Methods for controlling time scale of gas delivery into a processing chamber
Номер патента: TW201017357A
Опубликовано: 01-05-2010
Автор(ы): Gunsu Yun, Iqbal A Shareef, Kurt Jorgensen, Robert Charatan
Принадлежит: Lam Res Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-05-2010
Автор(ы): Gunsu Yun, Iqbal A Shareef, Kurt Jorgensen, Robert Charatan
Принадлежит: Lam Res Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods for controlling time scale of gas delivery into a processing chamber
Номер патента: WO2009155221A3. Автор: Robert Charatan,Iqbal A. Shareef,Gunsu Yun,Kurt Jorgensen. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2010-03-25.