Methods of forming copper iodide layer and structures including copper iodide layer
Номер патента: US20230243032A1
Опубликовано: 03-08-2023
Автор(ы): Andrea Illiberi, Bart Vermeulen, Charles DEZELAH, Michael Givens, Varun Sharma
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-08-2023
Автор(ы): Andrea Illiberi, Bart Vermeulen, Charles DEZELAH, Michael Givens, Varun Sharma
Принадлежит: ASM IP Holding BV
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium
Номер патента: US9524867B2. Автор: Yoshiro Hirose,Satoshi Shimamoto,Ryuji Yamamoto. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-12-20.