Semiconductor device structure and methods of forming the same
Номер патента: US20230317805A1
Опубликовано: 05-10-2023
Автор(ы): Chen-Ming Lee, Fu-Kai Yang, Mei-Yun Wang, Shih-Che Lin, Tzu-Yang Ho
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-10-2023
Автор(ы): Chen-Ming Lee, Fu-Kai Yang, Mei-Yun Wang, Shih-Che Lin, Tzu-Yang Ho
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Semiconductor device with self-aligning contact and method for fabricating the same
Номер патента: US20220271036A1. Автор: Chun-Chi Lai. Владелец: Nanya Technology Corp. Дата публикации: 2022-08-25.