Substrate inspection device and substrate inspection method
Номер патента: US20230341454A1
Опубликовано: 26-10-2023
Автор(ы): Chul Joo Hwang, Gu Hyun JUNG, Jin An JUNG, Se Yong Oh, Young Rok Kim
Принадлежит: Jusung Engineering Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 26-10-2023
Автор(ы): Chul Joo Hwang, Gu Hyun JUNG, Jin An JUNG, Se Yong Oh, Young Rok Kim
Принадлежит: Jusung Engineering Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Substrate inspection device and substrate inspection method
Номер патента: US12032013B2. Автор: Young Rok Kim,Se Yong Oh,Chul Joo Hwang,Gu Hyun JUNG,Jin An JUNG. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-09.