Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
Номер патента: US10923344B2
Опубликовано: 16-02-2021
Автор(ы): Andrew Kretzschmar, David Kohen, Harald Benjamin Profijt
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-02-2021
Автор(ы): Andrew Kretzschmar, David Kohen, Harald Benjamin Profijt
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
SUSCEPTOR FOR HOLDING A SEMICONDUCTOR WAFER HAVING AN ORIENTATION NOTCH, A METHOD FOR DEPOSITING A LAYER ON A SEMICONDUCTOR WAFER, AND SEMICONDUCTOR WAFER
Номер патента: US20170117228A1. Автор: SCHAUER Reinhard,HAGER Christian. Владелец: . Дата публикации: 2017-04-27.