Self-aligned borderless contacts for high density electronic and memory device integration
Номер патента: WO2010020578A1
Опубликовано: 25-02-2010
Автор(ы): Isaac Lauer, Josephine Chang, Katherina Babich, Michael Guillorn, Michael Rooks, Nicholas Fuller
Принадлежит: Ibm United Kingdom Limited, INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-02-2010
Автор(ы): Isaac Lauer, Josephine Chang, Katherina Babich, Michael Guillorn, Michael Rooks, Nicholas Fuller
Принадлежит: Ibm United Kingdom Limited, INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Self-aligned borderless contacts for high density electronic and memory device integration
Номер патента: WO2010020578A4. Автор: Isaac Lauer,Michael Guillorn,Katherina Babich,Josephine Chang,Nicholas Fuller,Michael Rooks. Владелец: Ibm United Kingdom Limited. Дата публикации: 2010-04-15.