SEMICONDUCTOR ELEMENT FOR OSCILLATING OR DETECTING TERAHERTZ WAVE AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
Номер патента: US20200111929A1
Опубликовано: 09-04-2020
Автор(ы): Iba Jun, Koyama Yasushi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-04-2020
Автор(ы): Iba Jun, Koyama Yasushi
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor element for oscillating or detecting terahertz wave and manufacturing method of semiconductor element
Номер патента: US20200111929A1. Автор: Yasushi Koyama,Jun Iba. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2020-04-09.