Etching tool for demountably etching multiple pieces of silicon carbide
Номер патента: US20210280439A1
Опубликовано: 09-09-2021
Автор(ы): Huangshan Zhang, Jie Zhang, Shaozhong Cai, Sina Li, Yihong Lin
Принадлежит: Hunan Sanan Semiconductor Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-09-2021
Автор(ы): Huangshan Zhang, Jie Zhang, Shaozhong Cai, Sina Li, Yihong Lin
Принадлежит: Hunan Sanan Semiconductor Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Etching tool for demountably etching multiple pieces of silicon carbide
Номер патента: US12046486B2. Автор: Jie Zhang,Yihong Lin,Shaozhong Cai,Huangshan Zhang,Sina Li. Владелец: Hunan Sanan Semiconductor Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-23.