Vaporizer, substrate processing apparatus, and method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US11866822B2
Опубликовано: 09-01-2024
Автор(ы): Hirohisa Yamazaki, Kenichi Suzaki, Ryuichi Nakagawa, Yasunori Ejiri
Принадлежит: Kokusai Electric Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-01-2024
Автор(ы): Hirohisa Yamazaki, Kenichi Suzaki, Ryuichi Nakagawa, Yasunori Ejiri
Принадлежит: Kokusai Electric Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Fluid supply system, processing apparatus, recording medium, and method of manufacturing semiconductor device
Номер патента: US20230279550A1. Автор: Kaoru Yamamoto,Kentaro GOSHIMA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2023-09-07.