A photoresist copolymer, a photoresist composition, their preparing methods and a photoresist pattern forming method
Номер патента: TW464788B
Опубликовано: 21-11-2001
Автор(ы): Cheol-Kyu Bok, Jae-Chang Jung, Ki-Ho Baik
Принадлежит: Hyundai Electronics Ind
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 21-11-2001
Автор(ы): Cheol-Kyu Bok, Jae-Chang Jung, Ki-Ho Baik
Принадлежит: Hyundai Electronics Ind
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and photoresist using a photoresist copolymer
Номер патента: US6143463A. Автор: Jae Chang Jung,Cheol Kyu Bok,Ki Ho Baik. Владелец: Hyundai Electronics Industries Co Ltd. Дата публикации: 2000-11-07.