Semiconductor device having reduced contact resistance
Номер патента: US09627322B2
Опубликовано: 18-04-2017
Автор(ы): Balasubramanian S. Pranatharthiharan, Charan V. Surisetty, Injo OK
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-04-2017
Автор(ы): Balasubramanian S. Pranatharthiharan, Charan V. Surisetty, Injo OK
Принадлежит: International Business Machines Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Power semiconductor device having low-k dielectric gaps between adjacent metal contacts
Номер патента: US11777026B2. Автор: Robert Haase,Harsh Naik,Sylvain Leomant,Anita Brazzale. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AUSTRIA AG. Дата публикации: 2023-10-03.