Prober for semiconductor integrated circuit element wafer
Номер патента: US5555422A
Опубликовано: 10-09-1996
Автор(ы): Shoukichi Nakano
Принадлежит: Co operative Facility for Aging Tester Dev
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 10-09-1996
Автор(ы): Shoukichi Nakano
Принадлежит: Co operative Facility for Aging Tester Dev
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Calibration unit for semiconductor integrated circuit tester
Номер патента: US6329811B1. Автор: Jeffrey S. McMullin. Владелец: Credence Systems Corp. Дата публикации: 2001-12-11.