniform layer thickness

Номер патента: WO2015009447A1. Автор: Lara Hawrylchak,Christopher S. Olsen,Heng Pan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2015-01-22.

Substrate supporting unit, and apparatus and method for polishing substrate using the same

Номер патента: US20100130105A1. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2010-05-27.

Substrate Support Structure and Method for maintaining a substrate clamped to a substrate support Structure

Номер патента: GB2469113A. Автор: Hendrik Jan De Jong. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2010-10-06.

Counter-balanced substrate support

Номер патента: WO2009061737A1. Автор: Dmitry Lubomirsky,Ellie Y. Yieh,Toan Q. Tran,Lun Tsuei,Manuel A. Hernandez,Kirby H. Floyd. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2009-05-14.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US11929272B2. Автор: Kenichi Suzaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-03-12.

Substrate support apparatus and substrate cleaning apparatus

Номер патента: US11766756B2. Автор: Mitsuru Miyazaki. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-09-26.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: US20210233790A1. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-07-29.

Substrate supporting edge ring with coating for improved soak performance

Номер патента: US20150187631A1. Автор: Joseph M. Ranish,Aaron Muir Hunter. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-07-02.

Substrate support with substrate heater and symmetric rf return

Номер патента: US20130001215A1. Автор: YU Chang,Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci,Anqing Cui,William W. Kuang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-01-03.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: WO2019213109A1. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-11-07.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: US11784075B2. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-10.

Tab arrangement for retaining support elements of substrate support

Номер патента: US20230402311A1. Автор: Yao-Hung Yang,Gaurav Shrivastava,Pavankumar Ramanand HARAPANHALLI,Fred Eric Ruhland. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-12-14.

Substrate support including multiple radio frequency (rf) electrodes

Номер патента: WO2024040522A1. Автор: Yulin Peng,Jinrong ZHAO. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co., Ltd.. Дата публикации: 2024-02-29.

Substrate support assembly, substrate support, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20230352280A1. Автор: Yuki AHIKO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-02.

Detection and analysis of substrate support and pre-heat ring in a process chamber via imaging

Номер патента: US20240145281A1. Автор: Hui Chen,Ashur J. Atanos,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Martin Jeffrey Salinas. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20230268216A1. Автор: Takahiko Sato,Tsutomu Nagai,Shinya Ishikawa,Keigo TOYODA,Daiki HARIU,Takafumi TSUDA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-24.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: US20240079264A1. Автор: Jeonggil KIM,Jonggu LEE,Hyeonjin Kim,Kyoungwhan OH. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-07.

A component of a substrate support assembly producing localized magnetic fields

Номер патента: WO2013039718A1. Автор: Sung Lee,Harmeet Singh,Brett Richardson,Keith Gaff. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2013-03-21.

Tab arrangement for retaining support elements of substrate support

Номер патента: WO2023244497A1. Автор: Yao-Hung Yang,Gaurav Shrivastava,Pavankumar Ramanand HARAPANHALLI,Fred Eric Ruhland. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-12-21.

Batch substrate support with warped substrate capability

Номер патента: US20190341286A1. Автор: Ananthkrishna Jupudi,Ribhu GAUTAM,Shashidhara Patel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-11-07.

Detection and analysis of substrate support and pre-heat ring in a process chamber via imaging

Номер патента: WO2024091304A1. Автор: Hui Chen,Ashur J. Atanos,Xinning Luan,Zhepeng Cong,Martin Jeffrey Salinas. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate support system for reduced autodoping and backside deposition

Номер патента: US7648579B2. Автор: Tony Keeton,Mike Halpin,Mark Hawkins,Robert Vyne,Paul Brabant,Matt G. Goodman,Jereon Stoutyesdijk,Ravinder Aggarwal,Lee Haen,Armand Ferro,Gregory M. Bartlett,Joseph P. Italiano,Bob Haro. Владелец: ASM America Inc. Дата публикации: 2010-01-19.

Substrate supporting table, substrate processing apparatus, and manufacture method for semiconductor device

Номер патента: US9786528B2. Автор: Masakazu Sakata. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-10-10.

Substrate support for processing a substrate, vacuum processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: WO2019096425A1. Автор: Reiner Hinterschuster,Anke Hellmich,Simon Lau. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-05-23.

Substrate support for reduced damage substrate backside

Номер патента: US11955362B2. Автор: Cheng-Hsiung Tsai,Gwo-Chuan Tzu,Joel M Huston. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-09.

Substrate support mechanism, substrate cleaning device and substrate processing method

Номер патента: US11948827B2. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue,Hisajiro NAKANO. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2024-04-02.

Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support location, lithographic apparatus and device manufacturing method

Номер патента: US20170192359A1. Автор: Mircea Dusa,Martinus Hendrikus Antonius Leenders,Martijn Houben,Thomas Poiesz,Abraham Alexander SOETHOUDT,Justin Johannes Hermanus Gerritzen,Johannes Gerardus Maria Mulder,Paul VAN DONGEN,Marco Adrianus Peter Van Den Heuvel,Niek Elout De Kruijf,Antonie Hendrik VER WEIJ. Владелец: Asml Holding Nv. Дата публикации: 2017-07-06.

Substrate support with varying depths of areas between mesas and corresponding temperature dependent method of fabricating

Номер патента: US20220380894A1. Автор: Ann Erickson,Keith Gaff,Devin Ramdutt. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2022-12-01.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: US20240105496A1. Автор: Yang Liu,Feng Liu,HUI Wang,Fuping CHEN,Xiaofeng Tao,Shena JIA,Haibo Hu. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2024-03-28.

Substrate support assembly

Номер патента: SG145633A1. Автор: Abhijit Desai,Christopher Richard Mahon,Robert T Hirahira. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2008-09-29.

Reducing temperature transition in a substrate support

Номер патента: US20180174879A1. Автор: Tao Zhang,Eric A. Pape,Ole Waldmann. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-06-21.

Esc substrate support with chucking force control

Номер патента: US20190067070A1. Автор: Wendell Glenn Boyd, JR.,Zhenwen Ding,Jim Zhongyi He. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-02-28.

Esc substrate support with chucking force control

Номер патента: WO2019046054A1. Автор: Zhenwen Ding,Jim Zhongyi He,Jr. Wendell Glenn Boyd. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-03-07.

Plasma processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20220415627A1. Автор: Akira Ishikawa,Ryota Nishi,Genki HIRATA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-29.

Apparatus, system, and method for non-contact temperature monitoring of substrate supports

Номер патента: US20230282500A1. Автор: Thomas Brezoczky,Kirankumar Neelasandra Savandaiah,Bhaskar PRASAD,Srinivasa Rao Yedla. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-09-07.

Method of mounting substrate support in chamber, method of dismounting substrate support and auxiliary transport tool

Номер патента: US10010987B2. Автор: Taku Hitomi,Miho MAJIMA. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-07-03.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3132788B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Marcel Broekaart,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Alba Pablo Acosta,Frédéric Mazen,Vincent Larrey,Franck Colas. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-05.

Substrate support assembly, plasma processing apparatus, and plasma processing method

Номер патента: US20230298865A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Masashi Ikegami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

A system, a lithographic apparatus, and a method for reducing oxidation or removing oxide on a substrate support

Номер патента: US20200150549A1. Автор: Nina Vladimirovna DZIOMKINA,Lucas Henricus Johannes Stevens,Johannes Adrianus Cornelis Maria Pijnenburg,Laura Maria FERNANDEZ DIAZ. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2020-05-14.

Procede de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin

Номер патента: FR3128057B1. Автор: Ionut Radu,Frederic Allibert,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-09-15.

Substrate support

Номер патента: US11791139B2. Автор: Yasuharu Sasaki,Shin Yamaguchi,Koei ITO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-17.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240038507A1. Автор: Satoshi Taga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-01.

Semiconductor substrate support leveling apparatus

Номер патента: US20220108907A1. Автор: JIAN Li,David W. Groechel,Juan Carlos Rocha-Alvarez,Paul L. Brillhart,Paul E. Fisher,Chidambara A. Ramalingam,Katherine Woo,Dorothea Buechel-Rimmel,Shinnosuke KAWAGUCHI,Joseph J. Farah. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-04-07.

Laminate body, method, and materials for temporary substrate support and support separation

Номер патента: EP2828883A1. Автор: Eric G. Larson,Wayne S. Mahoney,Blake R. Dronen. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-01-28.

Procédé de fabrication de deux substrats dits pseudo-substrats donneurs comprenant chacun au moins deux pavés sur un substrat support

Номер патента: WO2024134078A1. Автор: Didier Landru,Catherine Maddalon,Odile MOUREY,Francois Xavier Darras. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-06-27.

Electrical connector for a substrate support assembly

Номер патента: US20240235097A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate supporting device, a substrate processing apparatus including the same, and a substrate processing method using the same

Номер патента: US20240162017A1. Автор: Heewon MIN,Dongyun Yeo,Juho Kim,Songyun Kang,Kuihyun YOON,Seungbin LIM,Youngrok KWON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate support carrier having multiple ceramic discs

Номер патента: US20240249965A1. Автор: Glen T. Mori,Stephen Donald PROUTY,Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY,Jonathan Simmons,Anand Durairajan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-25.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138239B1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-21.

Process kit for a substrate support

Номер патента: US20190229007A1. Автор: Yu Lei,Avgerinos V. Gelatos,Vikash Banthia,Muhannad MUSTAFA,Muhammad M. Rasheed,Victor H. Calderon,Shi Wei Toh,Yung-Hsin Lee,Anindita Sen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-07-25.

Substrate support designs for a deposition chamber

Номер патента: US20210375658A1. Автор: Govinda Raj,Kaushik RAO,Anubhav Srivastava,Santhosh Kumar PILLAPPA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-12-02.

Procédé de fabrication d’un substrat donneur pour le transfert d’une couche piézoélectrique et procédé de transfert d’une couche piézoélectrique sur un substrat support

Номер патента: FR3131979A1. Автор: Marcel Broekaart,Thierry Barge,Morgane Logiou,Luciana Capello,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-07-21.

Substrate support carrier having multiple ceramic discs

Номер патента: WO2024155491A1. Автор: Glen T. Mori,Stephen Donald PROUTY,Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY,Jonathan Simmons,Anand Durairajan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-07-25.

Monolithic anisotropic substrate supports

Номер патента: US20240128062A1. Автор: Karl Leeser,Noah Elliot BAKER,Joel Hollingsworth,Stephen TOPPING,Ramkishan LINGAMPALLI. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-04-18.

Procede de preparation d'un substrat support muni d'une couche de piegeage de charges

Номер патента: EP4430653A1. Автор: Oleg Kononchuk,YoungPil Kim,Chee Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-09-18.

Cover ring, substrate support and lithographic apparatus

Номер патента: WO2024208491A1. Автор: Adrianus Johannes Petrus Maria Vermeer,Dirk-Jan Bijvoet,Erik Willem BOGAART,Gijs Kramer,Roland Petrus Hendrikus HANEGRAAF,Godefridus Walterus Henrica VAN DER VORST,Freek Hendricus Gerardus FENNIS. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate Support and Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20180374740A1. Автор: Takayuki Sato,Naoya Matsuura. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2018-12-27.

System and method to detect substrate and/or substrate support misalignment using imaging

Номер патента: US09959610B2. Автор: Schubert S. Chu,Leonid M. Tertitski,Zhepeng Cong,Shay Assaf,Kim R. Vellore. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-01.

Gas cooled substrate support for stabilized high temperature deposition

Номер патента: US09790589B2. Автор: Brian West,Jeonghoon Oh,Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-17.

Locally heated multi-zone substrate support

Номер патента: US09735037B2. Автор: Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate support temperature control

Номер патента: US8596336B2. Автор: Paul Brillhart,Richard Fovell,Jivko Dinev,Sang In Yi,Anisul H. Khan,Shane Nevil. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2013-12-03.

Substrate support with pressure zones having reduced contact area and temperature feedback

Номер патента: US5761023A. Автор: Shijian Li,Fred C. Redeker,Tetsuya Ishikawa,Brian Lue,Manus Wong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1998-06-02.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3132384B1. Автор: Mohamed Nadia Ben,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Helen Grampeix. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-12.

Procede de fabrication d’une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic poly-cristallin

Номер патента: FR3128056B1. Автор: Ionut Radu,Frederic Allibert,Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-10-27.

Procede de fabrication d’une structure adaptee pour les applications radiofrequences, et substrat support pour ladite structure

Номер патента: FR3119929B1. Автор: Isabelle Bertrand,Romain BOUVEYRON,Maël COCHE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-03.

Substrate supporting apparatus and substrate treating apparatus including the same

Номер патента: US20240038508A1. Автор: Hyung Joon Kim,Jong Gun Lee,So Hyung Jiong. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-01.

Substrate supporting plate, apparatus including the substrate supporting plate, and method of using same

Номер патента: US20230392278A1. Автор: Seungwoo Choi,YongMin Yoo,Sungbae Kim,Dongseok Kang,JongWon Shon. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-12-07.

Systems for controlling plasma density distribution profiles including multi-rf zoned substrate supports

Номер патента: US20230352272A1. Автор: Alexander Miller PATERSON,Juline Shoeb. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-11-02.

Substrate supporting and transferring apparatus, method of supporting and transferring substrate, and manufacturing method of display apparatus using the same

Номер патента: US20190139809A1. Автор: Sang-hyun Park,Sang-Joon HONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-05-09.

Substrate support assembly and substrate processing device including the same

Номер патента: US20230253238A1. Автор: Jaemin Roh,JuIll Lee,GunYong Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-08-10.

Coated substrate support assembly for substrate processing in processing chambers

Номер патента: US20240141488A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate support gap pumping to prevent glow discharge and light-up

Номер патента: WO2023114410A1. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Kenneth S. Collins,Michael R. Rice,James David Carducci,Silverst Antony RODRIGUES. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-06-22.

Procede de transfert d'une couche mince sur un substrat support

Номер патента: WO2023186595A1. Автор: Ben Mohamed Nadia,Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Marianne Coig. Владелец: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives. Дата публикации: 2023-10-05.

Coated substrate support assembly for substrate processing in processing chambers

Номер патента: WO2024091303A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-05-02.

Procede de transfert d’une couche mince sur un substrat support

Номер патента: FR3134229A1. Автор: Oleg Kononchuk,Didier Landru,Frédéric Mazen,Nadia Ben Mohamed,Marianne Coig. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-10-06.

Integrated electrode and ground plane for a substrate support

Номер патента: US12020912B2. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-25.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: WO2014082196A1. Автор: HUI Wang,Fuping CHEN,Wenjun Wang,Huaidong ZHANG. Владелец: ACM Research (Shanghai) Inc.. Дата публикации: 2014-06-05.

Substrat support en silicium adapte aux applications radiofrequences et procede de fabrication associe

Номер патента: EP4278374A1. Автор: Oleg Kononchuck,Christophe Maleville,YoungPil Kim,Isabelle Bertrand,Chee Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-22.

Coated substrate support assembly for substrate processing

Номер патента: WO2023282982A1. Автор: HAO WANG,Yi-Chiau Huang,Songjae Lee,David Jorgensen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-01-12.

Procede de fabrication d’un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin

Номер патента: FR3127330B1. Автор: Hugo BIARD,Mélanie LAGRANGE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-09-22.

Substrate supporting plate, thin film deposition apparatus including the same, and thin film deposition method

Номер патента: US11965262B2. Автор: Yong Min Yoo,Seung Woo Choi,Dong Seok Kang,Jong Won SHON. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-04-23.

Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements

Номер патента: WO2020061019A1. Автор: Siyuan Tian. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2020-03-26.

Spring-loaded seal cover band for protecting a substrate support

Номер патента: WO2024059276A1. Автор: Feng Wang,Slobodan Mitrovic,Darrell EHRLICH,Eric SAMULON,Yixuan Yu,Khoa Dang TRUONG,Behnam BEHZIZ,Roger LIE,Andra Yuting CHEN. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-03-21.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: WO2023186498A1. Автор: Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato,Pablo LEFEVRE. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2023-10-05.

Substrate support assembly for substrate treatment apparatus

Номер патента: US20230060570A1. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Ltd Deviceeng C. Дата публикации: 2023-03-02.

Adjustable thermal break in a substrate support

Номер патента: US11764041B2. Автор: Andreas Schmid,Stephen Donald PROUTY,Alvaro Garcia de Gorordo,Andrew Antoine NOUJAIM,Daniel Sang BYUN. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-09-19.

Substrate support with improved process uniformity

Номер патента: US11984296B2. Автор: Fangli Hao,Zhigang Chen,Yuehong Fu. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-05-14.

Substrate support for chucking of mask for deposition processes

Номер патента: US11967516B2. Автор: Jun Li,Tae Kyung Won,Shouqian Shao,Jrjyan Jerry Chen,Sanjay D. Yadav,Surendra Kanimihally SETTY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-04-23.

Substrate supporting plate, thin film deposition apparatus including the same, and thin film deposition method

Номер патента: US20240158942A1. Автор: Yong Min Yoo,Seung Woo Choi,Dong Seok Kang,Jong Won SHON. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-05-16.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: FR3134234B1. Автор: Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato,Pablo LEFEVRE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-02-23.

Substrate supporting member and substrate processing apparatus including same

Номер патента: US20220406577A1. Автор: Sang Kee LEE. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-12-22.

Substrate supports including metal-ceramic interfaces

Номер патента: US20200173017A1. Автор: JIAN Li,Juan Carlos Rocha,Chidambara A. Ramalingam,Katty Marie Lydia Gamon GUYOMARD,Joseph M. POLESE. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-06-04.

Substrate support assembly having a plasma resistant protective layer

Номер патента: WO2014089244A1. Автор: Jennifer Y. Sun,Senh Thach,Biraja P. Kanungo,Vahid Firouzdor. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-06-12.

Substrate support device

Номер патента: US20150376783A1. Автор: Toshihiko Hanamachi,Daisuke Hashimoto,Yasuaki Ishioka. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2015-12-31.

Substrate support device and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20230377932A1. Автор: Dongchan Lee,Su Hyung Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Substrate supporting member and substrate processing apparatus including same

Номер патента: US20190115194A1. Автор: Sang Kee LEE. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2019-04-18.

Substrate supports, semiconductor processing systems, and material layer deposition methods

Номер патента: US20230386874A1. Автор: Xing Lin,Wentao Wang,Junwei Su,Shujin Huang. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-11-30.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: US20190311938A1. Автор: HUI Wang,Jun Wu,Fuping CHEN,Wenjun Wang,Fufa Chen,Zhiyou Fang. Владелец: ACM Research Shanghai Inc. Дата публикации: 2019-10-10.

Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support

Номер патента: US11810800B2. Автор: Hiroyuki Nakayama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-07.

Structure composite comprenant une couche mince monocristalline sur un substrat support en carbure de silicium poly-cristallin et procede de fabrication associe

Номер патента: FR3134234A1. Автор: Alexandre Potier,Hugo BIARD,Marc Ferrato,Pablo LEFEVRE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-10-06.

Substrate supporting apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230030470A1. Автор: Ryo SHINOZAKI. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2023-02-02.

Shadow ring alignment for substrate support

Номер патента: US20240203703A1. Автор: Vinayakaraddy GULABAL,Ravi Vellanki,Gary B. Lind,Andrew Paul EIB. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate support designs for a deposition chamber

Номер патента: WO2020086122A1. Автор: Govinda Raj,Kaushik RAO,Anubhav Srivastava,Santhosh Kumar PILLAPPA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-04-30.

Substrate support assembly for substrate treatment apparatus

Номер патента: US20230062042A1. Автор: Taek Youb Lee. Владелец: Deviceeng Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-02.

Procédé d’amincissement d’une structure composite portée par un substrat support SiC polycristallin, à gondolement réduit

Номер патента: FR3139410A1. Автор: Walter Schwarzenbach,Séverin Rouchier,Sylvain MONNOYE. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-03-08.

Substrate support unit, and apparatus and method for depositing a layer using the same

Номер патента: US20240063051A1. Автор: Klaus MÜNDLE,Andreas Mark,Florian HAGMANN. Владелец: EVATEC AG. Дата публикации: 2024-02-22.

Procédé de fabrication d'un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: WO2024018149A1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-01-25.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US11935729B2. Автор: Yasuharu Sasaki,Hajime Tamura,Shin Yamaguchi,Katsuyuki Koizumi,Tsuguto SUGAWARA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-19.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138239A1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-26.

Substrate support assemblies having internal shaft areas with isolated environments that mitigate oxidation

Номер патента: WO2023064299A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-04-20.

Procede de preparation d’un substrat support muni d’une couche de piegeage de charges

Номер патента: FR3129028B1. Автор: ISHII Masato,Oleg Kononchuk,YoungPil Kim,Chee Hoe WONG,Zang KEYAN,Chien Shen Kuan,Hoe Tan Seng. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-11-10.

Slip ring for use in rotatable substrate support

Номер патента: US20180358768A1. Автор: YU Chang,Muhannad MUSTAFA,Muhammad M. Rasheed,William Kuang,Xiping Huo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-12-13.

Procede de preparation d’un substrat support muni d’une couche de piegeage de charges

Номер патента: FR3129029B1. Автор: Oleg Kononchuk,YoungPil Kim,Chee Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2023-09-29.

Procédé d'amincissement d'une structure composite portée par un substrat support sic polycristallin, à gondolement réduit

Номер патента: WO2024052619A1. Автор: Walter Schwarzenbach,Séverin Rouchier,Sylvain MONNOYE. Владелец: SOITEC. Дата публикации: 2024-03-14.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138240A1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-26.

Edge ring assembly for a substrate support in a plasma processing chamber

Номер патента: US20200066495A1. Автор: Hamid Noorbakhsh,Anwar Husain,Reyn Wakabayashi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-02-27.

Substrate support unit and plasma processing apparatus

Номер патента: US20230215708A1. Автор: Dongchan Lee,Jaekyung LEE,Jiseok Kim,Jehee Lee,Kiryong Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-07-06.

Substrate supporting apparatus, substrate processing system including the same, and manufacturing method thereof

Номер патента: US20240038492A1. Автор: Youngkwon KIM,Jaehyun Kim,Jonghyun Lee,Kiyong Kim,Hyungjoon Kim,Iljun Jeon,Hee Jong Jeong,Yoodong YANG,Minsuck Yoo. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-02-01.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240194457A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Hajime Tamura,Shin Yamaguchi,Katsuyuki Koizumi,Tsuguto SUGAWARA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240194458A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Hajime Tamura,Shin Yamaguchi,Katsuyuki Koizumi,Tsuguto SUGAWARA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate support device

Номер патента: US20220246459A1. Автор: Atsushi Kobayashi,Wataru Omuro. Владелец: Kelk Ltd. Дата публикации: 2022-08-04.

Procédé de fabrication d’un substrat support pour application radiofréquences

Номер патента: FR3138240B1. Автор: Young-Pil Kim,Chee-Hoe WONG. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-14.

Semiconductor Device and Method of Forming Thin Heat Sink Using E-Bar Substrate

Номер патента: US20240021490A1. Автор: Jongtae Kim. Владелец: Stats Chippac Pte Ltd. Дата публикации: 2024-01-18.

Substrate support with surface feature for reduced reflection and manufacturing techniques for producing same

Номер патента: US09814099B2. Автор: Joseph M. Ranish,Paul Brillhart,Mehmet Tugrul Samir,Shu-Kwan LAU. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-11-07.

OPTICALLY HEATED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY WITH REMOVABLE OPTICAL FIBERS

Номер патента: US20170303338A1. Автор: PARKHE Vijay D.. Владелец: . Дата публикации: 2017-10-19.

Substrate support pin and substrate support device adopting substrate support pin

Номер патента: EP2840601B1. Автор: Liang Sun,Shoukun WANG. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-11-11.

Substrate support pin and substrate support device adopting substrate support pin

Номер патента: EP2840601A4. Автор: Liang Sun,Shoukun WANG. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-01-06.

SUPPORTING SUBSTRATE, SUPPORTING SUBSTRATE-ATTACHED LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING A PACKAGE SUBSTRATE FOR MOUNTING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20190181000A1. Автор: Kato Yoshihiro,Ogashiwa Takaaki,HIRANO Syunsuke,KAWASHITA Kazuaki,NAKAJIMA Youichi. Владелец: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.. Дата публикации: 2019-06-13.

Substrate support, substrate processing apparatus, substrate processing system, and method of detecting erosion of adhesive in substrate support

Номер патента: US20200185204A1. Автор: Takehiro Ueda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-06-11.

SUPPORTING SUBSTRATE, SUPPORTING SUBSTRATE-ATTACHED LAMINATE AND METHOD FOR MANUFACTURING A PACKAGE SUBSTRATE FOR MOUNTING A SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20210257207A1. Автор: Kato Yoshihiro,Ogashiwa Takaaki,HIRANO Syunsuke,KAWASHITA Kazuaki,NAKAJIMA Youichi. Владелец: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.. Дата публикации: 2021-08-19.

Apparatus for heating substrate and method thereof

Номер патента: US20220078888A1. Автор: Takahisa Mase. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-10.

Apparatus for heating substrate and heater block

Номер патента: KR101809141B1. Автор: 이성용,김태준,지상현,윤두영. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2018-01-19.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20190027392A1. Автор: Tsai Fei-Gwo,Liao Chi-Hung,YANG Yueh Lin. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-24.

MOVABLE GROUND RING FOR MOVABLE SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY OF A PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20160050781A1. Автор: Dhindsa Rajinder,Kellogg Michael C.,Marakhtanov Alexei. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2016-02-18.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US20200152429A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Shingo Koiwa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-14.

SUBSTRATE SUPPORT CHUCK COOLING FOR DEPOSITION CHAMBER

Номер патента: US20140268479A1. Автор: West Brian,Hirahara Robert,Parkhe Vijay,DEYO DAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

Thin heat pipe structure and manufacturing method thereof

Номер патента: US09802240B2. Автор: Hsiu-Wei Yang. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-31.

Trim and deposition profile control with multi-zone heated substrate support for multi-patterning processes

Номер патента: US12071689B2. Автор: Ravi Kumar,Adrien Lavoie,Pulkit Agarwal,Ramesh Chandrasekharan,Michael Philip Roberts,Nuoya YANG,Chan Myae Myae SOE,Ashish Saurabh. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-27.

Riveting apparatus for thin heat sink fin and thin cover plate

Номер патента: US20210389059A1. Автор: Tsung-Hsien Huang. Владелец: Dong Guan Han Xu Hardware & Plastic Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-16.

Substrate support structures and methods of making substrate support structures

Номер патента: US20230013637A1. Автор: Hong Gao,Joaquin Aguilar SANTILLAN,Shanker KUTTATH. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-01-19.

Automated temperature controlled substrate support

Номер патента: WO2022256138A1. Автор: Robert Hartwig,Brian T. West,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-12-08.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: US20240258075A1. Автор: Matthew James Busche,Wendell Glenn Boyd, JR.,Govinda Raj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-01.

Piezoelectric actuator, actuator system, substrate support, and lithographic apparatus including the actuator

Номер патента: US20210318624A1. Автор: Hans Butler,Bas JANSEN,Alexander Pascal DIJKSHOORN. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-10-14.

Heating a substrate support in a substrate handling chamber

Номер патента: EP1097111A1. Автор: Emanuel Beer,Duoyan Shen,Eitan Zohar,Marc M. Kollrack. Владелец: Beer Emanuel. Дата публикации: 2001-05-09.

Substrate support

Номер патента: US20240282649A1. Автор: Yoshihiro Yamada,Ryuma Mizusawa,Yubun Kikuchi. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-22.

Full-area counter-flow heat exchange substrate support

Номер патента: WO2017192265A1. Автор: John M. White. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2017-11-09.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: US20230253188A1. Автор: Matthew James Busche,Wendell Glenn Boyd, JR.,Govinda Raj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate support with real time force and film stress control

Номер патента: US11915913B2. Автор: Matthew James Busche,Wendell Glenn Boyd, JR.,Govinda Raj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-02-27.

Automated temperature controlled substrate support

Номер патента: US11981989B2. Автор: Robert Hartwig,Brian T. West,Dinkesh HUDERI SOMANNA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-14.

Temperature controlled substrate support assembly

Номер патента: US20170110298A1. Автор: Henry Povolny,Anthony Ricci. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-04-20.

Method of mounting wires to substrate support ceramic

Номер патента: US20230253192A1. Автор: Quan Chau,Oleksandr MIKHNENKO. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate support having dynamic temperature control

Номер патента: US20110262315A1. Автор: Robert J. Steger. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2011-10-27.

Substrate support device for a reaction chamber of an epitaxial reactor with gas flow rotation, reaction chamber and epitaxial reactor

Номер патента: EP4065747A1. Автор: Maurilio Meschia,Silvio PRETI. Владелец: LPE SpA. Дата публикации: 2022-10-05.

Heating a substrate support in a substrate handling chamber

Номер патента: WO2000002824A1. Автор: Emanuel Beer,Duoyan Shen,Eitan Zohar,Marc M. Kollrack. Владелец: Applied Komatsu Technology, Inc.. Дата публикации: 2000-01-20.

Ultra-thin heat pipe and manufacturing method of the same

Номер патента: US12066256B2. Автор: Jen-Chih CHENG. Владелец: Cooler Master Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-20.

Multi-channel thin heat exchanger and manufacturing method of the same

Номер патента: US20230296333A1. Автор: Jen-Chih CHENG. Владелец: Cooler Master Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-21.

HANDHELD COMMUNICATION DEVICE AND THIN HEAT DISSIPATING STRUCTURE THEREOF

Номер патента: US20190254190A1. Автор: SHIAU Fuh-Yuarn,KUO Chao-Chen. Владелец: . Дата публикации: 2019-08-15.

Process for electrodeposition of copper chip to chip, chip to wafer and wafer to wafer interconnects in through-silicon vias (tsv) with heated substrate and cooled electrolyte

Номер патента: EP2611950A1. Автор: Robert F. Preisser. Владелец: Atotech Deutschland GmbH and Co KG. Дата публикации: 2013-07-10.

Process for electrodeposition of copper chip to chip, chip to wafer and wafer to wafer interconnects in through-silicon vias (tsv) with heated substrate and cooled electrolyte

Номер патента: WO2012014029A1. Автор: Robert F. Preisser. Владелец: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH. Дата публикации: 2012-02-02.

Method for Using Heated Substrates for Process Chemistry Control

Номер патента: US20160372327A1. Автор: Hirokazu Ueda,Peter L.G. Ventzek. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-12-22.

Heat treatment apparatus and heat treatment method for heating substrate by irradiating substrate with flash of light

Номер патента: US20130260546A1. Автор: Takahiro Yamada,Kenichi Yokouchi. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2013-10-03.

Radiant heat substrate and method for manufacturing of radiant heat substrate

Номер патента: KR20140050957A. Автор: 이영기,김광수,홍창섭,서범석,채준석. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2014-04-30.

Radiant heat substrate and method for manufacturing of radiant heat substrate

Номер патента: KR101443967B1. Автор: 이영기,김광수,홍창섭,서범석,채준석. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2014-09-23.

Electrostatic chuck, substrate support, and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240186917A1. Автор: Yasuharu Sasaki,Masashi Shimoda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Method for forming an electronic device on a flexible substrate supported by a detachable carrier

Номер патента: US09627420B2. Автор: Roger Stanley Kerr,Timothy John Tredwell. Владелец: Carestream Health Inc. Дата публикации: 2017-04-18.

Process for electrodeposition of copper chip to chip, chip to wafer and wafer to wafer interconnects in through-silicon vias (tsv) with heated substrate and cooled electrolyte

Номер патента: US20120024713A1. Автор: Robert F. Preisser. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-02-02.

Method for Using Heated Substrates for Process Chemistry Control

Номер патента: US20160372327A1. Автор: Ventzek Peter L.G.,Ueda Hirokazu. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-22.

PROCESS FOR PRODUCING TRANSPARENT STANNIC OXIDE FILMS ON A HEATED SUBSTRATE, THEIR USE FOR PRODUCING PRODUCTS COMPRISING SUCH FILM AND APPARATUS FOR CARRYING OUT SAID METHOD

Номер патента: FR2439240A1. Автор: . Владелец: GORDON Roy Gerald. Дата публикации: 1980-05-16.

Apparatus and method for heating substrate of semiconductor process

Номер патента: KR100217486B1. Автор: 엔. 앤더슨 로저,이. 디콘 토마스,케이. 칼슨 데이비드. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스 인코포레이티드. Дата публикации: 1999-09-01.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20190088520A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20200118861A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE EMBEDDED ELECTRODES

Номер патента: US20210183681A1. Автор: Cho Jaeyong,Chua Thai Cheng,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

Special pattern of paths diagram of the heater that covers a thin heating plate for high temperature uniformity

Номер патента: RU2658622C1. Автор: Нури Гокхан КОРКУСУЗ,БОЯДЖЫ Бирдже ГУЛЕДЖ. Владелец: Аселсан Электроник Санайи Ве Тиджарет Аноним Ширкети. Дата публикации: 2018-06-22.

Ultra-thin heating device

Номер патента: US20230247728A1. Автор: Jingnong Ye,Xinhua Tan,Shifa Luo. Владелец: Guangdong Willing Technology Corp. Дата публикации: 2023-08-03.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20170263422A1. Автор: TINER Robin L.,STERLING William Norman,OCHSNER Timothy Stuart,WILLEY Jonathan R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-14.

Substrate support with ceramic insulation

Номер патента: WO2013133983A4. Автор: Soo Young Choi,John M. White,Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Robin L. Tiner,Gaku Furuta. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-31.

Surface topologies of electrostatic substrate support for particle reduction

Номер патента: US20240203705A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate support device

Номер патента: US20230256551A1. Автор: Hyun-Sang Hwang,Sang-Jean Jeon. Владелец: Tes Co Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Surface topologies of electrostatic substrate support for particle reduction

Номер патента: WO2024129175A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20240258083A1. Автор: Makoto Kato,Ryoma Muto,Kaisei SUGA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Alumina Substrate Supported Solid Oxide Fuel Cells

Номер патента: US20190123362A1. Автор: Ren Chunlei,Xingjian Xue. Владелец: UNIVERSITY OF SOUTH CAROLINA. Дата публикации: 2019-04-25.

Power and data transmission to substrate support in plasma chambers via optical fiber

Номер патента: US20220247492A1. Автор: Changyou Jing,Fred Egley. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2022-08-04.

Substrate support and plasma processing apparatus

Номер патента: US11705302B2. Автор: Dai Kitagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-18.

Substrate support with radio frequency (rf) return path

Номер патента: WO2013184378A1. Автор: Vijay D. Parkhe,Ryan Hanson. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-12-12.

Systems and methods for substrate support temperature control

Номер патента: US11981998B2. Автор: JIAN Li,Rui CHENG,Zubin HUANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-14.

Systems and methods for substrate support temperature control

Номер патента: US20240229240A1. Автор: JIAN Li,Rui CHENG,Zubin HUANG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate supporting unit, apparatus for treating substrate including the same, and ring transfer method

Номер патента: US20240153747A1. Автор: Jae-Won Shin. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Semiconductor substrate support power transmission components

Номер патента: WO2022081354A1. Автор: JIAN Li,Matthew Miller,Paul L. Brillhart,Katherine Woo,Shinnosuke KAWAGUCHI. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-04-21.

Substrate support and substrate processing apparatus

Номер патента: US20210159057A1. Автор: Chishio Koshimizu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-05-27.

Sheathed heater and substrate support device including the same

Номер патента: US20240032156A1. Автор: Daisuke Fujino,Jun Futakuchiya,Yuki Tani,Naoya Kida. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-25.

Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

Номер патента: US12050112B2. Автор: Nick Ray Linebarger, JR.,Mark E. Emerson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-07-30.

Rf voltage sensor incorporating multiple voltage dividers for detecting rf voltages at a pickup device of a substrate support

Номер патента: US20190051497A1. Автор: John Drewery,Alex Paterson,Maolin Long. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2019-02-14.

Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

Номер патента: WO2020142367A1. Автор: Nick Ray Linebarger, JR.,Mark E. Emerson. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2020-07-09.

Reactive cleaning of substrate support

Номер патента: US11772137B2. Автор: Xi Chen,Cheng-Hsiung Tsai,Thomas Blasius Brezoczky,Sheng Guo,Shreesha Yogish Rao,Chi H. Ching. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-03.

Power and data transmission to substrate support in plasma chambers via optical fiber

Номер патента: US11901944B2. Автор: Changyou Jing,Fred Egley. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-02-13.

Process kit for a substrate support

Номер патента: WO2024015187A1. Автор: Yu Lei,Avgerinos V. Gelatos,Vikash Banthia,Muhannad MUSTAFA,Muhammad M. Rasheed,Victor H. Calderon,Shi Wei Toh,Yung-Hsin Lee,Anindita Sen. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-01-18.

Sheath heater and substrate support device including same

Номер патента: EP4319483A1. Автор: Daisuke Fujino,Jun Futakuchiya,Yuki Tani,Naoya Kida. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-07.

Distance measurement between gas distribution device and substrate support at high temperatures

Номер патента: US20200217657A1. Автор: Nick Ray Linebarger, JR.,Mark E. Emerson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-07-09.

Thin heat sink structure

Номер патента: US20210321536A1. Автор: I-Ming Liu. Владелец: Thermasol Technology Co ltd. Дата публикации: 2021-10-14.

Thin heat dissipation device and method for manufacturing the same

Номер патента: US11974411B2. Автор: Ke Chin Lee. Владелец: Individual. Дата публикации: 2024-04-30.

Method and apparatus for placing substrate support components

Номер патента: WO2009102513A2. Автор: Steven R. Foster,Joseph A. Perault. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC.. Дата публикации: 2009-08-20.

Method and apparatus for placing substrate support components

Номер патента: EP2248407A2. Автор: Steven R. Foster,Joseph A. Perault. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC. Дата публикации: 2010-11-10.

Substrate support body, substrate support structure, light-emitting device, and lamp

Номер патента: EP4145044A1. Автор: Kazuhiro Okamoto,Yoshihide Okawa,Sentarou Yamamoto,Yuhei MATSUMOTO. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2023-03-08.

Substrate support body, substrate support structure, light emitting device, and lighting fixture

Номер патента: US20230160560A1. Автор: Kazuhiro Okamoto,Yoshihide Okawa,Sentarou Yamamoto,Yuhei MATSUMOTO. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2023-05-25.

Substrate supporting device and screen printer

Номер патента: EP2213454A3. Автор: Yoshio Tomizawa,Noboru Nishi,Kazuhiro Hineno,Ryuichi Komatsu. Владелец: Hitachi High Tech Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2012-01-18.

Substrate support structure

Номер патента: US20110234032A1. Автор: Hideyuki Takahashi,Kaoru Tanaka,Kazuaki Mori,Yuki Hayakawa,Tomohiro Kaeabata. Владелец: Calsonic Kansei Corp. Дата публикации: 2011-09-29.

Method and apparatus for adjusting a substrate support

Номер патента: US20080250951A1. Автор: Ronald J. Forget,John G. Klauser. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC. Дата публикации: 2008-10-16.

Method and apparatus for adjusting a substrate support

Номер патента: EP2144755A1. Автор: Ronald J. Forget,John G. Klauser. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC. Дата публикации: 2010-01-20.

Method and apparatus for adjusting a substrate support

Номер патента: WO2008127825A1. Автор: Ronald J. Forget,John G. Klauser. Владелец: ILLINOIS TOOL WORKS INC.. Дата публикации: 2008-10-23.

Circuit substrate supporting structure

Номер патента: US5168428A. Автор: Yuji Suzuki. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1992-12-01.

CONTINUOUS MANUFACTURING PROCESS OF THIN HEAT CONDUCTING SHEETS CARRYING LAYERS OF INSULATING VARNISH AND PRESENTING ELECTRICAL CONTACT AREAS, AND INSTALLATION FOR ITS IMPLEMENTATION

Номер патента: BE762981A. Автор: Plansee A.G. Metallwerk. Владелец: Metallwerk Plansee A G & Co K. Дата публикации: 1971-07-16.

Plasma Reactor Having Radial Struts for Substrate Support

Номер патента: US20190085467A1. Автор: Shahid Rauf,Kartik Ramaswamy,Kenneth S. Collins,Andrew Nguyen,Ajit Balakrishna,Douglas A. Buchberger, Jr.,Richard Fovell,Ankur Agarwal,Jason A. Kenney,James D. Carducci,Leonid Dorf. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-21.

THIN HEATED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20170040192A1. Автор: YOUSIF IMAD,SALINAS MARTIN JEFFREY,Lee Jared Ahmad,Reuter Paul B.,Pal Aniruddha. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-09.

Heated substrate support

Номер патента: TWI276771B. Автор: Emanuel Beer,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-03-21.

Heated substrate support

Номер патента: TW200302913A. Автор: Emanuel Beer,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-08-16.

Electrostatic heating substrate holder which is polarised at high voltage

Номер патента: US09922856B2. Автор: Frank Torregrosa,Laurent Roux. Владелец: Ion Beam Services SA. Дата публикации: 2018-03-20.

Substrate temperature control apparatus including optical fiber heating, substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and methods

Номер патента: US09698041B2. Автор: Vijay D. Parkhe,Michael R. Rice,Wendell Boyd, JR.,Leon Volfovski,Matthew Busche. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-07-04.

Apparatus and method for enhancing the cool down of radiatively heated substrates

Номер патента: US09640412B2. Автор: Joseph M. Ranish,Wolfgang Aderhold,Blake R. Koelmel. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-05-02.

Adjustable substrate support and adjustment method

Номер патента: US20210066114A1. Автор: Ching-Hua Chen,Kai-Fa Ho. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2021-03-04.

Substrate support device and substrate cleaning device including the same

Номер патента: US11302540B2. Автор: Kyeong bin LIM,Jong Keun OH,Byung Gook Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2022-04-12.

Substrate supporter, substrate processing apparatus, method of measuring temperature, method of manufacturing semiconductor device and recording medium

Номер патента: US20240234187A1. Автор: Hitoshi Murata,Masaaki Ueno,Takayuki Nakada. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate type sensor for measuring horizontality of substrate support member provided in atmosphere accompanied by temperature change, method for measuring horizontality of substrate support member by using the same, and non-transitory computer readable medium

Номер патента: US12061097B2. Автор: Sang Min Lee,Young Seop CHOI,Hwan Bin Kim,Jong Hyeon WOO,Sang Hyun Son,Yong-jun Seo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT RING

Номер патента: US20140103027A1. Автор: Miller Keith A.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-04-17.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH THERMAL BAFFLES

Номер патента: US20210050234A1. Автор: RUHLAND Fred Eric,PATANKAR Sumit S.. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

HEATED SUBSTRATE SUPPORT WITH FLATNESS CONTROL

Номер патента: US20140251214A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-11.

Extreme uniformity heated substrate support assembly

Номер патента: US20190371577A1. Автор: Vijay D. Parkhe,Dmitry Lubomirsky,Justin Wang,Mehmet Tugrul Samir,Kirby H. Floyd,David Benjaminson,Onkara Swamy KORA SIDDARAMAIAH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-12-05.

Heated substrate support assembly and method

Номер патента: WO2002009162A3. Автор: Bryan Pu,Claes Björkman,Hamid Noorbakhsh,Kenny Doan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2002-06-13.

Heated substrate support and method of fabricating same

Номер патента: KR20070042469A. Автор: 존 엠. 화이트. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2007-04-23.

Extremely even heating substrate supporting component

Номер патента: CN112088427A. Автор: J·王,D·卢博米尔斯基,D·本杰明森,M·T·萨米尔,V·D·帕科,K·H·弗劳德,O·S·科拉西德达拉玛雅. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-12-15.

Extreme uniformity heated substrate support assembly

Номер патента: JP2022020732A. Автор: LUBOMIRSKY DMITRY,Benjaminson David,Wang Justin,ドミトリールボミルスキー，,デーヴィッドベンジャミンソン，,ヴィジェイディー．パーケ，,D Parkhe Vijay,シッダラマイアー，オンカラスワミーコラ,Swamy Kora Siddaramaiah Onkara,カービィエイチ．フロイド，,h floyd Kirby,ジャスティンワン，,メフメトトゥグリルサミール，,Tugrul Samir Mehmet. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-02-01.

Heated substrate support

Номер патента: WO2004034444A1. Автор: Akihiro Hosokawa,Makoto Inagawa. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2004-04-22.

Heated substrate support and method of fabricating same

Номер патента: US20070090516A1. Автор: John White. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-04-26.

Extreme uniformity heated substrate support assembly

Номер патента: KR20220163508A. Автор: 드미트리 루보미르스키,데이비드 벤자민슨,커비 에이치. 플로이드,메흐메트 투그룰 사미르,비제이 디. 파케,저스틴 왕,온카라 스와미 코라 시다라마이아. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2022-12-09.

Heated substrate support assembly and method

Номер патента: TW557532B. Автор: Bryan Pu,Claes Björkman,Hamid Noorbakhsh,Kenny Doan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-10-11.

Substrate support assembly

Номер патента: US20240332058A1. Автор: Sathiyamurthi GOVINDASAMY,Suresh PALANISAMY,Harish Penmethsa. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-03.

Substrate support assembly

Номер патента: WO2024205755A1. Автор: Sathiyamurthi GOVINDASAMY,Suresh PALANISAMY,Harish V. PENMETHSA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-10-03.

Electronic device manufacturing systems, methods, and apparatus for heating substrates and reducing contamination in loadlocks

Номер патента: WO2018169710A1. Автор: Andrew Nguyen,Adam J. WYATT,Edward Ng. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2018-09-20.

Substrate support having customizable and replaceable features for enhanced backside contamination performance

Номер патента: US20200066570A1. Автор: John Baggett,Dave Shaner. Владелец: Axcelis Technologies Inc. Дата публикации: 2020-02-27.

Heat treatment method and heat treatment apparatus for heating substrate by irradiating substrate with light

Номер патента: US09920993B2. Автор: Tatsufumi Kusuda,Kazuyuki Hashimoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-20.

Heat treatment method for heating substrate by irradiating substrate with flash of light

Номер патента: US09875919B2. Автор: Hiroki Kiyama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-23.

Heat treatment apparatus and heat treatment method for heating substrate by irradiating substrate with flash of light

Номер патента: US09607870B2. Автор: Hiroki Kiyama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-28.

Substrate support device, display panel manufacturing apparatus and substrate support method

Номер патента: EP3489992A1. Автор: Gu Yao,Yu Wang,Qinghua Zou,Ruhui Zhu,Shupeng GUO,Tingyuan DUAN. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-29.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: US11915950B2. Автор: Dmitry Lubomirsky,Peter Hillman,Soonam Park,Mehmet Tugrul Samir,Dongqing Yang,Martin Yue Choy,Lala Zhu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-02-27.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: US20180337074A1. Автор: Dmitry Lubomirsky,Peter Hillman,Soonam Park,Mehmet Tugrul Samir,Dongqing Yang,Martin Yue Choy,Lala Zhu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-11-22.

Substrate support device and substrate cleaning device including the same

Номер патента: US20190221451A1. Автор: Kyeong bin LIM,Jong Keun OH,Byung Gook Kim. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-07-18.

Substrate support, substrate processing unit and substrate supporting method

Номер патента: TW200805558A. Автор: Osamu Tsuda,Fumihiro Kamimura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-01-16.

Substrate support, load-lock chamber for transferring substrates and methods for aligning a substrate on a substrate support

Номер патента: TWI279876B. Автор: Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Wendell T Blonigan,Toshio Kiyotake,Hung T Nguyen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-04-21.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: US12112971B2. Автор: Ian BENSCO. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-08.

Substrate processing system having susceptorless substrate support with enhanced substrate heating control

Номер патента: US09682398B2. Автор: Joseph M. Ranish,Kailash Patalay. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Heat treatment apparatus and method for heating substrate by light-irradiation

Номер патента: US20130148948A1. Автор: Shinichi Kato. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2013-06-13.

Substrate type sensor for measuring horizontality of substrate support member provided in atmosphere accompanied by temperature change, method for measuring horizontality of substrate support member by using the same, and non-transitory computer readable medium

Номер патента: US20220205782A1. Автор: Sang Min Lee,Young Seop CHOI,Hwan Bin Kim,Jong Hyeon WOO,Sang Hyun Son,Yong-jun Seo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-06-30.

Boat for supporting substrate, supporting unit including the boat and apparatus for processing substrate using the supporting unit

Номер патента: KR101243309B1. Автор: 박주영,조병호,강호영. Владелец: 주식회사 테라세미콘. Дата публикации: 2013-03-13.

Substrate support structure, heat treatment apparatus using same, first sheet-like object for use in the substrate support structure, method of manufacturing the substrate support structure, heat treatment apparatus, and substrate sucking method

Номер патента: TW200802680A. Автор: Hiroshi Miyauchi,Masao Tsuji,Hideyuki Taniguchi,Yasuhiro Fukumoto. Владелец: Dainippon Screen Mfg. Дата публикации: 2008-01-01.

Susceptor, Substrate Support Member, Apparatus for Processing Substrate Including Susceptor and Substrate Support Member, Method of Manufacturing Susceptor, and Method of Manufacturing Substrate Support Member

Номер патента: KR20220025800A. Автор: 권수영,박상화. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2022-03-03.

Apparatus, hybrid laminated body, method and materials for temporary substrate support

Номер патента: US9184083B2. Автор: Wayne S. Mahoney,Rajdeep S. Kalgutkar. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-11-10.

Apparatus, hybrid laminated body, method, and materials for temporary substrate support

Номер патента: EP2810300A1. Автор: Eric G. Larson,Blake R. Dronen. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2014-12-10.

Semiconductor package substrate support structures for ball-grid array cavities, and methods of assembling same

Номер патента: US20190148310A1. Автор: Eng Huat Goh,Paik Wen ONG,Kean Huat Leong,Chun Kit See,Sheng Jian Darren Tan. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2019-05-16.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASH OF LIGHT

Номер патента: US20130259457A1. Автор: YOKOUCHI Kenichi,NISHIHARA Hideo. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2013-10-03.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND HEAT TREATMENT METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASH OF LIGHT

Номер патента: US20170133247A1. Автор: KIYAMA Hiroki. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL APPARATUS INCLUDING OPTICAL FIBER HEATING, SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL SYSTEMS, ELECTRONIC DEVICE PROCESSING SYSTEMS, AND METHODS

Номер патента: US20150357228A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,Boyd,RICE MICHAEL R.,JR. Wendell,PARKHE Vijay D.,Busche Matthew. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-10.

Coating substrate with tantalum pentoxide, for making capacitors in integrated circuits, comprises heating substrate and contacting it with oxidizing gas containing t-butylimino tris(diethylamino) tantalum

Номер патента: FR2847593A1. Автор: Jean Michailos,Jean Mickael Gros,Nicolas Jourdan. Владелец: STMICROELECTRONICS SA. Дата публикации: 2004-05-28.

Substrate temperature control apparatus including optical fiber heating, substrate temperature control systems, electronic device processing systems, and methods

Номер патента: CN106463402A. Автор: 迈克尔·R·赖斯,利昂·沃尔福夫斯基,马修·巴斯彻,小温德尔·博伊德,维贾伊·D·帕克赫. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-02-22.

Heat treatment apparatus for heating substrate by exposing substrate to flash light

Номер патента: US20090175605A1. Автор: Ippei Kobayashi. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2009-07-09.

Monocrystalline silicon base portion forming method for use during manufacturing of integrated electronic circuit, involves heating substrate and forming silicon layer by placing gas mixture with silane and gas in contact with substrate

Номер патента: FR2900277A1. Автор: Didier Dutartre,Laurent Rubaldo,Alexandre Talbot. Владелец: STMICROELECTRONICS SA. Дата публикации: 2007-10-26.

LAMINATE BODY, METHOD, AND MATERIALS FOR TEMPORARY SUBSTRATE SUPPORT AND SUPPORT SEPARATION

Номер патента: US20150034238A1. Автор: Mahoney Wayne S.,Larson Eric G.,Dronen Blake R.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20160049317A1. Автор: Yang Il-Kwang,Je Sung-Tae,LEE Dong-Keun,CHU Kyung-Jin. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-18.

SUBSTRATE INVERTING DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE, AND SUBSTRATE INVERTING METHOD, SUBSTRATE PROCESSING METHOD, AND SUBSTRATE SUPPORTING METHOD

Номер патента: US20190067077A1. Автор: MURAMOTO Ryo. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS MANUFACTURING METHOD OF THE SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20140174356A1. Автор: Kim Hai Won,CHO Sung-kil. Владелец: EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2014-06-26.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20170110347A1. Автор: Yang Il-Kwang,Je Sung-Tae,LEE Dong-Keun,CHU Kyung-Jin. Владелец: EUGENE TECHNOLOGY CO., LTD.. Дата публикации: 2017-04-20.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE, THERMAL PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORT METHOD, AND THERMAL PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210159111A1. Автор: PRENGLE Scott. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-27.

Substrate supporting and transferring apparatus, method of supporting and transferring substrate, and manufacturing method of display apparatus using the same

Номер патента: US20190139809A1. Автор: Sang-hyun Park,Sang-Joon HONG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-05-09.

SUBSTRATE SUPPORTING PIN, SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE AND SUBSTRATE ACCESS SYSTEM

Номер патента: US20180158715A1. Автор: Wang Xiaojun,SHI Xu,Li DongQing,XU Zhilong,LIU Dagang,XU Jianfan. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-07.

SUBSTRATE SUPPORT, METHOD FOR LOADING A SUBSTRATE ON A SUBSTRATE SUPPORT LOCATION, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20170192359A1. Автор: Leenders Martinus Hendrikus Antonius,Houben Martijn,DUSA Mircea,GERRITZEN Justin Johannes Hermanus,POIESZ Thomas,SOETHOUDT Abraham Alexander,VAN DEN HEUVEL Marco Adrianus Peter,DE KRUIJF Niek Elout,MULDER Johannes Gerardus Maria,VAN DONGEN Paul,VER WEIJ Antonie Hendrik. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-06.

Substrate supporting apparatus and method of controlling substrate supporting apparatus

Номер патента: US20200321237A1. Автор: Mitsuru Miyazaki,Takuya Inoue. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2020-10-08.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE, SUBSTRATE SUPPORT METHOD AND VACUUM DRYING EQUIPMENT

Номер патента: US20160372343A1. Автор: Wang Man,ZHAI Yuman. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-22.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND FILM FORMING DEVICE HAVING THE SUBSTRATE SUPPORTING UNIT

Номер патента: US20190385827A1. Автор: Hanamachi Toshihiko,TATSUMI Arata,TAKAHARA Go. Владелец: . Дата публикации: 2019-12-19.

Substrate support and apparatus for treating substrate having thereof substrate support

Номер патента: KR101432157B1. Автор: 지상현,권창민,문용수,최승애. Владелец: 에이피시스템 주식회사. Дата публикации: 2014-08-20.

Substrate supporting unit and the substrate board treatment comprising the substrate supporting unit

Номер патента: CN104681387B. Автор: 卢载旻,金炯俊. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-20.

Substrate support device and substrate support method

Номер патента: KR101534357B1. Автор: 나루아키 이이다,스구루 에노키다,세이지 나카노,미치아키 마츠시타,가츠히로 모리카와. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2015-07-06.

Lift pin actuator,substrate support assembly, and method for utilizing substrate support assembly

Номер патента: TWI674168B. Автор: 威沃斯麥克Ｄ,寇雷亞羅伯托西薩. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-10-11.

Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support

Номер патента: KR102524161B1. Автор: 히로유키 나카야마. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2023-04-20.

Stand-off pad for supporting a wafer on a substrate support chuck and method of fabricating same

Номер патента: EP0856882A3. Автор: Vijay Parkhe,Hyman J. Levinstein,Shamouil Shamouilian,Anada H. Kumar. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1999-10-27.

Substrate support unit, substrate processing apparatus, and method for manufacturing substrate support unit

Номер патента: JP5395810B2. Автор: リ，ドンーキュン,チョ，ギョンージン,ジェ，ソンーテ,ヤン，イルークァン. Владелец: ユージンテクノロジーカンパニーリミテッド. Дата публикации: 2014-01-22.

Substrate supporting unit and Substrate supporting apparatus having the same

Номер патента: KR101477142B1. Автор: 김현정,고성근,경재진. Владелец: (주)티티에스. Дата публикации: 2014-12-29.

Substrate supporting unit and film forming device having substrate supporting unit

Номер патента: EP3591690A1. Автор: Toshihiko Hanamachi,Go Takahara,Arata Tatsumi. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2020-01-08.

A substrate support for supporting a substrate having a front surface to be processed and an opposing back surface, a method for processing a substrate, a vacuum processing apparatus and a substrate processing system

Номер патента: TW201936949A. Автор: 賽門勞,安格海幕奇,萊納亨特史豪特. Владелец: 美商應用材料股份有限公司. Дата публикации: 2019-09-16.

Substrate supporting unit and film forming device having the substrate supporting unit

Номер патента: US11201040B2. Автор: Toshihiko Hanamachi,Go Takahara,Arata Tatsumi. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2021-12-14.

Substrate support element for a support rack

Номер патента: EP3472859A1. Автор: Thomas Piela,Larissa Von Riewel. Владелец: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH. Дата публикации: 2019-04-24.

Substrate support pin, baseplate support device and substrate clamping and placing system

Номер патента: CN104658959B. Автор: 李冬青,王小军,徐志龙,刘大刚,石旭,许建凡. Владелец: Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate support boat and support unit using the same

Номер патента: JP6006734B2. Автор: カン、ホヨン,パク、キョンワン,チョ、ビュンホ,パク、ジュヨン. Владелец: Tera Semicon Corp. Дата публикации: 2016-10-12.

Magnetic fixture, substrate support assembly and method for securing an edge support frame to a table frame

Номер патента: KR20230096036A. Автор: 랄프 린덴베르크,볼프강 클라인. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2023-06-29.

Substrate support element for a support rack

Номер патента: WO2017220272A1. Автор: Thomas Piela,Larissa Von Riewel. Владелец: HERAEUS NOBLELIGHT GMBH. Дата публикации: 2017-12-28.

Substrate supporting apparatus, substrate supporting member, substrate transfer apparatus, exposure apparatus, and device manufacturing method

Номер патента: TW201135372A. Автор: Kiyoshi Kogure,Muneyasu Yokota,Tadashi Seki,Kunihiro Kawae. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2011-10-16.

Substrate supporting unit and substrate processing apparatus manufacturing method of the substrate supporting unit

Номер патента: US9761473B2. Автор: Sung-kil CHO,Hai Won Kim. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-09-12.

Substrate inverting device, substrate processing apparatus, and substrate supporting device, and substrate inverting method, substrate processing method, and substrate supporting method

Номер патента: TW201921577A. Автор: 村元僚. Владелец: 日商斯庫林集團股份有限公司. Дата публикации: 2019-06-01.

Substrate support assembly and support method

Номер патента: JP2004505446A. Автор: ビョルクマン　クレス,ドアン　ケニー,プ　ブライヤン,ノールバクシュ　ハミド. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2004-02-19.

Substrate support, test device, and method of adjusting temperature of substrate support

Номер патента: EP3882644B1. Автор: Hiroyuki Nakayama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-17.

Substrate support, method for loading a substrate on a substrate support location, lithographic apparatus and device manufacturing method

Номер патента: IL248384A0. Автор: . Владелец: Asml Holding Nv. Дата публикации: 2016-11-30.

Laminate body, method, and materials for temporary substrate support and support separation

Номер патента: EP2828883A4. Автор: Eric G Larson,Blake R Dronen,Wayne S Mahoney. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-10-28.

Method for supporting substrate, substrate supporting apparatus and exposure apparatus

Номер патента: AU2003298996A1. Автор: Hidekazu Kikuchi. Владелец: Sendai Nikon Corp. Дата публикации: 2004-04-08.

Multi-zone semiconductor substrate supports

Номер патента: WO2022192041A1. Автор: Ian BENSCO. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-09-15.

Substrate Support, Substrate Processing Apparatus and Method of Manufacturing Semiconductor Device

Номер патента: US20240162067A1. Автор: Daiki Taniguchi. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-05-16.

Apparatus and method for heating substrate and coating and developing system

Номер патента: TWI297515B. Автор: Tetsuo Fukuoka,Shinichi Hayashi,Tetsuya Oda,Hiroaki Inadomi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-06-01.

Thermal processing apparatus for heating substrate, and susceptor

Номер патента: US09881819B2. Автор: Yoshio Ito. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Thermal processing apparatus and thermal processing method for heating substrate by light irradiation

Номер патента: US09831108B2. Автор: Kenichi Yokouchi,Nobuhiko Nishide. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-28.

Procede de report d'une couche mince sur un substrat support muni d'une couche de piegeage de charges

Номер патента: EP4189734B1. Автор: Marcel Broekaart,Daniel Delprat,Ludovic Ecarnot,Carine Duret,Séverin Rouchier,Bruno Clemenceau,Stephane Thieffry,Aymen Ghorbel. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-26.

Substrate support and inspection apparatus

Номер патента: EP3929603B1. Автор: Hiroyuki Nakayama,Masahito Kobayashi,Dai Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-10.

Substrate support in a reactive sputter chamber

Номер патента: WO2010077750A3. Автор: David Tanner,Hien-Minh Huu Le. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-10-21.

Substrate support with adjustable lift and rotation mount

Номер патента: TWI372442B. Автор: Jeffrey Campbell,Brian H Burrows. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-09-11.

Lcd substrate support apparatus

Номер патента: TW200536392A. Автор: Ching-Lung Wang,Wen-Cheng Hsu,Yu-Ying Chan,Shao-Ming Hsu,He-Li Hsieh,Chen Kun Teng. Владелец: Innolux Display Corp. Дата публикации: 2005-11-01.

Procede de fabrication d'une structure composite comprenant une couche mince en sic monocristallin sur un substrat support en sic

Номер патента: EP4128328C0. Автор: Hugo BIARD. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-04-03.

Procede de transfert d'une couche piezoelectrique sur un substrat support

Номер патента: EP3776641B1. Автор: Thierry Barge,Djamel Belhachemi. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-05-15.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: TW200908201A. Автор: Suk-Min Son. Владелец: Advanced Display Proc Eng Co. Дата публикации: 2009-02-16.

Procede de transfert d'une couche piezoelectrique sur un substrat support

Номер патента: EP3776641C0. Автор: Thierry Barge,Djamel Belhachemi. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-05-15.

Substrate supporting member

Номер патента: TW200828491A. Автор: Tomoyuki Fujii,Yasufumi Aihara,Tetsuya Kawajiri. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2008-07-01.

Substrate support suitable for using in a semiconductor processing chamber

Номер патента: TWM318185U. Автор: Jivko Dinev,Sharma Pamarthy,Huutri Dao,Kelly A Mcdonough,Xiao-Ping Zhou. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-09-01.

Substrate support device

Номер патента: TWI621204B. Автор: Toshihiko Hanamachi,Daisuke Hashimoto,Junichi Miyahara,Kazuhiro Yonekura,Jun Futakuchiya,Toshihiro Tachikawa,Go Takahara. Владелец: NHK Spring Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-11.

Lift Pin Assembly, Substrate Support Apparatus and Substrate Processing Apparatus Having the Same

Номер патента: US20190080955A1. Автор: Ja-Woo Lee,Su-Ho Lee,Seung-Won Shin. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-03-14.

Substrate support in a reactive sputter chamber

Номер патента: WO2010077750A2. Автор: David Tanner,Hien-Minh Huu Le. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-07-08.

Substrate support with adjustable lift and rotation mount

Номер патента: TW200822278A. Автор: Jeffrey Campbell,Brian H Burrows. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2008-05-16.

Procede de report d'une couche mince sur un substrat support muni d'une couche de piegeage de charges

Номер патента: EP4189734C0. Автор: Marcel Broekaart,Daniel Delprat,Ludovic Ecarnot,Carine Duret,Séverin Rouchier,Bruno Clemenceau,Stephane Thieffry,Aymen Ghorbel. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-26.

Forming thermal sprayed protrusions using the mask, and method of manufacturing a substrate supporting apparatus using the mask

Номер патента: TW201002426A. Автор: Sang-Won Lee,In-Su Yoon,Hai-Tai Lee,Chi-Won Oh. Владелец: Mico C & C Ltd. Дата публикации: 2010-01-16.

Ring assembly, substrate support apparatus and plasma processing apparatus including the same

Номер патента: US12068141B2. Автор: Sungki Lee,Jonggun YOON,Sungkyu CHOI. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-20.

Substrate support

Номер патента: TW200305245A. Автор: Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Wendell T Blonigan,Toshio Kiyotake,Hung T Nguyen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2003-10-16.

Electrostatic chuck, substrate support, plasma processing apparatus, and method of manufacturing electrostatic chuck

Номер патента: US20230064309A1. Автор: Atsushi Kawabata,Masanori Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-03-02.

Apparatuses for measuring gap between a substrate support plane and gas distribution device

Номер патента: US20240213060A1. Автор: Adriana VINTILA,Shriram Vasant BAPAT,Emily Ann ALDEN,Damien Martin SLEVIN. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrat support pour structure soi et procede de fabrication associe

Номер патента: EP4176463C0. Автор: Walter Schwarzenbach,Isabelle Bertrand,Frederic Allibert,Romain BOUVEYRON. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-06-12.

Locally heated multi-zone substrate support

Номер патента: US09984912B2. Автор: Michael S. Cox. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-29.

System for depositing one or more layers on a substrate supported by a carrier and method using the same

Номер патента: US09899635B2. Автор: Dieter Haas,Stefan Bangert,Jose Manuel Dieguez-Campo,Uwe Schüβler. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-02-20.

THERMAL PROCESSING APPARATUS AND THERMAL PROCESSING METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY LIGHT IRRADIATION

Номер патента: US20140161429A1. Автор: NISHIDE Nobuhiko,YOKOUCHI Kenichi. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG CO., LTD.. Дата публикации: 2014-06-12.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION WITH FLASH LIGHT

Номер патента: US20140169772A1. Автор: Yamada Takahiro,FUSE Kazuhiko,ABE Makoto. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2014-06-19.

HEATING ARRANGEMENT AND METHOD FOR HEATING SUBSTRATES

Номер патента: US20140202027A1. Автор: Pink Edwin,Hotz Philipp. Владелец: OERLIKON SOLAR AG, TRUBBACH. Дата публикации: 2014-07-24.

ELECTROSTATIC HEATING SUBSTRATE HOLDER WHICH IS POLARISED AT HIGH VOLTAGE

Номер патента: US20170178943A1. Автор: Torregrosa Frank,Roux Laurent. Владелец: ION BEAM SERVICES. Дата публикации: 2017-06-22.

THERMAL PROCESSING METHOD AND THERMAL PROCESSING APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE, AND SUSCEPTOR

Номер патента: US20160284575A1. Автор: Ito Yoshio. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-29.

Apparatus for heating substrate

Номер патента: KR101914483B1. Автор: 이은탁,정영헌,서경진,강만규. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2019-01-14.

Device for heating substrates

Номер патента: KR100994097B1. Автор: 조길영. Владелец: 주식회사 테스. Дата публикации: 2010-11-12.

DOPE HEATING SUBSTRATE

Номер патента: FR2914488B1. Автор: Robert Langer,Hacene Lahreche. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2010-08-27.

Heat treatment apparatus and method for heating substrate by light irradiation

Номер патента: US8861944B2. Автор: Kenichi Yokouchi,Hiroki Kiyama. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2014-10-14.

Fabrication apparatus and fabrication method of semiconductor device produced by heating substrate

Номер патента: US8153454B2. Автор: Masaki Ueno,Toshio Ueda,Yoko Watanabe. Владелец: Sumitomo Electric Industries Ltd. Дата публикации: 2012-04-10.

Mechanical clamper for heated substrates at die attach

Номер патента: WO2002001612A3. Автор: Sally Y L Foong,Kok Khoon Ho. Владелец: Advanced Micro Devices Inc. Дата публикации: 2002-06-06.

Heating arrangement and method for heating substrates

Номер патента: KR101783819B1. Автор: 에드윈 핑크,필립 호츠. Владелец: 텔 쏠라 아게. Дата публикации: 2017-10-10.

Apparatus and method for heating substrates

Номер патента: US7381052B2. Автор: Jun Zhao,Farhad Moghadam,Timothy Weidman,David Quach,Dan Maydan,Rick J. Roberts. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2008-06-03.

Apparatus and method for heating substrate and coating and developing system

Номер патента: US8237092B2. Автор: Tetsuo Fukuoka,Shinichi Hayashi,Tetsuya Oda,Hiroaki Inadomi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-08-07.

Apparatus and method for enhancing the cool down of radiatively heated substrates

Номер патента: CN102668048B. Автор: 约瑟夫·M·拉内什,布莱克·R·凯尔梅尔,沃尔夫冈·阿德霍尔德. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-05-20.

Heat treatment apparatus and method for heating substrate by light irradiation

Номер патента: US20090263112A1. Автор: Kenichi Yokouchi,Hiroki Kiyama. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-10-22.

Heat treatment apparatus heating substrate

Номер патента: US11746410B2. Автор: Yasuaki Kondo,Mao OMORI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-09-05.

Substrate support structure, clamp preparation unit, and lithography system

Номер патента: US20120043438A1. Автор: Hendrik Jan DE JONG, JR.. Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2012-02-23.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: US20120097332A1. Автор: Xing Lin,Xiaoping Zhou,Andrew Nguyen,Douglas A. Buchberger, Jr.,Anchel Sheyner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-04-26.

Structure of substrate supporting table, and plasma processing apparatus

Номер патента: US20120111502A1. Автор: Ryuichi Matsuda,Kazuto Yoshida. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2012-05-10.

Component of a substrate support assembly producing localized magnetic fields

Номер патента: US20130072025A1. Автор: Sung Lee,Harmeet Singh,Brett Richardson,Keith Gaff. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2013-03-21.

Substrate support and semiconductor manufacturing apparatus

Номер патента: US20130327274A1. Автор: Zempei Kawazu,Akihito Ohno. Владелец: Mitsubishi Electric Corp. Дата публикации: 2013-12-12.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORTER AND METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20140004710A1. Автор: Sakata Masakazu,Yanai Hidehiro. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.. Дата публикации: 2014-01-02.

Non-Contact Substrate Chuck and Vertical Type Substrate Supporting Apparatus Using the Same

Номер патента: US20140048994A1. Автор: TSAI WEN-PING,LI Wei-Chen. Владелец: SCIENTECH CORP.. Дата публикации: 2014-02-20.

Substrate Processing Apparatus, Method of Manufacturing Semiconductor Device and Method of Processing Substrate Support

Номер патента: US20220005712A1. Автор: ICHIMURA Keita,Aburatani Yukinori. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-06.

SYSTEM AND METHOD FOR SUBSTRATE SUPPORT FEED-FORWARD TEMPERATURE CONTROL BASED ON RF POWER

Номер патента: US20180005857A1. Автор: Zhang Tao,PAPE Eric A.,Tian Siyuan,Zaninovich Jorge Jose. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-04.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20210005495A1. Автор: Sasaki Yasuharu,KISHI Hiroki,TOMIOKA Taketoshi,SUH Jisoo. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-01-07.

LIFT PIN INTERFACE IN A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20220028720A1. Автор: SULYMAN Alexander. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-27.

Substrate support assembly and substrate processing device including the same

Номер патента: US20210013085A1. Автор: Jaemin Roh,JuIll Lee,GunYong Park. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2021-01-14.

Apparatus, hybrid laminated body, method, and materials for temporary substrate support

Номер патента: US20150017434A1. Автор: Eric G. Larson,Blake R. Dronen. Владелец: 3M Innovative Properties Co. Дата публикации: 2015-01-15.

AN IMPROVED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20180016677A1. Автор: WON Tae Kyung,ROY Subhasish,YADAV Sanjay D.,ACHARY Umesha,SEETHARAMU Raghav Mirle. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-18.

Substrate support ring for more uniform layer thickness

Номер патента: US20150020736A1. Автор: Lara Hawrylchak,Christopher S. Olsen,Heng Pan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-01-22.

LOCALLY HEATED MULTI-ZONE SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20180019148A1. Автор: Cox Michael S.. Владелец: . Дата публикации: 2018-01-18.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND EDGE RING

Номер патента: US20210020408A1. Автор: SUGIYAMA Hideki,OGASAWARA Akihiro,Kaneko Shunsuke. Владелец: . Дата публикации: 2021-01-21.

SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND SUBSTRATE SUPPORT UNIT

Номер патента: US20220044917A1. Автор: LEE Won Seok,KIM Dong Suk,CHO Jae Hyun,KIM Sung Je,Kim Hyeon Gyu,AN Jong-Hwan,SON HYOUNGKYU,BAE MIN KEUN,GALSTYAN OGSEN. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-10.

SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20220044956A1. Автор: CHOI Seung Woo,LEE Seung Hwan,Park Ju Hyuk. Владелец: . Дата публикации: 2022-02-10.

Substrate supporting member, substrate treating apparatus including the same and substrate treating method thereof

Номер патента: US20220044959A1. Автор: Kang Suk Lee,Hyeon Jun Lee,Yong Hoon HONG,So Young Jang. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2022-02-10.

APPARATUS, HYBRID LAMINATED BODY, METHOD AND MATERIALS FOR TEMPORARY SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20150031215A1. Автор: Mahoney Wayne S.,KALGUTKAR RAJDEEP S.. Владелец: 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY. Дата публикации: 2015-01-29.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS AND PLASMA PROCESSING APPARATUS HAVING THE SAME

Номер патента: US20200027705A1. Автор: Kim Kwang-Nam,KIM Sung-Yeon,KIM Hyung-Jun,SUN Jong-Woo,OH Sang-Rok,HONG Jung-Pyo. Владелец: . Дата публикации: 2020-01-23.

LOCALLY HEATED MULTI-ZONE SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20170032995A1. Автор: Cox Michael S.. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-02.

SUBSTRATE SUPPORT WITH INCREASING AREAL DENSITY AND CORRESPONDING METHOD OF FABRICATING

Номер патента: US20180033672A1. Автор: Leeser Karl,Woytowitz Peter,Burkhart Vincent,Rumer Michael. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

SUBSTRATE SUPPORT WITH IN SITU WAFER ROTATION

Номер патента: US20180033673A1. Автор: Nemani Srinivas D.,BABAYAN Viachslav,Roy Shambhu N.,Malik Sultan. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-01.

LIFT PIN UNIT AND SUBSTRATE SUPPORTING UNIT HAVING THE SAME

Номер патента: US20190035671A1. Автор: Kim Hyung Joon,HA Kang Rae. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-31.

SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20200035536A1. Автор: ETO Hideo. Владелец: Toshiba Memory Corporation. Дата публикации: 2020-01-30.

GAS COOLED SUBSTRATE SUPPORT FOR STABILIZED HIGH TEMPERATURE DEPOSITION

Номер патента: US20180037987A1. Автор: OH JEONGHOON,Cox Michael S.,West Brian. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-08.

SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20210035782A1. Автор: Kim Hyung Joon,Jiong So Hyung. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-04.

EDGE RING, SUBSTRATE SUPPORT, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20210035783A1. Автор: KIKUCHI Takaaki,TAIRA Takashi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-02-04.

Substrate processing apparatus, substrate support, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20210035835A1. Автор: Kenichi Suzaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2021-02-04.

SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORTS WITH IMPROVED HIGH TEMPERATURE CHUCKING

Номер патента: US20210035843A1. Автор: Li Jian,Padhi Deenesh,Srivastava Shailendra,Benjamin Raj Daemian Raj,Rocha Juan C.,HAN Xinhai,HU Kesong,Ye Zheng J.,Wang Chuan-Ying. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2021-02-04.

METHODS AND APPARATUS FOR ADJUSTING SURFACE TOPOGRAPHY OF A SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS

Номер патента: US20210035850A1. Автор: Shirley Paul D.. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-04.

LOW CONTACT AREA SUBSTRATE SUPPORT FOR ETCHING CHAMBER

Номер патента: US20210035851A1. Автор: Willwerth Michael D.,Lee Changhun,LUDWIG Jeffrey. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-04.

LOCALLY HEATED MULTI-ZONE SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20150043123A1. Автор: Cox Michael S.. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-12.

ELECTROSTATIC SHIELD FOR SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20190043698A1. Автор: PARKHE Vijay D.. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-07.

SYSTEM, DEVICE AND METHOD FOR RECONDITIONING A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20210053177A1. Автор: Van De Winkel Jimmy Matheus Wilhelmus,ANTONOV Pavlo,BALTIS Coen Hubertus Matheus,POIESZ Thomas,SCHOLTEN Bert Dirk,VAN DE VIJVER Yuri Johannes Gabriël,MASON Christopher John,ACHANTA Satish,AKCHURIN Aydar,BOUWKNEGT Jeroen,FARLE Ann-Sophie m.,PALERMO Ralph Nicholas. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

SUBSTRATE SUPPORTING PLATE, THIN FILM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND THIN FILM DEPOSITION METHOD

Номер патента: US20210054519A1. Автор: CHOI Seung Woo,Yoo Yong Min,SHON Jong Won,Kang Dong Seok. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURE, VACUUM DRYING DEVICE AND VACUUM DRYING METHOD

Номер патента: US20170051977A1. Автор: Zhao Dejiang. Владелец: BOE Technology Group Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-02-23.

Substrate support with symmetrical feed structure

Номер патента: US20190051551A1. Автор: Xing Lin,Xiaoping Zhou,Andrew Nguyen,Douglas A. Buchberger, Jr.,Anchel Sheyner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-02-14.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20210057187A1. Автор: KIM Dae Hyun,Na Sae Won. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-25.

METHOD OF PROCESSING A SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20150059974A1. Автор: Boyd,PARKHE Vijay D.,JR. Wendell Glen,THACH Sehn. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2015-03-05.

Alignment of an electrostatic chuck with a substrate support

Номер патента: US20220076978A1. Автор: Thomas Brezoczky,Kirankumar Neelasandra Savandaiah,Bhaskar PRASAD,Srinivasa Rao Yedla,Nitin Bharadwaj SATYAVOLU. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2022-03-10.

Substrate support system

Номер патента: US20150064809A1. Автор: Dmitry Lubomirsky. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-03-05.

OPTICAL HEATING OF LIGHT ABSORBING OBJECTS IN SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20180061684A1. Автор: PARKHE Vijay D.. Владелец: . Дата публикации: 2018-03-01.

ADJUSTABLE SUBSTRATE SUPPORT AND ADJUSTMENT METHOD

Номер патента: US20210066114A1. Автор: CHEN Ching-Hua,Ho Kai-Fa. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

METHOD OF CLAMPING A SUBSTRATE TO A CLAMPING SYSTEM, A SUBSTRATE HOLDER AND A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20220082952A1. Автор: POIESZ Thomas,SOETHOUDT Abraham Alexander. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2022-03-17.

ESC SUBSTRATE SUPPORT WITH CHUCKING FORCE CONTROL

Номер патента: US20190067070A1. Автор: Boyd,JR. Wendell Glenn,Ding Zhenwen,HE Jim Zhongyi. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-28.

EDGE RING ASSEMBLY FOR A SUBSTRATE SUPPORT IN A PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20200066495A1. Автор: NOORBAKHSH HAMID,Husain Anwar,WAKABAYASHI REYN. Владелец: . Дата публикации: 2020-02-27.

Substrate support having customizable and replaceable features for enhanced backside contamination performance

Номер патента: US20200066570A1. Автор: John Baggett,Dave Shaner. Владелец: Axcelis Technologies Inc. Дата публикации: 2020-02-27.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS AND METHOD

Номер патента: US20140151332A1. Автор: Fukasawa Takayuki. Владелец: . Дата публикации: 2014-06-05.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210074524A1. Автор: KOSHIMIZU Chishio. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-11.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY HAVING A PLASMA RESISTANT PROTECTIVE LAYER

Номер патента: US20140154465A1. Автор: Sun Jennifer Y.,Thach Senh,Kanungo Biraja P.,Firouzdor Vahid. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-06-05.

Rotatable substrate support having radio frequency applicator

Номер патента: US20150083042A1. Автор: Dmitry Lubomirsky,Hiroji Hanawa,Satoru Kobayashi,Soonam Park,Kirby Hane FLOYD. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-03-26.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY HAVING METAL BONDED PROTECTIVE LAYER

Номер патента: US20140159325A1. Автор: NARENDRNATH Kadthala Ramaya,PARKHE Vijay D.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-06-12.

SUBSTRATE SUPPORTING APPARATUS

Номер патента: US20210082738A1. Автор: CHEON Min Ho,Kim Jong Sik,Hwang Chul Joo,Kim Jeong Mi,Jung Won Woo,CHUN Dong Seok. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-18.

Soft chucking and dechucking for electrostatic chucking substrate supports

Номер патента: US20190080949A1. Автор: Wendell Glenn Boyd, JR.,Jim Zhongyi He. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-14.

SUBSTRATE SUPPORT FOR REDUCED DAMAGE SUBSTRATE BACKSIDE

Номер патента: US20190080951A1. Автор: TZU GWO-CHUAN,HUSTON Joel M.,Tsai Cheng-Hsiung. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

Lift Pin Assembly, Substrate Support Apparatus and Substrate Processing Apparatus Having the Same

Номер патента: US20190080955A1. Автор: LEE Su-ho,Lee Ja-Woo,Shin Seung-Won. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

SUBSTRATE POSITION CALIBRATION FOR SUBSTRATE SUPPORTS IN SUBSTRATE PROCESSING SYSTEMS

Номер патента: US20220099426A1. Автор: Tsai Cheng-Hsiung,Ravi Jallepally,MATSUSHITA Tomoharu,KAMATH Aravind,TAKAHAMA Hiroyuki. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-31.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS COMPRISING THE SAME

Номер патента: US20170084477A1. Автор: KIM Tae-Hwan,KANG Dong-Joo. Владелец: WORLDEX INDUSTRY & TRADING CO., LTD.. Дата публикации: 2017-03-23.

SUBSTRATE SUPPORT WITH COOLED AND CONDUCTING PINS

Номер патента: US20190088518A1. Автор: Lee Wonseok,KOH Travis Lee,KRAUS Philip Allan. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

Substrate support with dual embedded electrodes

Номер патента: US20190088519A1. Автор: Philip Allan Kraus,Jaeyong Cho. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-21.

SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORTS WITH EMBEDDED RF SHIELD

Номер патента: US20200090972A1. Автор: LUBOMIRSKY DMITRY,Cho Jaeyong,Benjaminson David,Park Soonam,GRACE Michael,Kalnin Nikolai,Kaluarachchi Don Channa K.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-03-19.

Substrate support and baffle apparatus

Номер патента: US20170098542A1. Автор: Han-Wen Chen,Steven Verhaverbeke,Roman Gouk,Jean Delmas. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-04-06.

MULTI-ZONE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORTS

Номер патента: US20220148894A1. Автор: LUBOMIRSKY DMITRY,Yang Dongqing,Samir Mehmet Tugrul,Park Soonam,Hillman Peter,Zhu Lala,Choy Martin Yue. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-05-12.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME

Номер патента: US20180102238A1. Автор: GU JAMYUNG,NAM SHIN-WOO,AN JONG HWAN,RO Sooryun. Владелец: SEMES CO., LTD.. Дата публикации: 2018-04-12.

Substrate support pedestal and plasma processing apparatus

Номер патента: US20210104385A1. Автор: Masaru Sasaki,Tomoyuki Takahashi,Ryou Son,Sinya Sasaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-04-08.

Long-life high-power terminals for substrate support with embedded heating elements

Номер патента: US20200098551A1. Автор: Siyuan Tian. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-03-26.

SUBSTRATE SUPPORT CARRIER WITH IMPROVED BOND LAYER PROTECTION

Номер патента: US20220172975A1. Автор: Banda Sumanth,Schmid Andreas,SIMMONS Jonathan,PROUTY Stephen Donald. Владелец: . Дата публикации: 2022-06-02.

CMP SOFT POLISHING OF ELECTROSTATIC SUBSTRATE SUPPORT GEOMETRIES

Номер патента: US20190111541A1. Автор: Boyd,JR. Wendell Glenn,HE Jim Zhongyi. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-18.

Methods and apparatus for shielding substrate supports

Номер патента: US20190115246A1. Автор: Kartik Ramaswamy,Kenneth S. Collins,Michael R. Rice,James David Carducci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-04-18.

PIXILATED COOLING, TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20150129165A1. Автор: Thach Senh,Boyd,JR. Wendell,PARKHE Vijay D.,Makhratchev Konstantin,BUSCHE Matthew James,Ono Masanori. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-14.

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS, SUBSTRATE TREATING SYSTEM INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер патента: US20180122660A1. Автор: KIM Jae-Youl,Kim Seongsu,SEO Jong Seok. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-03.

Plasma processing apparatus and substrate supporter

Номер патента: US20220270854A1. Автор: Eitaro KATAOKA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-25.

SUBSTRATE SUPPORT, PLASMA PROCESSING SYSTEM, AND PLASMA ETCHING METHOD

Номер патента: US20220270862A1. Автор: TAKAHASHI Tomoyuki,KAWADA Yuki,HAYASAKA Naoto. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2022-08-25.

SUBSTRATE SUPPORT WITH CONTROLLED SEALING GAP

Номер патента: US20140217665A1. Автор: TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN,HUSTON Joel M.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-08-07.

SUBSTRATE SUPPORT PLATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210166910A1. Автор: KIM Jaehyun,Lee SeungHwan,Kim DaeYoun. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-03.

SUBSTRATE SUPPORT WITH IMPROVED PROCESS UNIFORMITY

Номер патента: US20210166914A1. Автор: Chen Zhigang,Fu Yuehong,HAO Fangli. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-03.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY WITH DEPOSITED SURFACE FEATURES

Номер патента: US20170140970A1. Автор: Boyd,PARKHE Vijay D.,JR. Wendell Glenn,Kuo Teng-Fang,Ding Zhenwen. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-18.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT AND PLASMA ETCHING APPARATUS HAVING THE SAME

Номер патента: US20140224426A1. Автор: KIM Tae Gon,HAN Kyung Hyun,JEON Yun Kwang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.. Дата публикации: 2014-08-14.

SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20220285138A1. Автор: Sasaki Yasuharu,Yamaguchi Shin,ITO Koei. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-08.

Substrate support member, substrate treatment apparatus, and substrate transfer apparatus

Номер патента: US20210173306A1. Автор: Hitoshi Hashima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-06-10.

METHOD FOR COOLING SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS AND SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS

Номер патента: US20180144956A1. Автор: TAKAOKA Kunifumi. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-24.

SUBSTRATE SUPPORT WITH VARYING DEPTHS OF AREAS BETWEEN MESAS AND CORRESPONDING TEMPERATURE DEPENDENT METHOD OF FABRICATING

Номер патента: US20180148835A1. Автор: Gaff Keith,Ramdutt Devin,ERICKSON Ann. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

SUBSTRATE SUPPORTING UNIT AND A SUBSTRATE PROCESSING DEVICE INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20200141003A1. Автор: Kim Sungbae,Lee SeungHwan,KIM Jongsu,KWON HakYong,PARK Juhyuk. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-07.

MULTI-ZONE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORTS

Номер патента: US20220293453A1. Автор: Bensco Ian. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-09-15.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY HAVING A PLASMA RESISTANT PROTECTIVE LAYER

Номер патента: US20180151401A1. Автор: Sun Jennifer Y.,Thach Senh,Kanungo Biraja P.,Firouzdor Vahid. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, HEAT TREATMENT UNIT, AND SUBSTRATE TREATING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20180151409A1. Автор: Park Sanguk,Kang Man Kyu,JO Min Woo,CHOI Cheolmin. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-31.

SEMICONDUCTOR PACKAGE SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURES FOR BALL-GRID ARRAY CAVITIES, AND METHODS OF ASSEMBLING SAME

Номер патента: US20190148310A1. Автор: Goh Eng Huat,ONG Paik Wen,Leong Kean Huat,See Chun Kit,Tan Sheng Jian Darren. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-16.

SUBSTRATE-SUPPORTING DEVICE AND METHOD OF POLISHING SUBSTRATE USING THE SAME

Номер патента: US20200144098A1. Автор: PARK Jeong Min,CHO Woo Jin,Choo Byoung Kwon,BAE Joon-Hwa,YANG Heesung,KANG Bonggu,KANG Seungbae. Владелец: . Дата публикации: 2020-05-07.

RING ASSEMBLY, SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210183629A1. Автор: OSHIMA Kazuki,OGUMA Shingo. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-06-17.

A system, a lithographic apparatus, and a method for reducing oxidation or removing oxide on a substrate support

SUBSTRATE SUPPORT APPARATUS HAVING REDUCED SUBSTRATE PARTICLE GENERATION

Номер патента: US20150170954A1. Автор: SUH SONG-MOON,Agarwal Pulkit,SANSONI STEVEN V.,MORI GLEN. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-18.

SUBSTRATE SUPPORT FEATURES AND METHOD OF APPLICATION

Номер патента: US20210193496A1. Автор: LIN I-Kuan,SOMMERSTEIN Arthur,VO Khanh,BARBERA Kevin. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-24.

METHOD OF PROCESSING A SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20170167018A1. Автор: Thach Senh,Boyd,PARKHE Vijay D.,JR. Wendell Glen. Владелец: . Дата публикации: 2017-06-15.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTI-PIECE SEALING SURFACE

Номер патента: US20140251207A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-11.

Substrate supporter and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20140251540A1. Автор: Kyu-Sang Lee,Young-soo Seo,Young-Ki Han,Jun-Hyeok LEE. Владелец: Charm Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2014-09-11.

Substrate support with integrated vacuum and edge purge conduits

Номер патента: US20140252710A1. Автор: Gwo-Chuan Tzu,Olkan Cuvalci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2014-09-11.

SUBSTRATE SUPPORT FOR PLASMA ETCH OPERATIONS

Номер патента: US20140262043A1. Автор: FORSTER John C.,TSAI CHENG-HSIUNG MATTHEW,Jackson Michael S.,FRAZIER LARRY,YEUNG MEI PO. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

SUBSTRATE SUPPORT WITH ADVANCED EDGE CONTROL PROVISIONS

Номер патента: US20140265089A1. Автор: BANNA SAMER,TANTIWONG KYLE. Владелец: . Дата публикации: 2014-09-18.

SUBSTRATE SUPPORT BUSHING

Номер патента: US20140265090A1. Автор: HOU TAO. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

REDUCING TEMPERATURE TRANSITION IN A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20180174879A1. Автор: Zhang Tao,WALDMANN Ole,PAPE Eric A.. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-21.

SUBSTRATE SUPPORTING EDGE RING WITH COATING FOR IMPROVED SOAK PERFORMANCE

Номер патента: US20150187631A1. Автор: Ranish Joseph M.,Hunter Aaron Muir. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-02.

SUBSTRATE SUPPORTS INCLUDING METAL-CERAMIC INTERFACES

Номер патента: US20200173017A1. Автор: Li Jian,Rocha Juan Carlos,RAMALINGAM Chidambara A.,POLESE Joseph M.,GUYOMARD Katty Marie Lydia Gamon. Владелец: . Дата публикации: 2020-06-04.

Substrate support device, substrate conveyance robot, and aligner device

Номер патента: US20200176299A1. Автор: Katsuhiko Shimada,Joseph Chang,Nobuyuki Furukawa,Yong-Gu Kang. Владелец: Yaskawa Electric Corp. Дата публикации: 2020-06-04.

SUBSTRATE SUPPORT WITH IMPROVED PROCESS UNIFORMITY

Номер патента: US20180190526A1. Автор: Chen Zhigang,Fu Yuehong,HAO Fangli. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-05.

Substrate Support in a Millisecond Anneal System

Номер патента: US20170194178A1. Автор: Cibere Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-06.

Substrate support assembly for high temperature processes

Номер патента: US20190189492A1. Автор: Vijay D. Parkhe. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-06-20.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY HAVING SURFACE FEATURES TO IMPROVE THERMAL PERFORMANCE

Номер патента: US20180204747A1. Автор: KNYAZIK VLADIMIR. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

BATCH SUBSTRATE SUPPORT WITH WARPED SUBSTRATE CAPABILITY

Номер патента: US20210233790A1. Автор: Jupudi Ananthkrishna,GAUTAM RIBHU,Patel Shashidhara. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-29.

Substrate Support Unit and Deposition Apparatus Including the Same

Номер патента: US20190203353A1. Автор: Lee Jun Sung,Im Ji Woon,JEON IL JUN,Uh Ji Ho,Lee Je Hak. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-04.

Substrate Supporting Structure And Exposure Machine

Номер патента: US20180210343A1. Автор: Liu Liu,Peng Jinbao,SHI Pengcheng. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-26.

HELICAL PLUG FOR REDUCTION OR PREVENTION OF ARCING IN A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20210242063A1. Автор: NOORBAKHSH HAMID,Husain Anwar,WAKABAYASHI REYN T.. Владелец: . Дата публикации: 2021-08-05.

PIXILATED TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20150228513A1. Автор: Guo Zhiqiang,PARKHE Vijay D.,Makhratchev Konstantin,Ono Masanori. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2015-08-13.

SUBSTRATE SUPPORTS WITH MULTI-LAYER STRUCTURE INCLUDING INDEPENDENT OPERATED HEATER ZONES

Номер патента: US20170229327A1. Автор: Comendant Keith,Benjamin Neil,Singh Harmeet,Gaff Keith. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-10.

SUBSTRATE SUPPORT CHUCK COOLING FOR DEPOSITION CHAMBER

Номер патента: US20170229334A1. Автор: West Brian,Hirahara Robert,Parkhe Vijay,DEYO DAN. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-10.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE AND SUBSTRATE CLEANING DEVICE INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20190221451A1. Автор: Kim Byung Gook,Oh Jong Keun,LIM Kyeong bin. Владелец: . Дата публикации: 2019-07-18.

TRANSPARENT HEATING SUBSTRATE USING CARBON NANO TUBE AND METHOD OF MANUFACTURING THE Substrate

Номер патента: KR101488898B1. Автор: 김재경,임진호,김근하,황우식,방은정. Владелец: 플라텔코퍼레이션(주). Дата публикации: 2015-02-09.

TEMPERATURE CONTROL APPARATUS INCLUDING GROOVE-ROUTED OPTICAL FIBER HEATING, SUBSTRATE TEMPERATURE CONTROL SYSTEMS, ELECTRONIC DEVICE PROCESSING SYSTEMS, AND PROCESSING METHODS

Номер патента: US20160007411A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,Boyd,RICE MICHAEL R.,JR. Wendell,PARKHE Vijay D.,Busche Matthew,Dzilno Dmitry A.. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-07.

Method and system for heating substrate in vacuum environment

Номер патента: TWI433196B. Автор: HONG Xiao,yi-xiang Wang. Владелец: Hermes Microvision Inc. Дата публикации: 2014-04-01.

SUBSTRATE SUPPORT WITH SURFACE FEATURE FOR REDUCED REFLECTION AND MANUFACTURING TECHNIQUES FOR PRODUCING SAME

Номер патента: US20150037017A1. Автор: Ranish Joseph M.,Samir Mehmet Tugrul,Brillhart Paul,LAU Shu-Kwan. Владелец: . Дата публикации: 2015-02-05.

Thin heat transfer device for thermal management

Номер патента: US09435590B2. Автор: Jeffrey Taylor Stellman. Владелец: Microsoft Technology Licensing LLC. Дата публикации: 2016-09-06.

ULTRA-THIN HEAT EXCHANGER FOR HEAT MANAGEMENT

Номер патента: DE112018003831T5. Автор: Doug Vanderwees,Shuding LIN,Mike St.Pierre. Владелец: Dana Canada Corp. Дата публикации: 2020-04-09.

Ultra-thin heat exchanger for thermal management

Номер патента: CN111094888A. Автор: S·林,D·范迪维斯,M·圣皮埃尔. Владелец: Dana Canada Corp. Дата публикации: 2020-05-01.

Trim and deposition profile control with multi-zone heated substrate support for multi-patterning processes

Номер патента: US20220205105A1. Автор: Ravi Kumar,Adrien Lavoie,Pulkit Agarwal,Ramesh Chandrasekharan,Michael Philip Roberts,Nuoya YANG,Chan Myae Myae SOE,Ashish Saurabh. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2022-06-30.

Metallization method for manufacturing solar cells, involves applying doping material holding medium, particularly phosphoric acid medium on areas of solar cell substrate which is heated substrate in areas that are metalized

Номер патента: DE102009022018A1. Автор: Hartmut Dr. Nussbaumer. Владелец: RENA GMBH. Дата публикации: 2010-11-25.

Independently moving substrate supports

Номер патента: TWI322191B. Автор: Shinichi Kurita,Robin Tiner. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-03-21.

Substrate support bushing

Номер патента: TW200527577A. Автор: Shinichi Kurita,Suhail Anwar,Toshio Kiyotake. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2005-08-16.

Substrate support device for a reaction chamber of an epitaxial reactor with gas flow rotation, reaction chamber and epitaxial reactor

Номер патента: EP4065747B1. Автор: Maurilio Meschia,Silvio PRETI. Владелец: LPE SpA. Дата публикации: 2024-06-12.

Substrate support device for a reaction chamber of an epitaxial reactor with gas flow rotation, reaction chamber and epitaxial reactor

Номер патента: EP4065747C0. Автор: Maurilio Meschia,Silvio PRETI. Владелец: LPE SpA. Дата публикации: 2024-06-12.

Radiant heat substrate

Номер патента: KR20120122176A. Автор: 허철호. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2012-11-07.

Radiant heat substrate

Номер патента: KR101214762B1. Автор: 허철호. Владелец: 삼성전기주식회사. Дата публикации: 2013-01-21.

Heating and cooling of substrate support

Номер патента: US20120006493A1. Автор: John M. White,Robin L. Tiner. Владелец: Individual. Дата публикации: 2012-01-12.

SUBSTRATE SUPPORT WITH REAL TIME FORCE AND FILM STRESS CONTROL

Номер патента: US20210066038A1. Автор: Boyd,RAJ Govinda,JR. Wendell Glenn,BUSCHE Matthew James. Владелец: . Дата публикации: 2021-03-04.

SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE ELECTRODES AND METHOD FOR MAKING SAME

Номер патента: US20220143726A1. Автор: Parker Michael. Владелец: WATLOW ELECTRIC MANUFACTURING COMPANY. Дата публикации: 2022-05-12.

Semiconductor Substrate Support With Multiple Electrodes And Method For Making Same

Номер патента: US20200206835A1. Автор: Parker Michael. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

Heating substrate and method for manufacturing the same

Номер патента: KR101223678B1. Автор: 최진수,한창수,김덕종,곽호상,강용필. Владелец: 금오공과대학교 산학협력단. Дата публикации: 2013-01-21.

SUBSTRATE SUPPORT WITH WIRE MESH PLASMA CONTAINMENT

Номер патента: US20140144901A1. Автор: TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-05-29.

Procédé de fabrication d’un substrat donneur pour le transfert d’une couche piézoélectrique et procédé de transfert d’une couche piézoélectrique sur un substrat support

Номер патента: FR3131980B1. Автор: Marcel Broekaart,Thierry Barge,Morgane Logiou,Luciana Capello,Cedric Charles-Alfred. Владелец: Soitec SA. Дата публикации: 2024-01-12.

Robust ceramic and metal-ceramic radiant heater designs for thin heating elements and method for production

Номер патента: WO1995001711A1. Автор: Jainagesh A. Sekhar,Naiping Zhu. Владелец: Micropyretics Heaters International. Дата публикации: 1995-01-12.

Heating element such as a plate heating structure and more particularly an ultra-thin heating panel

Номер патента: ES2394742T3. Автор: Pierre-Henri Milleville,Gilles Rougon,Isabelle Jalmain,Laurent Barthel. Владелец: Electricite de France SA. Дата публикации: 2013-02-05.

Thin heating element made from low resistance material

Номер патента: AU7078698A. Автор: Aldo Stabile. Владелец: Cadif Srl. Дата публикации: 1999-08-09.

Ultra-thin heating panel e.g. for domestic use is made from electrical resistance inserted between two polymer reinforcing layers

Номер патента: FR2847114A1. Автор: Gilles Rougon,Laurent Barthel,Isabelle Camillieri. Владелец: Electricite de France SA. Дата публикации: 2004-05-14.

ULTRA-THIN HEATING PANEL

Номер патента: FR2847114B1. Автор: Gilles Rougon,Laurent Barthel,Isabelle Camillieri. Владелец: Electricite de France SA. Дата публикации: 2005-02-11.

Thin heating element made from low resistance material

Номер патента: US6365882B1. Автор: Aldo Stabile. Владелец: Cadif Srl. Дата публикации: 2002-04-02.

THIN HEATING ELEMENT WITH LOW ELECTRIC RESISTANCE

Номер патента: DE69805441T2. Автор: Aldo Stabile. Владелец: Cadif Srl. Дата публикации: 2002-11-07.

Inductively-heated substrate tablet for aerosol delivery device

Номер патента: US20230201493A1. Автор: Billy T. Conner,Thaddeus Jackson,Karen H. CLECKLEY,Cortney Rasheen Jackson. Владелец: Nicoventures Trading Ltd. Дата публикации: 2023-06-29.

Inductively-heated substrate tablet for aerosol delivery device

Номер патента: US11883587B2. Автор: Billy T. Conner,Thaddeus Jackson,Karen H. CLECKLEY,Cortney Rasheen Jackson. Владелец: Nicoventures Trading Ltd. Дата публикации: 2024-01-30.

Inductively-heated substrate tablet for aerosol delivery device

Номер патента: US20240115818A1. Автор: Billy T. Conner,Thaddeus Jackson,Karen H. CLECKLEY,Cortney Rasheen Jackson. Владелец: Nicoventures Trading Ltd. Дата публикации: 2024-04-11.

Light source device including first substrate supporting first and second laser diodes and second substrate supporting third laser diode

Номер патента: US12000567B2. Автор: Tadaaki Miyata. Владелец: Nichia Corp. Дата публикации: 2024-06-04.

substrate supporting frame, substrate supporting frame assembly including the frame, method for framing a substrate using the frame, fabrication method for donor substrate using the substrate supporting frame and fabrication method for OLED using the donor substrate

Номер патента: KR100721564B1. Автор: 강태민. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2007-05-23.

paste which may be used in electrochemical components, a self-supporting or substrate-supporting layer, composed of layers with electrochemical properties, a rechargeable electrochemical cell and processes for the production of a flexible sheet, a self-supporting layer or which rests on a substrate. substrate and a composite of layers.

Номер патента: BR0015072B1. Автор: Peter Birke,Fatima Birke-Salam. Владелец: . Дата публикации: 2010-11-30.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASH OF LIGHT

Номер патента: US20130206747A1. Автор: NISHIDE Nobuhiko. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2013-08-15.

Fabrication method for heating substrate and the heating substrate thereby

Номер патента: KR101601830B1. Автор: 김명수,정석헌,박세근,이진균,이다혁. Владелец: 인하대학교 산학협력단. Дата публикации: 2016-03-10.

Method of manufacturing substrate-supported ceramic interconnect and substrate-supported ceramic interconnect thereof

Номер патента: KR101983534B1. Автор: 이정민,이영희,유영성,전상윤. Владелец: 한국전력공사. Дата публикации: 2019-05-29.

Substrate support apparatus utilizing magnetic support of substrate carrier

Номер патента: JPH11317438A. Автор: Carl T Petersen,H Pond Norman,ノーマン・エイチ・ポンド,カール・ティー・ピーターセン. Владелец: Intevac Inc. Дата публикации: 1999-11-16.

Substrate support plate transfer apparatus for fabricating organic light emitting display

Номер патента: TWI324494B. Автор: Ji Yong Lee,Kwan Seop Song,Hee Cheol Kang. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2010-05-01.

Showerhead cold plates and substrate supports with spiral-shaped channels and circular manifolds

Номер патента: WO2024186720A1. Автор: Adam Christopher MACE,Brian Mwenze BRADLEY,Spoorthi SUBRAMANYA,Indraneel Chandrashekhar NAIK. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-09-12.

INDUCTIVELY-HEATED SUBSTRATE TABLET FOR AEROSOL DELIVERY DEVICE

Номер патента: US20210205552A1. Автор: Jackson Thaddeus,Conner Billy T.,Cleckley Karen H.,Jackson Cortney Rasheen. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-08.

Ferrogmagnetic resonance excitation and its use for heating substrates that are filled with particles

Номер патента: EP1305982B1. Автор: Marcel Roth,Christian N. Kirsten,Hans-Martin Sauer,Olaf Lammerschop. Владелец: Henkel AG and Co KGaA. Дата публикации: 2004-09-22.

Electrically heated substrate with multiple ceramic parts each having different volume resitivities

Номер патента: US6294771B2. Автор: Kiyoshi Araki,Yuji Katsuda,Tsuneaki Ohashi. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2001-09-25.

Electrically heated substrate with multiple ceramic parts each having different volume resitivities

Номер патента: US20010006172A1. Автор: Kiyoshi Araki,Yuji Katsuda,Tsuneaki Ohashi. Владелец: NGK Insulators Ltd. Дата публикации: 2001-07-05.

A kind of heating substrate, heating plate and humidification machine

Номер патента: CN207904392U. Автор: 不公告发明人. Владелец: SHENZHEN RUIZHIGU MEDICAL TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2018-09-25.

Heating substrate

Номер патента: KR101724706B1. Автор: 이선화,채경훈. Владелец: 엘지이노텍 주식회사. Дата публикации: 2017-04-07.

Far infrared composite resin heating substrate, preparation method and application thereof

Номер патента: CN107277948B. Автор: 周游,陶志斌,居苏,吕雅华. Владелец: Dongguan Hongyang Thermal Energy Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-01-22.

Method of handling a substrate support structure in a lithography system

Номер патента: US20130234040A1. Автор: DE JONG Hendrik Jan. Владелец: . Дата публикации: 2013-09-12.

SUBSTRATE SUPPORT WITH FEEDTHROUGH STRUCTURE

Номер патента: US20130256966A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,KULKARNI MAYUR G.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-03.

METHOD AND APPARATUS FOR SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTI-ZONE HEATING

Номер патента: US20130284721A1. Автор: OH JEONGHOON,HOU TAO,CHO Tom K.,HOOSHDARAN Frank F.,YANG Yao-Hung. Владелец: . Дата публикации: 2013-10-31.

RF VOLTAGE SENSOR INCORPORATING MULTIPLE VOLTAGE DIVIDERS FOR DETECTING RF VOLTAGES AT A PICKUP DEVICE OF A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20190051497A1. Автор: LONG Maolin,Paterson Alex,Drewery John. Владелец: . Дата публикации: 2019-02-14.

SUBSTRATE SUPPORT WITH REAL TIME FORCE AND FILM STRESS CONTROL

Номер патента: US20170076915A1. Автор: Boyd,RAJ Govinda,JR. Wendell Glen,BUSCHE Matthew James. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-16.

SUBSTRATE SUPPORT WITH ELECTRICALLY FLOATING POWER SUPPLY

Номер патента: US20190090338A1. Автор: WANG Haitao,PARKHE Vijay D.,KOH Travis Lee,KRAUS Philip Allan,Distaso Daniel,Markovsky Mark,Rowland Christopher A.,CASANOVA Robert. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

SUBSTRATE SUPPORT AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210098224A1. Автор: KITAGAWA Dai. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-04-01.

SUBSTRATE SUPPORT AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210098238A1. Автор: Hayashi Daisuke. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-04-01.

SUBSTRATE SUPPORT AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210098239A1. Автор: Tamura Hajime. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-04-01.

INTEGRATED ELECTRODE AND GROUND PLANE FOR A SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20210104384A1. Автор: PARKHE Vijay D.. Владелец: . Дата публикации: 2021-04-08.

TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20170110298A1. Автор: Ricci Anthony,Povolny Henry. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-20.

SUBSTRATE SUPPORT WITH SWITCHABLE MULTIZONE HEATER

Номер патента: US20140197151A1. Автор: VOLFOVSKI LEON,KULKARNI MAYUR G.,RICE MICHAEL R.,MINKOVICH ALEX. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

SUBSTRATE SUPPORTING MEMBER AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING SAME

Номер патента: US20190115194A1. Автор: LEE Sang Kee. Владелец: SEMES CO., LTD.. Дата публикации: 2019-04-18.

SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY, PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND PLASMA PROCESSING METHOD

Номер патента: US20200118787A1. Автор: Sasaki Yasuharu,IKEGAMI Masashi. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2020-04-16.

SUBSTRATE TREATING APPARATUS, SUBSTRATE SUPPORT UNIT, AND SUBSTRATE TREATING METHOD

Номер патента: US20200118800A1. Автор: Lee Sang-Kee,HA Kang Rae. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-16.

Alumina Substrate Supported Solid Oxide Fuel Cells

Номер патента: US20190123362A1. Автор: Xue Xingjian,Chunlei Ren. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-25.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20210159057A1. Автор: KOSHIMIZU Chishio. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2021-05-27.

SUBSTRATE SUPPORT AND PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20220301833A1. Автор: Hayashi Daisuke. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2022-09-22.

SUBSTRATE SUPPORT, PLASMA PROCESSING APPARATUS, AND FOCUS RING

Номер патента: US20200152428A1. Автор: Sasaki Yasuharu,Uchida Yohei. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2020-05-14.

SUBSTRATE SUPPORT AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20220310367A1. Автор: Saito Michishige. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2022-09-29.

METHODS FOR PROCESSING A SUBSTRATE USING MULTIPLE SUBSTRATE SUPPORT POSITIONS

Номер патента: US20140263169A1. Автор: LEE JOUNG JOO,Ritchie Alan A.,Miller Keith A.,JOHANSON William. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MULTIPLE HEATING ZONES

Номер патента: US20160192444A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,Tsai Cheng-Hsiung,Ravi Jallepally,MATSUSHITA Tomoharu,KAMATH Aravind,KOPPA Manjunatha. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-30.

Thin Heat Dissipation Device and Method for Manufacturing the Same

Номер патента: US20220071054A1. Автор: LEE Ke Chin. Владелец: . Дата публикации: 2022-03-03.

MULTI-CHANNEL THIN HEAT EXCHANGER AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME

Номер патента: US20210222964A1. Автор: Cheng Jen-chih. Владелец: . Дата публикации: 2021-07-22.

Thin Heat Transfer Device for Thermal Management

Номер патента: US20150285573A1. Автор: Stellman Jeffrey Taylor. Владелец: MICROSOFT CORPORATION. Дата публикации: 2015-10-08.

Substrate support body, substrate support structure, light-emitting device, and lamp

Номер патента: EP4145044A4. Автор: Kazuhiro Okamoto,Yoshihide Okawa,Sentarou Yamamoto,Yuhei MATSUMOTO. Владелец: Kyocera Corp. Дата публикации: 2024-06-26.

Substrate support unit in backup device, method for manufacturing the same, device including the unit, and method for replacing the substrate support unit in the device

Номер патента: JPWO2005051066A1. Автор: 信介須原,明伸伊藤,須原　信介. Владелец: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2007-06-14.

Substrate supporting unit in backup system, process for producing the same, apparatus comprising that unit, and method for replacing substrate supporting unit in that apparatus

Номер патента: WO2005051066A1. Автор: Shinsuke Suhara,Akinobu Ito. Владелец: Fuji Machine Mfg. Co., Ltd.. Дата публикации: 2005-06-02.

Jig for setting substrate support pin and method for setting substrate support pin

Номер патента: CN114451079A. Автор: 神田知久,野口刚裕. Владелец: Fuji Corp. Дата публикации: 2022-05-06.

Support pin gripping device and substrate supporting device

Номер патента: JPWO2005081611A1. Автор: 毅近藤,信介須原,明伸伊藤,須原　信介. Владелец: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2008-01-17.

Anisotropy Liquid Crystal Polyester Composition and Radiant Heat Substrate Using the Same

Номер патента: KR101842284B1. Автор: 김훈식,임민호. Владелец: 동우 화인켐 주식회사. Дата публикации: 2018-05-04.

Soldering micro-components onto printed circuits - using liq. heated to above solder m.pt. to heat substrate

Номер патента: FR2473834A1. Автор: Pierre Fournier,Michel Bellevegue. Владелец: Thomson CSF SA. Дата публикации: 1981-07-17.

Flexible Substrate, Support Platform, Flexible Display And Manufacturing Method Thereof

Номер патента: US20140065388A1. Автор: Zhou Weifeng. Владелец: BOE Technology Group Co., Ltd.. Дата публикации: 2014-03-06.

Thin heat dissipation structure

Номер патента: JP4262258B2. Автор: 銀樹洪,佐國尹. Владелец: Sunonwealth Electric Machine Industry Co Ltd. Дата публикации: 2009-05-13.

Laminated structure of flexible substrate-support, panel for electronic device with support, and method for manufacturing panel for electronic device

Номер патента: JPWO2011024690A1. Автор: 聡近藤,近藤　聡. Владелец: Asahi Glass Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-31.

Method of heating substrates heating device and use thereof

Номер патента: AU2003214417A1. Автор: Neil Bell. Владелец: TATLAH MOHAN SIGH. Дата публикации: 2004-03-03.

Deposition of stoichiometric thin layers of ceramic superconductors - by sputtering at gas-pressure of more than 10 pascal of mixt. of inert gas and oxygen onto heated substrate

Номер патента: DE3930063A1. Автор: Christoph Prof Dr Rer N Heiden. Владелец: Licentia Patent Verwaltungs GmbH. Дата публикации: 1990-04-12.

SYSTEM AND METHOD TO DETECT SUBSTRATE AND/OR SUBSTRATE SUPPORT MISALIGNMENT USING IMAGING

Номер патента: US20160125589A1. Автор: Cong Zhepeng,Assaf Shay,CHU Schubert S.,TERTITSKI Leonid M.,VELLORE Kim R.. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-05.

Thin heat pipe structure having enlarged condensing section

Номер патента: US09476652B2. Автор: Chun-Ming Wu. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-25.

Thin heat pipe structure

Номер патента: US20190078844A1. Автор: Chun-Ming Wu. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-14.

Thinned heat dissipation fan with core reversely installed

Номер патента: US09631638B2. Автор: Tong-Xian Chen,Fu-Lung Lin,Hui-Hai Yang. Владелец: Cooler Master Kunshan Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-25.

Thin heat exchange panel

Номер патента: US20200132396A1. Автор: Chiang-Sen Hung. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-04-30.

Thin heat pipe structure and method of forming same

Номер патента: US20130168053A1. Автор: Chun-Ming Wu. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2013-07-04.

Thin Heat Pipe with Sintered Powdered Wick Structure

Номер патента: US20240110751A1. Автор: Xue Mei WANG,Xiao Min ZHANG,Hua-Yuan LIN. Владелец: Vast Glory Electronics and Hardware and Plastic Huizhou Ltd. Дата публикации: 2024-04-04.

Heated substrate support and method of fabricating same

Номер патента: US20060075970A1. Автор: Rolf Guenther,Curtis Hammill. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-04-13.

Substrate support structure, vacuum drying apparatus and method for vacuum drying a substrate

Номер патента: US09719723B2. Автор: Hongwei XING,Min YUAN,Huihui Mu,Hequn Zhang,Longgen Yang. Владелец: Hefei BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-01.

Substrate support device

Номер патента: US10551651B2. Автор: Yu Yang,Min Xu,Kai Wu,Jiajia Shan,Chuang Gao. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-02-04.

Substrate support, lithographic apparatus, substrate inspection apparatus, device manufacturing method

Номер патента: US20210263431A1. Автор: Johannes Petrus Martinus Bernardus Vermeulen,Antonius Franciscus Johannes De Groot,Johannes Adrianus Cornelis Maria Pijnenburg,Luc Leonardus Adrianus Martinus MEULENDIJKS. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2021-08-26.

Direct heat substrate-modified chemical bath deposition system for growth of ultra long zinc oxide (zno) nanorods and process for fabrication of a nano-size junction led

Номер патента: MY193647A. Автор: Hassan Zainuriah,Mahmoud Ahmed Naser,M Mohammad Sabah. Владелец: Univ Sains Malaysia. Дата публикации: 2022-10-21.

Fabrication of integrated computational elements using cylindrical substrate support shaped to match a cross-section of a spatial profile of a deposition plume

Номер патента: US20160298230A1. Автор: Christopher Michael Jones,David L. Perkins,Robert Paul Freese,Richard Neal GARDNER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2016-10-13.

Substrate supporting device and sputtering apparatus including the same

Номер патента: US20090127109A1. Автор: Kaoru Ito,Hirotoshi Matsui. Владелец: Kojima Press Industry Co Ltd. Дата публикации: 2009-05-21.

Inkjet printing device with removable flat substrate support device

Номер патента: EP3365178A1. Автор: Tom Cloots. Владелец: AGFA NV. Дата публикации: 2018-08-29.

Lithographic apparatus and method of controlling substrate support

Номер патента: WO2024165250A1. Автор: Zhuangxiong HUANG,Frederik Eduard De Jong,Niek Jacobus Johannes Roset,Marco Adrianus Peter Van Den Heuvel,Dennis Johannes Franciscus HECK,Beril OK DI LUCENTE. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-08-15.

Inkjet printing device with removable flat substrate support device

Номер патента: WO2017068047A1. Автор: Tom Cloots. Владелец: AGFA GRAPHICS NV. Дата публикации: 2017-04-27.

Method for evaluating the flatness of a substrate support

Номер патента: WO2024217800A1. Автор: Steffen Bezold,Torsten Meissner,Till Warming,Alex Schmidt,Konstantin AFANASIEV,Christoph Matthias BISCHOFF,Jan METJE. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-10-24.

Substrate support, method of compensating unflatness of an upper surface of a substrate, lithogrpahic apparatus and device manufacturing method.

Номер патента: NL2016691A. Автор: POIESZ Thomas. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2016-12-29.

Method of applying sorbent coating on substrate, support, and/or substrate coated with support

Номер патента: RU2611519C2. Автор: Марк БЬЮЛОУ,Майкл ДЬЮРИЛЛА,Джон КАУФФМАН,Паскалине Харрисон ТРАН. Владелец: Басф Корпорейшн. Дата публикации: 2017-02-27.

Substrate support device

Номер патента: US20180203284A1. Автор: Yu Yang,Min Xu,Kai Wu,Jiajia Shan,Chuang Gao. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-07-19.

DIRECT HEAT SUBSTRATE-MODIFIED CHEMICAL BATH DEPOSITION SYSTEM FOR GROWTH OF ULTRA LONG ZINC OXIDE (ZnO) NANORODS AND PROCESS FOR FABRICATION OF A NANO-SIZE JUNCTION LED

Номер патента: WO2017222364A1. Автор: Zainuriah Hassan,Sabah M. MOHAMMAD,Naser Mahmoud AHMED. Владелец: Universiti Sains Malaysia. Дата публикации: 2017-12-28.

Substrate support system for a conveyor printer

Номер патента: US11981512B2. Автор: Andrew James Brown,Anderson McKeague. Владелец: Inca Digital Printers Ltd. Дата публикации: 2024-05-14.

Substrate support cover for high-temperature corrosive environment

Номер патента: US11866821B2. Автор: LIN Zhang,Ying Ma,Stanley Wu,Shuran Sheng,Yikai Chen,Joseph C. Werner,Yixing Lin,Jiyong Huang,Mahesh Adinath KANAWADE. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-01-09.

Ceramic substrate supporting member and method of manufacturing ceramic member

Номер патента: US20120228795A1. Автор: Kazuhiro Ito,Toshiki Ito,Seiji Minoura. Владелец: Ibiden Co Ltd. Дата публикации: 2012-09-13.

A System for Cleaning a Substrate Support, a Method of Removing Matter from a Substrate Support, and a Lithographic Device

Номер патента: NL2020970A. Автор: SCHREUDER André,GUAN Tiannan,LINDEIJER Tjarco,Dirk Scholten Bert. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2018-12-13.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US11660891B2. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2023-05-30.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US11932030B2. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US20200198383A1. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2020-06-25.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: US20220088949A1. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: Kateeva Inc. Дата публикации: 2022-03-24.

Inkjet printer with temperature controlled substrate support

Номер патента: WO2020131677A1. Автор: Alexander Sou-Kang Ko,Christopher Buchner,Digby Pun,Cormac McKinley WICKLOW. Владелец: KATEEVA, INC.. Дата публикации: 2020-06-25.

Monolithic substrate support carrier having porous features and methods of forming the same

Номер патента: WO2024102223A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-05-16.

Liquid containing vessel, liquid containing body, substrate support member, and unit

Номер патента: US20150085027A1. Автор: Ryota Takahashi,Masahiro Karasawa,Seiko HAMAMOTO. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2015-03-26.

Substrate supporting carrier pad

Номер патента: US20020025769A1. Автор: MICHAEL Oliver. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-02-28.

Substrate supporting carrier pad

Номер патента: WO2002016080A8. Автор: Michael R Oliver. Владелец: Rodel Inc. Дата публикации: 2002-08-22.

Substrate support device

Номер патента: US20240318314A1. Автор: Junhyung Kim,Minsung Kim,Sangchul Han,Youngbok Lee,Sangyeon OH,Yunjae Lee,Inhwan Park,Yonjoo Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate support

Номер патента: US09624040B2. Автор: Sharon Nagler,Alexander Feygelman. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2017-04-18.

Heat substrate and/or image enhancement compositions and enhanced tissue ablation methods

Номер патента: US11497554B2. Автор: William Keun Chan Park,Damian E. DUPUY,Edward G. Walsh. Владелец: RHODE ISLAND HOSPITAL. Дата публикации: 2022-11-15.

Substrate support qualification

Номер патента: WO2024078802A1. Автор: Christianus Wilhelmus Johannes BERENDSEN,Johannes Andreas Maria Ammerlaan,Cornelius Maria Rops,Giovanni Luca GATTOBIGIO,Maarten Marinus VAN OENE. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-04-18.

Substrate support and lithographic apparatus

Номер патента: WO2024099640A1. Автор: Zhuangxiong HUANG,Niek Jacobus Johannes Roset,Thilo Nils Martin SEEGER. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-05-16.

Catalyst substrate support

Номер патента: EP1691048B1. Автор: John P. Muter. Владелец: DCL International Inc. Дата публикации: 2008-03-05.

Device including a component in alignment with a substrate-supported waveguide

Номер патента: US4966433A. Автор: Greg E. Blonder. Владелец: AT&T Bell Laboratories Inc. Дата публикации: 1990-10-30.

Printer with a substrate support, in particular matrix pin printer

Номер патента: US5106218A. Автор: Günter Gomoll,Wolfgang Hauslaib,Ulrich Buschmann. Владелец: Mannesmann AG. Дата публикации: 1992-04-21.

Substrate support and lithographic apparatus

Номер патента: WO2023241893A1. Автор: Niek Jacobus Johannes Roset,Daniel PONTONI,Thilo Nils Martin SEEGER,Joy HUIBERTS,Simon Karel RAVENSBERGEN,Zhuangxiong Sjoerd HUANG. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2023-12-21.

Substrate supporting device for vacuum sputtering equipment

Номер патента: US20200087779A1. Автор: Qiuping Huang. Владелец: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-19.

Monolithic substrate support having porous features and methods of forming the same

Номер патента: US20240158308A1. Автор: Arvinder Manmohan Singh CHADHA,Christopher BEAUDRY. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Heating device with thin heating boards

Номер патента: AU2006100307A4. Автор: Ching-Song Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-05-18.

Heating device with thin heating boards

Номер патента: CA2542388A1. Автор: Ching-Song Chen. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-10-07.

Novel ultra-thin heat-preservation outer-hanging wallboard made of UHPC and construction process of novel ultra-thin heat-preservation outer-hanging wallboard

Номер патента: CN114108978A. Автор: 廖海军,汪明,侯键频,刘勇刚. Владелец: Sichuan Huagou Prefabricated Architectural Design Research Co ltd. Дата публикации: 2022-03-01.

RIVETING APPARATUS FOR THIN HEAT SINK FIN AND THIN COVER PLATE

Номер патента: US20200206803A1. Автор: Huang Tsung-Hsien. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-02.

RIVETING APPARATUS FOR THIN HEAT SINK FIN AND THIN COVER PLATE

Номер патента: US20210389059A1. Автор: Huang Tsung-Hsien. Владелец: . Дата публикации: 2021-12-16.

Brazing method between thin heat transfer plates and brazed plate heat exchanger manufactured by this method

Номер патента: JP5480521B2. Автор: ジェンス、エリック、ヨハネスラスムス、,ペル、エリックシェーディン、. Владелец: アルファラヴァルコーポレイトアクチボラゲット. Дата публикации: 2014-04-23.

Method of brazing thin heat exchanging plates and brazed plate heat exchanger produced according to the method

Номер патента: US7685716B2. Автор: Jens Erik Johannes Rassmus,Per Erik Sjodin. Владелец: ALFA LAVAL CORPORATE AB. Дата публикации: 2010-03-30.

Heating device with thin heating boards

Номер патента: EP1847784A1. Автор: Ching-Song Chen. Владелец: Ching-Song Chen. Дата публикации: 2007-10-24.

Heating device with thin heating boards

Номер патента: US7388176B2. Автор: Ching-Song Chen. Владелец: Ching-Song Chen. Дата публикации: 2008-06-17.

Method of brazing thin heat exchanging plates and brazed plate heat exchanger produced according to the method

Номер патента: PT1383624E. Автор: Per Erik Sjoedin,Jens Erik Johannes Rassmus. Владелец: Alfa Laval Corp Ab. Дата публикации: 2009-05-14.

Developer storage container, developing device, image forming apparatus and substrate support structure

Номер патента: US20180004122A1. Автор: Shigenori Koido. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2018-01-04.

Developer storage container, developing device, image forming apparatus and substrate support structure

Номер патента: US09927738B2. Автор: Shigenori Koido. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2018-03-27.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20140082943A1. Автор: Yang Hsiu-Wei,Weng Ming-Tai. Владелец: ASIA VITAL COMPONENTS CO., LTD.. Дата публикации: 2014-03-27.

Ultra Thin Heat Exchangers For Thermal Management

Номер патента: US20190033006A1. Автор: Vanderwees Doug,Lin Shuding,St. Pierre Mike. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-31.

MANUFACTURING METHOD OF THIN HEAT PIPE

Номер патента: US20140150263A1. Автор: Wu Chun-Ming. Владелец: ASIA VITAL COMPONENTS CO., LTD.. Дата публикации: 2014-06-05.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE

Номер патента: US20190078844A1. Автор: Wu Chun-Ming. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-14.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20140165401A1. Автор: Yang Hsiu-Wei. Владелец: ASIA VITAL COMPONENTS CO., LTD.. Дата публикации: 2014-06-19.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE

Номер патента: US20160131437A1. Автор: Wu Chun-Ming. Владелец: . Дата публикации: 2016-05-12.

Thin heat exchange panel

Номер патента: US20200132396A1. Автор: Chiang-Sen Hung. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-04-30.

THINNED HEAT DISSIPATION FAN WITH CORE REVERSELY INSTALLED

Номер патента: US20150159672A1. Автор: Lin Fu-Lung,YANG Hui-Hai,CHEN Tong-Xian. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-11.

THIN HEATING DEVICE

Номер патента: US20140253156A1. Автор: Lo Mao-Yuan. Владелец: . Дата публикации: 2014-09-11.

COAXIAL CAPILLARY STRUCTURE AND ULTRA-THIN HEAT PIPE STRUCTURE HAVING THE SAME

Номер патента: US20150176918A1. Автор: PAI Hao. Владелец: . Дата публикации: 2015-06-25.

THIN HEATING PIPE

Номер патента: US20140305616A1. Автор: JANG YUNG-LI,Shan Jianbing. Владелец: WISTRON CORP.. Дата публикации: 2014-10-16.

THIN HEAT DISSIPATION FOIL AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20160320142A1. Автор: HO MING-JAAN,SHEN FU-YUN,HU XIAN-QIN. Владелец: . Дата публикации: 2016-11-03.

ULTRA-THIN HEAT PIPE AND MANUFACTURING METHOD OF THE SAME

Номер патента: US20200326133A1. Автор: Cheng Jen-chih. Владелец: . Дата публикации: 2020-10-15.

Vacuum evaporator - for depositing metal films on thin heat -sensitive substrates eg plastic films

Номер патента: FR2114081A5. Автор: . Владелец: Laboratoires dElectronique et de Physique Appliquee. Дата публикации: 1972-06-30.

Full-automatic ultra-thin heat pipe welding machining workstation

Номер патента: CN114986008A. Автор: 岳岭,杨慧霞. Владелец: Guangzhou Lingtong Electromechanical Equipment Co ltd. Дата публикации: 2022-09-02.

A kind of water-thinned heat reflecting multicolor finish

Номер патента: CN107880753A. Автор: 高平,张海军,黄远明. Владелец: Guangdong Huazibuxin Mstar Technology Ltd. Дата публикации: 2018-04-06.

Production of a container or cover, decorated inside and outside, by assembling, during thermoforming, thin heat-meltable film whose amalgamation imparts the desired rigidity to the assembly, in a single operation

Номер патента: FR2574019A1. Автор: . Владелец: DELTEIL DENIS. Дата публикации: 1986-06-06.

Multifunctional thin heat-insulating material for building outer wall and preparation method thereof

Номер патента: CN114524683A. Автор: 杨帆,吴小飞,袁攀,彭志渊,王增玉. Владелец: Tianyi Construction Development Co ltd. Дата публикации: 2022-05-24.

Shoe mould holder in injection moulding machine - with thin heat insulating plate between mould and revolving head

Номер патента: FR2352509A1. Автор: Hideki Hayashi,Sadayoshi Ishii. Владелец: Nippon Rubber Co Ltd. Дата публикации: 1977-12-23.

Thin heat pipe structure and manufacturing method thereof

Номер патента: TW201248107A. Автор: xiu-wei Yang,Ming-Tai Weng. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-01.

Ultra-thin heat dissipation pad for notebook computer

Номер патента: TWM368116U. Автор: ming-xin Lin. Владелец: Banestars Co. Дата публикации: 2009-11-01.

Fabrication of integrated computational elements using substrate support shaped to match spatial profile of deposition plume

Номер патента: EP2929319A1. Автор: Christopher Michael Jones,David L. Perkins,Robert Paul Freese,Richard Neal GARDNER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2015-10-14.

Fabrication of integrated computational elements using substrate support shaped to match spatial profile of deposition plume

Номер патента: US20150337435A1. Автор: Christopher Michael Jones,David L. Perkins,Robert Paul Freese,Richard Neal GARDNER. Владелец: Halliburton Energy Services Inc. Дата публикации: 2015-11-26.

Heated substrate support and method of fabricating same

Номер патента: CN1760722A. Автор: 罗尔夫·A·冈瑟,柯蒂斯·B·哈米尔. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2006-04-19.

Substrate holder, substrate support, lithographic apparatus and method

Номер патента: WO2024184007A1. Автор: Paulus Albertus VAN HAL,Utkarsh Jain,Dennis Dominic VAN DER VOORT. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-09-12.

Process for selective coating of textured support substrate, involves selectively separating coating material from reaction solution at heated substrate areas

Номер патента: DE102012023349A1. Автор: Gerhard Franz,Florian Schamberger,Dieter Jocham,Alexandra Kutschera,Samira Seyedi. Владелец: Hochschule Muenchen. Дата публикации: 2014-06-05.

APPARATUS AND METHOD FOR HEATING SUBSTRATES IN A REACTOR FOR EPITAXIALLY AXISMALLY SYMMETRIC DEPOSITION OF MATERIALS

Номер патента: FR2606880A1. Автор: Mcdonald Robinson,Wayne L Johnson,Ronald D Behee,Wiebe B De Boer. Владелец: Epsilon LP. Дата публикации: 1988-05-20.

Group iv nanowires grown from inductively or resistively heated substrates

Номер патента: WO2015054687A1. Автор: Tobias Hanrath,Benjamin T. RICHARDS. Владелец: CORNELL UNIVERSITY. Дата публикации: 2015-04-16.

Precision height adjustable flooring substrate support sytem

Номер патента: US09499992B2. Автор: Philip Busby. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-11-22.

Metal organic vapor deposition procedure for preparing group III--V compounds on a heated substrate

Номер патента: US4436769A. Автор: Rodney H. Moss,Marc M. Faktor. Владелец: British Telecommunications plc. Дата публикации: 1984-03-13.

Magnetic doll set with thin substrate supported by a frame and by walls thereon

Номер патента: US3946520A. Автор: Erwin Benkoe,Adolph E. Goldfarb. Владелец: Individual. Дата публикации: 1976-03-30.

Heating device heating substrate uniformly and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: KR20100028752A. Автор: 이승호,최선홍,양철훈. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2010-03-15.

Container for cultivating plants without soil has substrate in bag with heat exchange fluid duct for heating substrate

Номер патента: FR2790911A1. Автор: . Владелец: Barre SARL. Дата публикации: 2000-09-22.

A SYSTEM FOR CLEANING A SUBSTRATE SUPPORT, A METHOD OF REMOVING MATTER FROM A SUBSTRATE SUPPORT, AND A LITHOGRAPHIC APPARATUS

Номер патента: US20200103770A1. Автор: SCHOLTEN Bert Dirk,SCHREUDER André,GUAN Tiannan,LINDEIJER Tjarco. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2020-04-02.

METHOD OF MOUNTING SUBSTRATE SUPPORT IN CHAMBER, METHOD OF DISMOUNTING SUBSTRATE SUPPORT AND AUXILIARY TRANSPORT TOOL

Номер патента: US20160121462A1. Автор: HITOMI Taku,MAJIMA Miho. Владелец: ASM IP HOLDING B.V.. Дата публикации: 2016-05-05.

GLASS SUBSTRATE SUPPORT APPARATUSES AND METHODS OF PROVIDING FLEXIBLE GLASS SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20180200858A1. Автор: Qaroush Yousef Kayed,Shafrir Shai Negev. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

HOOKAH DEVICE FOR HEATING SUBSTRATE WITHOUT COMBUSTION

Номер патента: RU2020124122A. Автор: Седрик МЕЙЕР,Дэвид КРОСС,Самюэль Боннели,Майкл Пэйтон,Ангелос КОЛИРИС,Стюарт Майкл Руан ДЖОНС,Джон Энтони СТИВЕНСОН,Яан Томас КИНЭЛЛИ. Владелец: ФИЛИП МОРРИС ПРОДАКТС С.А.. Дата публикации: 2020-08-03.

Substrate-supported catalyst and method for manufacturing substrate-supported catalyst

Номер патента: EP2829323A4. Автор: Toru Kamata,Masahiko Funabashi,Nagatoshi Nishiwaki. Владелец: Kochi University of Technology. Дата публикации: 2015-11-18.

Substrate-supported catalyst and method for manufacturing substrate-supported catalyst

Номер патента: CN104203405A. Автор: 镰田彻,舟桥正彦,西胁永敏. Владелец: Kochi University of Technology. Дата публикации: 2014-12-10.

Frame layer receiving a substrate supported sel stage

Номер патента: EP3440699A1. Автор: Michael W. Cumbie,Chien-Hua Chen,Devin A. Mourey. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2019-02-13.

Method and device for printing on heated substrates

Номер патента: EP2432640B1. Автор: Hanan Gothait,Eliahu M. Kritchman,Yigal Rozval,Meir Debi. Владелец: Xjet Ltd. Дата публикации: 2024-04-03.

Heat treatment apparatus and method for heating substrate by irradiation thereof with light

Номер патента: US20120261400A1. Автор: Tatsufumi Kusuda. Владелец: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2012-10-18.

Substrate supporting carrier pad

Номер патента: TW515739B. Автор: Michael R Oliver. Владелец: Rodel Inc. Дата публикации: 2003-01-01.

A substrate supporting device, a substrate transfer mechanism, a polarizing film bonding device, and a liquid crystal display device manufacturing system having the same

Номер патента: TWI545681B. Автор: Rikiya Matsumoto. Владелец: Sumitomo Chemical Co. Дата публикации: 2016-08-11.

Planetary substrate support apparatus for vapour vacuum depositing coating

Номер патента: GB2133764A. Автор: Henry E Brandolf. Владелец: MULTI ARC VACUUM SYST. Дата публикации: 1984-08-01.

Developer storage container, developing device, image forming apparatus and substrate support structure

Номер патента: EP3264191B1. Автор: Shigenori Koido. Владелец: Oki Data Corp. Дата публикации: 2019-08-14.

Liquid containing vessel, liquid containing body, substrate support member, and unit

Номер патента: EP2851202B1. Автор: Ryota Takahashi,Masahiro Karasawa,Seiko HAMAMOTO. Владелец: Seiko Epson Corp. Дата публикации: 2018-08-22.

A substrate supporting device, and an exposure device

Номер патента: TWI581362B. Автор: 堀正和,加藤正紀,木內徹,鬼頭義昭. Владелец: 尼康股份有限公司. Дата публикации: 2017-05-01.

Method of producing a magnetic recording medium comprising a substrate supporting a film of discrete magnetic particles in a plastics binder matrix

Номер патента: DE3165331D1. Автор: Don Edward Pickart,Philip Wayne Reed,Joseph Simon Vranka. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1984-09-13.

Substrate support with integrated prober drvie

Номер патента: TW200710397A. Автор: Fayez E Abboud,Benjamin M Johnston,Hung T Nguyen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2007-03-16.

Lithographic apparatus, substrate support system, device manufacturing method and control program

Номер патента: US09715182B2. Автор: Wilhelmus Henricus Theodorus Maria AANGENENT,Ramidin Izair Kamidi,Marinus Maria Johannes VAN DE WAL,Khalid Manssouri. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2017-07-25.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY LIGHT-IRRADIATION

Номер патента: US20130148948A1. Автор: Kato Shinichi. Владелец: . Дата публикации: 2013-06-13.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY LIGHT IRRADIATION

Номер патента: US20130248504A1. Автор: KUSUDA Tatsufumi. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2013-09-26.

HEAT TREATMENT APPARATUS HEATING SUBSTRATE

Номер патента: US20220178015A1. Автор: Kondo Yasuaki,Omori Mao. Владелец: . Дата публикации: 2022-06-09.

Heat Substrate and/or Image Enhancement Compositions and Enhanced Tissue Ablation Methods

Номер патента: US20180153617A1. Автор: William Keun Chan Park,Damian E. DUPUY,Edward G. Walsh. Владелец: RHODE ISLAND HOSPITAL. Дата публикации: 2018-06-07.

Method and Device for Printing on Heated Substrates

Номер патента: US20160229209A1. Автор: Kritchman Eliahu M.,Gothait Hanan,ROZVAL Yigal,DEBI Meir. Владелец: XJET LTD.. Дата публикации: 2016-08-11.

GROUP IV NANOWIRES GROWN FROM INDUCTIVELY OR RESISTIVELY HEATED SUBSTRATES

Номер патента: US20160237591A1. Автор: HANRATH Tobias,RICHARDS Benjamin T.. Владелец: . Дата публикации: 2016-08-18.

PULSED ELECTROTHERMAL ICE PROTECTION SYSTEMS WITH COATED HEATING SUBSTRATES

Номер патента: US20140326712A1. Автор: Hamm Richard Roy. Владелец: GOODRICH CORPORATION. Дата публикации: 2014-11-06.

METHOD AND DEVICE FOR PRINTING ON HEATED SUBSTRATES

Номер патента: US20190232696A1. Автор: Kritchman Eliahu M.,Gothait Hanan,ROZVAL Yigal,DEBI Meir. Владелец: XJET LTD.. Дата публикации: 2019-08-01.

Cadmium stannate thin film formation - by spraying aq. soln. of cadmium and stannic chlorides onto heated substrate

Номер патента: FR2335462A1. Автор: . Владелец: American Cyanamid Co. Дата публикации: 1977-07-15.

Micro engine e.g. monergol-hydrazine engine, for use as satellite position controlling engine, has resistance heater for heating substrate material sections to preset temperature, where sections form catalyzer

Номер патента: DE102007006444A1. Автор: Gerhard Dr. Müller,Alois Dr. Friedberger,Georg Schulte,Dimitri Telitschkin,Stefan Dr. Ziegenhagen. Владелец: EADS DEUTSCHLAND GmbH. Дата публикации: 2008-08-07.

Reaction vessel for depositing semiconductor material on heated substrates

Номер патента: DE2324365C3. Автор: Wolfgang Dipl.-Chem. Dr. Rer.Nat. 8000 Muenchen Dietze,Herbert Dipl.-Chem. Dr.Rer.Nat. 8011 Vaterstetten Sandmann. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1978-05-11.

Method and device for printing on heated substrates

Номер патента: US10723156B2. Автор: Hanan Gothait,Eliahu M. Kritchman,Yigal Rozval,Meir Debi. Владелец: Xjet Ltd. Дата публикации: 2020-07-28.

Energy-resistant, corrosion-resistant and wear-resistant thermosensitive printing head heating substrate

Номер патента: CN114379238B. Автор: 陈文卓,徐继清,王吉刚,冷正超. Владелец: Shandong Hualing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-28.

Device for heating substrate

Номер патента: JPS5953671A. Автор: Tsutomu Otake,大竹　勉. Владелец: Suwa Seikosha KK. Дата публикации: 1984-03-28.

Method and device for heating substrates

Номер патента: DE50201384D1. Автор: Juergen Vogt,Rolf Meyer,Peter Woerner,Hartmut Eggert,Armin Kunkel. Владелец: SCHOTT AG. Дата публикации: 2004-12-02.

Heat substrate and/or image enhancement compositions and enhanced tissue ablation methods

Номер патента: CA2988389A1. Автор: William Keun Chan Park,Damian E. DUPUY,Edward G. Walsh. Владелец: RHODE ISLAND HOSPITAL. Дата публикации: 2016-12-08.

Heating substrate for thermal print head

Номер патента: CN219096312U. Автор: 王超,王强,毕文波,徐海锋,副岛和彦. Владелец: Shandong Hualing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-30.

Solid lubricants contg. transition metal borides - made by deposn. from gaseous mixts. on to heated substrates

Номер патента: DE2358860A1. Автор: Julius Dipl Chem Dr Nickl. Владелец: Individual. Дата публикации: 1975-06-05.

Reaction vessel for depositing semiconductor material on heated substrates

Номер патента: DE2358279C3. Автор: Ulrich Rucha,Gerhard Barowski,Wolfgang Dipl.-Chem. Dr. Dietze,Herbert Dipl.-Chem. Dr. 8011 Vaterstetten Sandmann. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1978-09-21.

Heat substrate and/or image enhancement compositions and enhanced tissue ablation methods

Номер патента: WO2016197093A1. Автор: William Keun Chan Park,Damian E. DUPUY,Edward G. Walsh. Владелец: RHODE ISLAND HOSPITAL. Дата публикации: 2016-12-08.

The incombustible water cigarette device for heated substrate

Номер патента: CN109068725A. Автор: A·克里瑞斯. Владелец: PHILIP MORRIS PRODUCTS SA. Дата публикации: 2018-12-21.

For heated substrate without the water cigarette device of burning

Номер патента: CN108882748A. Автор: D·克罗斯,S·博纳利,C·梅耶尔,M·帕顿,J·A·斯蒂芬森,S·M·R·琼斯,A·克里瑞斯,Y·T·基纳利. Владелец: PHILIP MORRIS PRODUCTS SA. Дата публикации: 2018-11-23.

Method and apparatus for printing on a heated substrate

Номер патента: JP6556305B2. Автор: エリアフエム．クリッチマン,エリアフエム．クリッチマン,ハナンゴタイト,イガルロズヴァル,メイアデビ. Владелец: Xjet Ltd. Дата публикации: 2019-08-07.

Pulsed electrothermal ice protection systems with coated heating substrates

Номер патента: EP2808258B1. Автор: Richard R Hamm. Владелец: Goodrich Corp. Дата публикации: 2016-11-23.

SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20130065742A1. Автор: Nagler Sharon,Feygelman Alexander. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-14.

MODIFICATION OF EXISTING WASTEWATER SYSTEMS WITH SUBSTRATE SUPPORTED BIOFILMS

Номер патента: US20130193068A1. Автор: Wilson Kenneth,Jones R. Gavin,Grisham Phillip,Holland Sabin,Rainone Michael D.. Владелец: . Дата публикации: 2013-08-01.

SUBSTRATE SUPPORT WITH CERAMIC INSULATION

Номер патента: US20130228124A1. Автор: CHOI Soo Young,WHITE John M.,ANWAR Suhail,KURITA Shinichi,FURUTA Gaku,TINER Robin L.. Владелец: . Дата публикации: 2013-09-05.

SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM HAVING SUSCEPTORLESS SUBSTRATE SUPPORT WITH ENHANCED SUBSTRATE HEATING CONTROL

Номер патента: US20130256962A1. Автор: Ranish Joseph M.,PATALAY KAILASH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-10-03.

STAMPING AND/OR DRILLING DEVICE COMPRISING A SUBSTRATE SUPPORT HEAD WITH CONTINUOUSLY CONTROLLED ORIENTATION

Номер патента: US20130307173A1. Автор: Bredeau Stephane,Bancillon Jacky. Владелец: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENE ALT. Дата публикации: 2013-11-21.

SUBSTRATE SUPPORT WITH RADIO FREQUENCY (RF) RETURN PATH

Номер патента: US20130319854A1. Автор: PARKHE Vijay D.,HANSON RYAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-12-05.

OBSERVATION DEVICE, INSPECTION DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE, AND SUBSTRATE SUPPORT MEMBER

Номер патента: US20130330848A1. Автор: Inoue Takeshi,Minato Kazuharu. Владелец: . Дата публикации: 2013-12-12.

ROUGHENED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20140027289A1. Автор: CHOI Soo Young,PARK Beom Soo,LEE Dongsuh,STERLING William N.. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-01-30.

SUBSTRATE SUPPORT WITH MORE UNIFORM EDGE PURGE

Номер патента: US20160002778A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,Ravi Jallepally,TSAI CHENG-HSIUNG MATTHEW,MATSUSHITA Tomoharu,KOPPA Manjunatha,KAMATH ARAVIND MIYAR. Владелец: . Дата публикации: 2016-01-07.

DEVELOPER STORAGE CONTAINER, DEVELOPING DEVICE, IMAGE FORMING APPARATUS AND SUBSTRATE SUPPORT STRUCTURE

Номер патента: US20180004122A1. Автор: KOIDO Shigenori. Владелец: Oki Data Corporation. Дата публикации: 2018-01-04.

SUBSTRATE SUPPORT, APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE, AND METHOD OF ADJUSTING TEMPERATURE OF SUBSTRATE

Номер патента: US20220010428A1. Автор: KOBAYASHI Toshiki,TSUDA Einosuke. Владелец: . Дата публикации: 2022-01-13.

METHODS AND APPARATUS FOR SUBSTRATE SUPPORT ALIGNMENT

Номер патента: US20160033882A1. Автор: DEEPAK JADHAV. Владелец: . Дата публикации: 2016-02-04.

CONNECTOR FOR SUBSTRATE SUPPORT WITH EMBEDDED TEMPERATURE SENSORS

Номер патента: US20210047732A1. Автор: Tian Siyuan,MILLER Donald J.. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2021-02-18.

INKJET PRINTER WITH TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20220088949A1. Автор: KO Alexander Sou-Kang,BUCHNER Christopher,Pun Digby,Wicklow Cormac McKinley. Владелец: KATEEVA, INC.. Дата публикации: 2022-03-24.

LIQUID CONTAINING VESSEL, LIQUID CONTAINING BODY, AND SUBSTRATE SUPPORT MEMBER

Номер патента: US20150085026A1. Автор: KARASAWA Masahiro,Takahashi Ryota,HAMAMOTO Seiko. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-26.

LIQUID CONTAINING VESSEL, LIQUID CONTAINING BODY, SUBSTRATE SUPPORT MEMBER, AND UNIT

Номер патента: US20150085027A1. Автор: KARASAWA Masahiro,Takahashi Ryota,HAMAMOTO Seiko. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-26.

LIQUID CONTAINING VESSEL, LIQUID CONTAINING BODY, SUBSTRATE SUPPORT MEMBER, AND UNIT

Номер патента: US20150085029A1. Автор: KARASAWA Masahiro,Takahashi Ryota,HAMAMOTO Seiko. Владелец: . Дата публикации: 2015-03-26.

PLATEN WITH DIAGONAL SUBSTRATE SUPPORT SURFACES

Номер патента: US20150085044A1. Автор: García Daniel Gutiérrez,Maza Jesùs Garcìa,Morera David Claramunt,Trigo Antonio Hinojosa. Владелец: Hewlett-Packard Development Company, L.P.. Дата публикации: 2015-03-26.

SUBSTRATE SUPPORTING DEVICE FOR VACUUM SPUTTERING EQUIPMENT

Номер патента: US20200087779A1. Автор: Huang Qiuping. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-19.

Flooring Substrate Support System

Номер патента: US20170107726A1. Автор: Busby Philip. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-20.

METHOD AND APPARATUS FOR ALIGNING SUBSTRATES ON A SUBSTRATE SUPPORT UNIT

Номер патента: US20180113386A1. Автор: Schipper Bart. Владелец: . Дата публикации: 2018-04-26.

SUBSTRATE SUPPORT UNIT, THIN FILM DEPOSITION APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME

Номер патента: US20200109472A1. Автор: Um KiChul,Han JeungHoon,Kim DooHan,Han YongGyu. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-09.

SUBSTRATE SUPPORT, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND LOADING METHOD

Номер патента: US20190113853A1. Автор: Symens Wim,DE GROOT Antonius Franciscus Johannes,VLES David Ferdinand,Onvlee Johannes. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2019-04-18.

Frame layer receiving a substrate supported sel stage

Номер патента: US20190145896A1. Автор: Michael W. Cumbie,Chien-Hua Chen,Devin A. Mourey. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2019-05-16.

SUBSTRATE SUPPORTED SEL STAGE AND HOUSING

Номер патента: US20190145898A1. Автор: Chen Chien-Hua,Cumbie Michael W.,Mourey Devin A.. Владелец: Hewlett-Packard Development Company, L.P.. Дата публикации: 2019-05-16.

SUBSTRATE SUPPORT PLATE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS INCLUDING THE SAME, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20210180188A1. Автор: KIM Jaehyun,Lee SeungHwan,Kim DaeYoun. Владелец: . Дата публикации: 2021-06-17.

METHOD OF DETERMINING THERMAL STABILITY OF A SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY

Номер патента: US20150168962A1. Автор: Gaff Keith William,WALDMANN Ole,PAPE Eric A.,Leal-Verdugo Carlos. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2015-06-18.

SYSTEM AND METHOD FOR CALCULATING SUBSTRATE SUPPORT TEMPERTURE

Номер патента: US20180173255A1. Автор: WETZEL David Joseph,Bleakie Alexander,Theisen Jacob Frederick. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-21.

SUBSTRATE SUPPORT PLATE WITH IMPROVED LIFT PIN SEALING

Номер патента: US20140265097A1. Автор: YUAN XIAOXIONG,TZU GWO-CHUAN,CUVALCI OLKAN. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-09-18.

SUBSTRATE SUPPORT, METHOD OF COMPENSATING UNFLATNESS OF AN UPPER SURFACE OF A SUBSTRATE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20180188660A1. Автор: POIESZ Thomas. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2018-07-05.

ROUGHENED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20150202739A1. Автор: CHOI Soo Young,PARK Beom Soo,LEE Dongsuh,STERLING William N.. Владелец: . Дата публикации: 2015-07-23.

SUBSTRATE SUPPORT DEVICE

Номер патента: US20180203284A1. Автор: XU Min,Yang Yu,Wu Kai,Gao Chuang,SHAN Jiajia. Владелец: . Дата публикации: 2018-07-19.

INKJET PRINTER WITH TEMPERATURE CONTROLLED SUBSTRATE SUPPORT

Номер патента: US20200198383A1. Автор: KO Alexander Sou-Kang,BUCHNER Christopher,Pun Digby,Wicklow Cormac McKinley. Владелец: KATEEVA, INC.. Дата публикации: 2020-06-25.

DISTANCE MEASUREMENT BETWEEN GAS DISTRIBUTION DEVICE AND SUBSTRATE SUPPORT AT HIGH TEMPERATURES

Номер патента: US20200217657A1. Автор: Linebarger,JR. Nick Ray,EMERSON Mark E.. Владелец: . Дата публикации: 2020-07-09.

Enriching device with thin heating panels

Номер патента: RU2318165C1. Автор: Чинг-Сонг ЧЭН. Владелец: Чинг-Сонг ЧЭН. Дата публикации: 2008-02-27.

SUBSTRATE SUPPORT TABLE OF PLASMA PROCESSING DEVICE

Номер патента: US20120002345A1. Автор: . Владелец: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE SUPPORT FOR USE WITH MULTI-ZONAL HEATING SOURCES

Номер патента: US20120003599A1. Автор: Sanchez Errol,PATALAY KAILASH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

CONSUMABLE ISOLATION RING FOR MOVABLE SUBSTRATE SUPPORT ASSEMBLY OF A PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20120000605A1. Автор: Dhindsa Rajinder,Kellogg Michael C.,Marakhtanov Alexei. Владелец: Lam Research Corporation.. Дата публикации: 2012-01-05.

A Treatment Tool for Cleaning a Substrate Support, a Lithographic Apparatus and a Method for Cleaning a Substrate Support

Номер патента: NL2023656A. Автор: VAN DER WILK Ronald,Hubertus Matheus Baltis Coen,Andreas Maria Ammerlaan Johannes,Elza Roeland Audenaerdt Daniel,Leduc Catherine. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2019-09-10.

Ultra -thin heat conduction component of application etch process and ultra -thin heat conduction component of buckling

Номер патента: CN205488103U. Автор: 柯列. Владелец: Shenzhen Zeta Electronic Co ltd. Дата публикации: 2016-08-17.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE AND METHOD OF MANUFACTURING SAME

Номер патента: US20120180995A1. Автор: Yang Hsiu-Wei,Weng Ming-Tai. Владелец: ASIA VITAL COMPONENTS CO., LTD.. Дата публикации: 2012-07-19.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120305223A1. Автор: Yang Hsiu-Wei,Weng Ming-Tai. Владелец: ASIA VITAL COMPONENTS CO., LTD.. Дата публикации: 2012-12-06.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

Номер патента: US20120312507A1. Автор: Yang Hsiu-Wei. Владелец: . Дата публикации: 2012-12-13.

THIN HEAT SINK

Номер патента: US20130126125A1. Автор: WANG Cheng-Tu,Tseng Chi-Chung. Владелец: . Дата публикации: 2013-05-23.

THIN HEAT PIPE STRUCTURE AND METHOD OF FORMING SAME

Номер патента: US20130168053A1. Автор: Wu Chun-Ming. Владелец: ASIA VITAL COMPONENTS CO., LTD.. Дата публикации: 2013-07-04.

THIN HEAT PIPE

Номер патента: US20130175008A1. Автор: Lin Chun-Hung,YEH Chien-Chih,CHEN Wen-Shiang,Tao Chian. Владелец: . Дата публикации: 2013-07-11.

Ultra -thin heat pipe of high -efficient imbibition core

Номер патента: CN205373480U. Автор: 陶莉,陈福胜,杨定宇,周日海,侯振压. Владелец: Shanghai Lizheng Satellite Application Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-07-06.

A kind of ultra-thin heat-sealing film of damp-proof

Номер патента: CN208150072U. Автор: 李江,李鹏,赵永,倪家祥,汤进芬,刘建会. Владелец: YUXI ZIQIANG YUXIN PACKING MATERIALS CO Ltd. Дата публикации: 2018-11-27.

Extremely thin heat conduction device

Номер патента: CN203704740U. Автор: 饶振奇,何信威. Владелец: Suzhou Juli Motor Co Ltd. Дата публикации: 2014-07-09.

Nanometer acrylic acid microemulsion, water-thinned heat reflecting and isolating paint and their production process

Номер патента: CN1361186A. Автор: 耿世斋. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-07-31.

thin heating device

Номер патента: CN207443139U. Автор: 吴欣龙. Владелец: A Data Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-01.

Thin heat preservation structure that plasters

Номер патента: CN215907048U. Автор: 张强功. Владелец: Henan Neruite Industrial Co ltd. Дата публикации: 2022-02-25.

Shoe mould holder in injection moulding machine - with thin heat insulating plate between mould and revolving head

Номер патента: IT1065345B. Автор: . Владелец: Nippon Rubber Co. Дата публикации: 1985-02-25.

Thin heat radiating metal sheet electric panel heater

Номер патента: CA1030200A. Автор: Toshihiko Tsuji. Владелец: Nippon Kinzoku Co Ltd. Дата публикации: 1978-04-25.

thin heating device

Номер патента: CN207440242U. Автор: 吴欣龙. Владелец: A Data Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-01.

A kind of ultra-thin heat radiation street lamp

Номер патента: CN208846280U. Автор: 秦绿森. Владелец: Suzhou Dake Energy Management Co ltd. Дата публикации: 2019-05-10.

Table with thin heating system

Номер патента: KR200280370Y1. Автор: 박영석. Владелец: 박영석. Дата публикации: 2002-07-02.

Ultra-thin heating plate

Номер патента: TWM573513U. Автор: 李佩珊,李承峯,陳奕翔,馬國洋,何木春,周偉權. Владелец: 天虹科技股份有限公司. Дата публикации: 2019-01-21.

Thin heat-pipe structure

Номер патента: TWM425317U. Автор: Chun-Ming Wu. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2012-03-21.

Thin heat-pipe structure

Номер патента: TWM417531U. Автор: xiu-wei Yang. Владелец: Asia Vital Components Co Ltd. Дата публикации: 2011-12-01.

An ultra - thin heat pipe and its manufacturing method

Номер патента: TWI547327B. Автор: qi-liang Chen,Xin-Ping Zeng,yuan-yuan Gao. Владелец: . Дата публикации: 2016-09-01.

RADIANT HEAT SUBSTRATE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE RADIANT HEAT SUBSTRATE, AND LUMINOUS ELEMENT PACKAGE WITH THE RADIANT HEAT SUBSTRATE

Номер патента: US20120043875A1. Автор: Kim Tae Hoon,LEE Young Ki,Park Ji Hyun,HEO Cheol Ho,SHIN Sang Hyun,SEO Ki Ho. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-23.

HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASHES OF LIGHT

Номер патента: US20120067864A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-03-22.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND HEAT TREATMENT METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASHES OF LIGHT

Номер патента: US20120076476A1. Автор: KUSUDA Tatsufumi,Hashimoto Kazuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2012-03-29.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND HEAT TREATMENT METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASHES OF LIGHT

Номер патента: US20120076477A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-03-29.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASH OF LIGHT

Номер патента: US20120238110A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-09-20.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20120244725A1. Автор: Kato Shinichi,FUSE Kazuhiko,YOKOUCHI Kenichi. Владелец: . Дата публикации: 2012-09-27.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20120288261A1. Автор: KUSUDA Tatsufumi,Hashimoto Kazuyuki. Владелец: . Дата публикации: 2012-11-15.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH LIGHT

Номер патента: US20120288970A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-11-15.

HEAT TREATMENT METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATING SUBSTRATE WITH FLASH OF LIGHT

Номер патента: US20130078822A1. Автор: YOKOUCHI Kenichi. Владелец: . Дата публикации: 2013-03-28.

Heater for heating substrate and method for heating substrate using same

Номер патента: JPS6237924A. Автор: Yasunori Ando,靖典安東,Yoshinao Kato,加藤　由尚. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 1987-02-18.

Substrate support apparatus and substrate support method

Номер патента: JP4573692B2. Автор: 寿幸楠木. Владелец: Yamaha Motor Co Ltd. Дата публикации: 2010-11-04.

Substrate support and substrate support method

Номер патента: JP3885261B2. Автор: 哲哉後藤,正幸小川,邦宏畠中. Владелец: TORAY INDUSTRIES INC. Дата публикации: 2007-02-21.

SUPPORTING SUBSTRATE, SUPPORTING SUBSTRATE HOLDING METHOD, AND FILM-FORMING METHOD

Номер патента: JP7279465B2. Автор: 裕太窪内. Владелец: SUMITOMO METAL MINING CO LTD. Дата публикации: 2023-05-23.

Substrate support apparatus and substrate support method

Номер патента: JP4884296B2. Автор: 勇一下田. Владелец: Hitachi High Technologies Corp. Дата публикации: 2012-02-29.

Automatic substrate support pin switching device and substrate support method

Номер патента: JP2801335B2. Автор: 昭彦和智,秀俊佐々木,毅栗林,末廣田中. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 1998-09-21.

Substrate support jig and substrate support method

Номер патента: JP2014132698A. Автор: Nobuhiro Tanaka,伸宏田中,Shinji Nishimure,伸治西牟礼. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2014-07-17.

Electrical heating substrate

Номер патента: TW534567U. Автор: Tzung-Chi Jeng. Владелец: Likely Medical Int L Entpr Co. Дата публикации: 2003-05-21.

Enhancement of diffusion of atoms into a heated substrate by bombardment

Номер патента: AU2058370A. Автор: F. Gibbons James. Владелец: Individual. Дата публикации: 1972-04-13.

Enhancement of diffusion of atoms into a heated substrate by bombardment

Номер патента: AU449193B2. Автор: F. Gibbons James. Владелец: Individual. Дата публикации: 1972-04-13.

Linear substrate support member of substrate storage rack for conveyance

Номер патента: TWI251573B. Автор: Toru Nakazawa,Motohisa Murayama,Hisayoshi Furukohri,Shigenori Toyama. Владелец: Dmc Corp. Дата публикации: 2006-03-21.

Substrate-supporting mechanism for exposure device

Номер патента: TW200941634A. Автор: Yasuhiko Okugi,Yasuhito Ikeda. Владелец: Orc Mfg Co Ltd. Дата публикации: 2009-10-01.

Substrate support fixture for vapor deposition coating apparatus

Номер патента: TW200600602A. Автор: Jung-Chou Lee. Владелец: Asia Optical Co Inc. Дата публикации: 2006-01-01.

Method of placing a substrate, method of transferring a substrate, support system and lithographic projection apparatus

Номер патента: TW200933786A. Автор: Nunen Gerardus Petrus Matthijs Van,Rene Theodorus Petrus Compen,Abraham Alexander SOETHOUDT,Jozef Augustinus Maria ALBERTI,Frans Erik Groensmit. Владелец: ASML Netherlands BV. Дата публикации: 2009-08-01.

Method and apparatus for aligning substrates on a substrate support unit

Номер патента: GB201617755D0. Автор: . Владелец: Mapper Lithopraphy IP BV. Дата публикации: 2016-12-07.

A substrate supporting apparatus

Номер патента: TW200418121A. Автор: Cheng-Te Lin,Chien-Hsiung Hung,Ming-Tang Chiang,Yung-Chang Kao. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2004-09-16.

A substrate supporting apparatus

Номер патента: TW589699B. Автор: Cheng-Te Lin,Chien-Hsiung Hung,Ming-Tang Chiang,Yung-Chang Kao. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2004-06-01.

Substrate supporting stage and substrate inspecting apparatus having the same

Номер патента: TW200801493A. Автор: Min-Ho Park,Yoo-Chan Choi,Sun-Joo Hong. Владелец: SFA Engineering Corp. Дата публикации: 2008-01-01.

Substrate positioning apparatus and substrate support having positioning apparatus

Номер патента: TW200829499A. Автор: Wen-Bin Chen,Fu-Ming Chang,Hsing-Hsiang WANG. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2008-07-16.

Substrate support of a spacer sprayer

Номер патента: TWI250328B. Автор: Der-Chun Wu,Hung-Hsiang Chiang. Владелец: Chunghwa Picture Tubes Ltd. Дата публикации: 2006-03-01.

Substrate supporting stage

Номер патента: TW201122464A. Автор: Min-Ho Park,Yoo-Chan Choi,Sun-Joo Hong. Владелец: SFA Engineering Corp. Дата публикации: 2011-07-01.

Substrate positioning apparatus and substrate support having positioning apparatus

Номер патента: TWI321549B. Автор: Wen Bin Chen,Hsing Hsiang Wang,Fu Ming Chang. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2010-03-11.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: TWI313906B. Автор: Ying Chi Chen,Tzu Chiang Cheng,Shiang Chiang Liu. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2009-08-21.

Substrate supporting apparatus

Номер патента: TW200743175A. Автор: Ying-Chi Chen,Shiang-Chiang Liu,Tzu-Chiang Cheng. Владелец: AU OPTRONICS CORP. Дата публикации: 2007-11-16.

HEAT TREATMENT APPARATUS HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION WITH LIGHT

Номер патента: US20120008926A1. Автор: . Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-12.

Method And Device For Printing On Heated Substrates

Номер патента: US20120081455A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-04-05.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY LIGHT IRRADIATION

Номер патента: US20120114316A1. Автор: . Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2012-05-10.

HEAT TREATMENT METHOD AND HEAT TREATMENT APPARATUS FOR HEATING SUBSTRATE BY LIGHT IRRADIATION

Номер патента: US20120128336A1. Автор: . Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2012-05-24.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY IRRADIATION THEREOF WITH LIGHT

Номер патента: US20120261400A1. Автор: . Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2012-10-18.

HEAT TREATMENT APPARATUS AND METHOD FOR HEATING SUBSTRATE BY LIGHT IRRADIATION

Номер патента: US20130043229A1. Автор: KIYAMA Hiroki,YOKOUCHI Kenichi. Владелец: DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.. Дата публикации: 2013-02-21.

THERMAL VACUUM INSTALLATION UNIT FOR HEATING SUBSTRATES IN CASSETTE

Номер патента: SU371612A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1973-02-22.

Method for preparing tungsten-containing alumina ceramic heating substrate

Номер патента: CN102424568A. Автор: 罗学涛,李锦堂,傅翠梨,林彦旭. Владелец: XIAMEN UNIVERSITY. Дата публикации: 2012-04-25.

Heating substrate for thermal printing head with uniform printing concentration

Номер патента: CN217415272U. Автор: 胡伦伦,山科佳弘,副岛和彦. Владелец: Shandong Hualing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-13.

Electric heating hand warmer with ceramic electric heating substrate

Номер патента: CN102860899A. Автор: 徐远水. Владелец: FOSHAN SHUNDE DISTRICT MEIMEI INNOVATION ELECTRICAL APPLIANCE Co Ltd. Дата публикации: 2013-01-09.

Heating substrates, protective elements and electronic devices

Номер патента: JP6877607B2. Автор: 一夫後藤,浩二佐藤,佐藤　浩二,武雄木村,後藤　一夫. Владелец: Dexerials Corp. Дата публикации: 2021-05-26.

Electric heating hand warmer with ceramic electric heating substrate

Номер патента: CN202859429U. Автор: 徐远水. Владелец: FOSHAN SHUNDE DISTRICT MEIMEI INNOVATION ELECTRICAL APPLIANCE Co Ltd. Дата публикации: 2013-04-10.

Floor heating substrate panel

Номер патента: JPS62129438A. Автор: 滝口　英喜,奥山　専一. Владелец: IG Technical Research Inc. Дата публикации: 1987-06-11.

Heating substrate for anti-warping thermal sensitive printing head

Номер патента: CN217435322U. Автор: 苏伟,刘晓菲,王夕炜,宋泳桦. Владелец: Shandong Hualing Electronics Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-16.

Heating substrate of hair straightener

Номер патента: CN201349665Y. Автор: 张克勇. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-11-25.

Device and method for heating substrate

Номер патента: JPS629621A. Автор: Mikio Nishio,Yoshitaka Aoki,Tadanaka Yoneda,Kosaku Yano,Masaaki Niwa,正昭丹羽,米田　忠央,矢野　航作,青木　芳孝,西尾　幹夫. Владелец: Matsushita Electric Industrial Co Ltd. Дата публикации: 1987-01-17.

SUBSTRATE SUPPORT MATERIAL USEFUL FOR SCREEN PRINTING PROCESSES

Номер патента: US20120034382A1. Автор: Baccini Andrea,Galiazzo Marco. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-02-09.

Apparatus and Method for Processing Substrate Using Neutralized Beams Including Applying a Voltage to a Substrate Support

Номер патента: US20120068058A1. Автор: KIM Yong-Jin,Lee Do-Haing,Kim Ha-Na. Владелец: . Дата публикации: 2012-03-22.

Номер патента: US20120291709A1. Автор: JR. Robert,Ryding Geoffrey,Smick Theodore,Seutter Sean,Smith Jacob,TAM ALEXANDER,SURYANARAYANAN IYER R.,TRAN BINH,MERRY NIR,BRAILOVE ADAM,SHYDO,ANDREWS ROBERT,ROBERTS FRANK. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-11-22.

SUBSTANTIALLY NON-POROUS SUBSTRATE SUPPORTED NOBLE METAL-AND LANTHANIDE-CONTAINING CATALYSTS

Номер патента: US20120296129A1. Автор: . Владелец: UOP LLC. Дата публикации: 2012-11-22.

VAPOR-PHASE GROWTH SEMICONDUCTOR SUBSTRATE SUPPORT SUSCEPTOR, EPITAXIAL WAFER MANUFACTURING APPARATUS, AND EPITAXIAL WAFER MANUFACTURING METHOD

Номер патента: US20120309175A1. Автор: . Владелец: SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.. Дата публикации: 2012-12-06.

THIN HEATED SUBSTRATE SUPPORT

Вам могут быть интересны следующие патенты

Главная

Проекты и услуги

Контакты