OXIDATION RESISTANT BARRIER METAL PROCESS FOR SEMICONDUCTOR DEVICES
Номер патента: US20170179033A1
Опубликовано: 22-06-2017
Автор(ы): Faust Rick A., Merriam Alan G., Udayakumar Kezhakkedath R., Warninghoff Eric H., West Jeffrey A.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-06-2017
Автор(ы): Faust Rick A., Merriam Alan G., Udayakumar Kezhakkedath R., Warninghoff Eric H., West Jeffrey A.
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Oxidation resistant barrier metal process for semiconductor devices
Номер патента: US20180308802A1. Автор: Jeffrey A. West,Eric H. Warninghoff,Kezhakkedath R. Udayakumar,Alan G. MERRIAM,Rick A. FAUST. Владелец: Texas Instruments Inc. Дата публикации: 2018-10-25.