Polishing composition, polishing method, and method for forming copper wiring for semiconductor integrated circuit
Номер патента: US20080261400A1
Опубликовано: 23-10-2008
Автор(ы): Atsushi Hayashi, Hiroyuki Kamiya, Iori Yoshida, Norihito Nakazawa, Satoshi Takemiya
Принадлежит: Asahi Glass Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-10-2008
Автор(ы): Atsushi Hayashi, Hiroyuki Kamiya, Iori Yoshida, Norihito Nakazawa, Satoshi Takemiya
Принадлежит: Asahi Glass Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Chemical mechanical polishing composition and tungsten polishing method
Номер патента: JP6595227B2. Автор: イ・グォ,レイモンド・エル・ラヴォー・ジュニア. Владелец: ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ シーエムピー ホウルディングス インコーポレイテッド. Дата публикации: 2019-10-23.