Laser oscillator and device for fabricating a semiconductor using the said oscillator
Номер патента: FR2666939A1
Опубликовано: 20-03-1992
Автор(ы): Shirakura Toshiharu, SUGAWARA Hiroyuki, Yamai Hideki, YAMAMURA Takeshi
Принадлежит: HITACHI LTD, Hitachi Nuclear Engineering Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-03-1992
Автор(ы): Shirakura Toshiharu, SUGAWARA Hiroyuki, Yamai Hideki, YAMAMURA Takeshi
Принадлежит: HITACHI LTD, Hitachi Nuclear Engineering Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
High brightness laser oscillator with spherical aberration
Номер патента: US20030133488A1. Автор: Chandler Kennedy. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-07-17.