Methods of atomic layer deposition using titanium-based precursors
Номер патента: US20090074983A1
Опубликовано: 19-03-2009
Автор(ы): Andrew Kingsley, Fuquan Song, Hywel Owen Davies, Paul Williams, Peter Nicholas Heys, Rajesh Odedra, Thomas Leese
Принадлежит: Sigma Aldrich Co LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-03-2009
Автор(ы): Andrew Kingsley, Fuquan Song, Hywel Owen Davies, Paul Williams, Peter Nicholas Heys, Rajesh Odedra, Thomas Leese
Принадлежит: Sigma Aldrich Co LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods of preparing titanium containing thin films by atomic layer deposition using monocyclopentadienyl titanium-based precursors
Номер патента: KR101560755B1. Автор: 폴 윌리엄스,푸콴 송,피터 니콜라스 헤이스,앤드류 킹슬리,토마스 리즈,히웰 오웬 데이비스,라예쉬 오데드라. Владелец: 시그마 알드리치 컴퍼니 엘엘씨. Дата публикации: 2015-10-15.