Method of forming a self-aligned contact pad for a semiconductor device
Номер патента: US6355547B1
Опубликовано: 12-03-2002
Автор(ы): Chang-Hyun Cho, Gwan-Hyeob Koh, Jae-Goo Lee
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 12-03-2002
Автор(ы): Chang-Hyun Cho, Gwan-Hyeob Koh, Jae-Goo Lee
Принадлежит: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for forming self aligned contacts
Номер патента: US20020098640A1. Автор: Ii-Wook Kim,Jong-Sam Kim,Dong-kuk Lee. Владелец: Hynix Semiconductor Inc. Дата публикации: 2002-07-25.