Retaining ring of a wafer carrier
Номер патента: US20020155797A1
Опубликовано: 24-10-2002
Автор(ы): Chao-Yuan Huang, Chia-Ming Kuo
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-10-2002
Автор(ы): Chao-Yuan Huang, Chia-Ming Kuo
Принадлежит: Individual
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer carrier for cmp system
Номер патента: WO2002026444A1. Автор: Yehiel Gotkis. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2002-04-04.