VHF etch barrier for semiconductor integrated microsystem
Номер патента: US09449867B2
Опубликовано: 20-09-2016
Автор(ы): Chun-Ren Cheng, Chun-Wen Cheng, Han-Chin Chiu, Kai-Chih Liang, Tzu-Heng Wu, Wei-Cheng Shen, Yi Heng Tsai, Yi-Hsien Chang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 20-09-2016
Автор(ы): Chun-Ren Cheng, Chun-Wen Cheng, Han-Chin Chiu, Kai-Chih Liang, Tzu-Heng Wu, Wei-Cheng Shen, Yi Heng Tsai, Yi-Hsien Chang
Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Signal processing semiconductor integrated circuit device
Номер патента: US20020079958A1. Автор: Kazuaki Hori,Yoshiyasu Tashiro,Nobuhiro Kasa. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2002-06-27.