Semiconductor device having cut metal gate
Номер патента: US20240347347A1
Опубликовано: 17-10-2024
Автор(ы): Chandrashekhar Prakash SAVANT, Shahaji B. More
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-10-2024
Автор(ы): Chandrashekhar Prakash SAVANT, Shahaji B. More
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and structure for metal gates
Номер патента: US09761684B2. Автор: Ming-Hsi Yeh,Chao-Cheng Chen,Ming-Chia Tai,Ju-Li Huang,Calvin Chiang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2017-09-12.