Silicon carbide semiconductor device with trench gate structure and vertical PN junction between body region and drift structure
Номер патента: US10964808B2
Опубликовано: 30-03-2021
Автор(ы): Andreas Meiser, Roland Rupp, Romain Esteve
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-03-2021
Автор(ы): Andreas Meiser, Roland Rupp, Romain Esteve
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of manufacturing a silicon carbide semiconductor device with trench gate structure and vertical pn junction between body region and drift structure
Номер патента: US11195946B2. Автор: Roland Rupp,Romain Esteve,Andreas Peter Meiser. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2021-12-07.