Mask and pattern forming method
Номер патента: US09881808B2
Опубликовано: 30-01-2018
Автор(ы): SATOSHI Tanaka, Takashi Sato
Принадлежит: Toshiba Memory Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-01-2018
Автор(ы): SATOSHI Tanaka, Takashi Sato
Принадлежит: Toshiba Memory Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for fabricating mask and device isolation film
Номер патента: US20080032210A1. Автор: Jae-Young Choi. Владелец: Dongbu HitekCo Ltd. Дата публикации: 2008-02-07.