Euv 리소그래피용 반사형 마스크 블랭크, 및 euv 리소그래피용 반사형 마스크
Номер патента: KR20130088075A
Опубликовано: 07-08-2013
Автор(ы): 가즈유키 하야시
Принадлежит: 아사히 가라스 가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-08-2013
Автор(ы): 가즈유키 하야시
Принадлежит: 아사히 가라스 가부시키가이샤
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reflective mask and fabricating method thereof
Номер патента: US20200133113A1. Автор: Tsiao-Chen Wu,Pei-Cheng Hsu. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2020-04-30.