MANUFACTURING METHOD AND SUPPORT OF SEMICONDUCTOR DEVICE
Номер патента: US20210280416A1
Опубликовано: 09-09-2021
Автор(ы): MIGITA Tatsuo
Принадлежит: Kioxia Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-09-2021
Автор(ы): MIGITA Tatsuo
Принадлежит: Kioxia Corporation
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for reproducing component of semiconductor manufacturing apparatus, and reproduced component
Номер патента: US20170345624A1. Автор: Ki Won Kim,Won Pyo HONG,Hyeong Uk Roh,Jong Sung Yun. Владелец: Tokai Carbon Korea Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-30.