FinFET low resistivity contact formation method
Номер патента: US09899521B2
Опубликовано: 20-02-2018
Автор(ы): Chih-Hsin Ko, Ding-Kang SHIH, Sung-Li Wang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-02-2018
Автор(ы): Chih-Hsin Ko, Ding-Kang SHIH, Sung-Li Wang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Low Resistance Source Drain Contact Formation with Trench Metastable Alloys and Laser Annealing
Номер патента: US20190181012A1. Автор: Oleg Gluschenkov,Shogo Mochizuki,Tenko Yamashita,Zuoguang Liu,Chun-Chen Yeh,Hiroaki Niimi. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2019-06-13.