반도체 소자의 게이트 절연막 형성 방법
Номер патента: KR100451768B1
Опубликовано: 08-10-2004
Автор(ы): 조일현
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 08-10-2004
Автор(ы): 조일현
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for fabricating an integrated gate dielectric layer for field effect transistors
Номер патента: US7601648B2. Автор: Johanes Swenberg,Giuseppina Conti,Shreyas Kher,Thai Cheng Chua,Shankar Muthukrisnan,Chikuang Charles Wang,Yuri Uritsky. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2009-10-13.