离子注入调整隔离氧化物应力的浅沟槽隔离结构制备方法
Номер патента: CN102412184B
Опубликовано: 12-03-2014
Автор(ы): 张文广, 徐强, 郑春生, 陈玉文
Принадлежит: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-03-2014
Автор(ы): 张文广, 徐强, 郑春生, 陈玉文
Принадлежит: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method of making a shallow trench isolation (sti) structures
Номер патента: US20140120693A1. Автор: Yu-Lien Huang,Chii-Ming Wu,Chun Hsiung Tsai,Ziwei Fang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2014-05-01.