Low-resistance contact plugs and method forming same
Номер патента: US12068191B2
Опубликовано: 20-08-2024
Автор(ы): Chen-Ming Lee, Fu-Kai Yang, Shao-Ming Koh
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-08-2024
Автор(ы): Chen-Ming Lee, Fu-Kai Yang, Shao-Ming Koh
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Low-resistance contact plugs and method forming same
Номер патента: US10153198B2. Автор: Fu-Kai Yang,Shao-Ming Koh,Chen-Ming Lee. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2018-12-11.